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FFU如何安裝，安裝流程？
來源：
發布時間：2025-11-25
一、安裝前準備（關鍵前提，避免后續返工）
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環境與人員準備
- 無塵車間需完成吊頂龍骨、靜壓箱安裝，且地面 / 墻面已清潔至對應潔凈等級（如電子行業 ISO 5 級需提前除塵）；
- 安裝人員需穿全套無塵服、戴無菌手套 / 口罩，工具（扳手、水平儀、密封膠槍）需經風淋室清潔后帶入，避免帶入灰塵。
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設備與材料檢查
- 核對 FFU 型號、數量：確認風量、過濾等級（HEPA/ULPA）與設計一致，外觀無變形、破損，過濾器密封墊（EPDM 材質）完好無老化；
- 準備輔材：無菌密封膠（食品 / 醫藥行業需選食品級）、不銹鋼固定螺栓、減振墊（電子行業需低振動款）、水平儀、風速儀。
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基礎條件確認
- 吊頂龍骨強度：需能承受 FFU 重量（單臺約 25-40kg），根本區（如光刻區）需額外加固，避免運行時振動；
- 靜壓箱密封：靜壓箱內部清潔無積塵，接口處已做保溫（防止結露），與 FFU 安裝面的平整度誤差≤2mm（避免密封不嚴）。
二、根本安裝流程（6 步標準化操作）
步驟 1：定位放線（確保安裝位置精細）
- 按設計圖紙在吊頂龍骨或靜壓箱面板上標記 FFU 安裝位置，相鄰 FFU 間距誤差≤5mm，邊緣距墻面 / 設備間隙需符合氣流設計（通常≥30cm）；
- 根本工藝區（如半導體光刻區）需按 “滿布布局” 放線，確保無氣流死角，標記處需用無塵布擦拭干凈，避免粉塵殘留。
步驟 2：固定安裝框架（或直接定位 FFU）
- 若采用 “框架式安裝”：先將不銹鋼安裝框架固定在吊頂龍骨上，用水平儀校準，框架水平度誤差≤0.5mm/m（防止 FFU 傾斜導致氣流偏流）；
- 若直接安裝在龍骨上：需在龍骨對應位置加裝承重橫梁，確保每臺 FFU 至少有 4 個固定點，避免除點受力導致變形。
步驟 3：FFU 吊裝與初步固定
- 用潔凈吊帶（避免麻繩等易掉屑工具）將 FFU 垂直吊至安裝位置，緩慢放入框架或龍骨上，避免碰撞過濾器；
- 先臨時固定：用螺栓穿過 FFU 四角安裝孔與框架 / 龍骨連接（暫不擰緊），調整 FFU 位置，確保相鄰 FFU 頂面平齊，高低差≤1mm（保證氣流均勻）。
步驟 4：密封處理（防漏根本，避免未過濾空氣滲入）
- 檢查 FFU 與安裝面貼合度：用塞尺檢測間隙，比較大間隙≤0.5mm，若有縫隙需墊加厚密封墊；
- 打密封膠：沿 FFU 底部四周與安裝面的接縫處，均勻涂抹無菌密封膠（寬度 5-8mm），確保無斷點、氣泡，密封膠需覆蓋過濾器密封墊外側（雙重防漏）；
- 特殊場景：醫藥行業需采用 “袋進袋出（BIBO）” 結構的 FFU，安裝時需確保過濾器拆裝通道密封，避免微生物泄漏。
步驟 5：緊固與減振安裝（適配高要求場景）
- 均勻擰緊固定螺栓：按 “對角交叉” 順序擰緊（避免除側受力導致 FFU 變形），螺栓擰緊力矩控制在 8-10N?m（力度適中，防止壓壞密封墊）；
- 減振處理（電子 / 半導體行業必做）：在 FFU 與安裝框架之間加裝橡膠減振墊（厚度 5-10mm），振動速度需控制在≤0.3mm/s，避免影響光刻機等精密設備。
步驟 6：接線與通電前檢查
- 接線：將 FFU 電源線與車間適用于潔凈電源對接，電線需穿套管固定，接地電阻≤1Ω（防靜電要求），根本區 FFU 需預留 PLC 聯動控制線（支持集中控制）；
- 通電前核查：再次檢查密封膠是否固化（常溫下 2-4 小時），過濾器無移位，FFU 無松動，周邊無工具、雜物遺留。
三、安裝后調試與驗收（確保運行達標）
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單機試運
- 通電啟動 FFU，運行 30 分鐘，觀察風機是否異響、振動（用振動儀檢測≤0.3mm/s），噪音≤55dB (A)（電子行業根本區需≤50dB (A)）；
- 用風速儀檢測出風口風速：均勻性偏差≤±20%，根本區（如光刻區）需達到 0.35-0.55m/s。
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密封與潔凈度檢測
- 檢漏測試：用粒子計數器掃描 FFU 四周接縫處，無顆粒泄漏（如 ISO 5 級要求≥0.1μm 顆粒數≤29 個 /m3）；
- 靜壓測試：檢測車間正壓（相對于外界≥15Pa），確保無氣流短路。
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聯動調試（智能控制場景）
- 接入中心控制系統，測試風速無級調節、故障報警（如過濾器壓差超標報警）功能，確保單單一立控制與集中聯動正常。
四、特殊行業安裝注意事項
- 電子 / 半導體行業：FFU 安裝后需額外做振動校準，與光刻機等設備的間距≥50cm，避免振動干擾；接地需單獨布線，遠離動力線纜，防止電磁干擾。
- 醫藥行業：過濾器更換需預留 “袋進袋出” 通道，安裝時避免密封膠污染藥品接觸區域，調試后需做微生物檢測（無菌區需≤10 CFU/m3）。
- 新能源（鋰電池）行業：FFU 需接地可靠（接地電阻≤0.5Ω），安裝區域濕度控制在≤30% RH，避免靜電積累，密封膠需選用耐腐材質（防止電解液腐蝕）。
根本禁忌
- 禁止未清潔環境下安裝（易污染過濾器）；
- 禁止直接按壓過濾器表面（導致濾材破損）；
- 禁止密封膠未固化即通電運行（易產生異味污染）；
- 禁止安裝后立即投入高潔凈工藝（需運行 24 小時除塵后使用）。
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