半導體掛鍍設備

1.基本原理與結構

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質，配備溫控、循環過濾系統，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設計適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動化傳輸：機械臂自動上下料，減少人工污染風險

控制系統：PLC/計算機實時調控電流密度、電鍍時間、pH值等參數

2. 關鍵技術優勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術（如ECP），減少邊緣效應，實現亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監測，降低孔洞、結節等缺陷

高產能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導線，替代傳統鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導電通道，實現芯片堆疊

先進封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實現芯片I/O端口的重新布局

總結

半導體掛鍍設備通過精密電化學控制與自動化技術，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關聯芯片的導電性、散熱及良率 納米鍍層設備通過超聲攪拌與脈沖電源結合，制備微米級致密鍍層，滿足航空航天部件的超高防腐需求。安徽便攜式電鍍設備

電鍍廢氣處理抽風設備分類：

按工作原理及結構分類：

離心風機：風壓高、風量較大，適用于需要克服較大阻力

軸流風機：具有風量大、風壓低的特點。適合在對通風量需求大、阻力較小的環境

屋頂風機：安裝于電鍍車間屋頂，可直接將車間內廢氣排至室外。其優點是不占室內空間，安裝簡便

防爆風機：針對電鍍廢氣含易燃易爆氣體（如有機溶劑揮發氣）的情況設計，采用特殊防爆結構與材料，防止運行中產生電火花引發炸掉，保障生產安全

按材質及防腐特性分類

玻璃鋼風機：處理電鍍過程中產生的強腐蝕性酸堿廢氣，且質量較輕、強度較高、使用壽命長

不銹鋼風機：用于對耐腐蝕有一定要求且廢氣中顆粒物磨損性較強的電鍍廢氣抽取

防腐涂層或特殊防腐工藝處理的普通金屬風機：抽風設備搭配集氣罩、通風管道等部件，組成完整的抽風系統，將電鍍廢氣高效收集并輸送至后續處理設備，如酸霧凈化塔、活性炭吸附裝置等。

電鍍廢氣處理抽風設備的組成：

自動線線外連接抽風系統

PP抽風管連接，抽風連接口采用方形變通連接室外抽風系統

可根據不同種類廢氣和不同排放量以及現場情形適當設計制，并負責安裝調試，抽風效果好

適用于氧化、電鍍、涂裝、印刷等行業多種堿性、有毒氣體抽排（退掛、除銹等）

湖南高精密電鍍設備工件籃設備用于籃鍍工藝，網孔大小根據工件尺寸定制，兼顧電解液流通性與防止小件掉落。

滾鍍機的應用場景：

滾鍍機決定生產線的適用工件類型滾

1.鍍機適用的工件特征

尺寸：直徑通常＜50mm，如螺絲、螺母、彈簧、電子連接器、小五金件。

形狀：規則或輕微不規則（避免卡孔或纏繞，影響滾筒旋轉）。

批量：適合萬件級以上的大批量生產（如標準件電鍍），小批量生產時滾鍍機效率優勢下降。

2.對電鍍生產線的適配性

若生產線以滾鍍機為鍍槽設備，則整體設計圍繞 “小件批量處理” 優化：

前處理槽體深度、寬度適配滾筒尺寸；

傳輸裝置采用適合滾筒吊裝的懸掛鏈或龍門架；

電源功率匹配滾筒內工件總表面積（電流需均勻分布）。

反之，若生產線以掛鍍為主（如汽車配件、裝飾件），則鍍槽、傳輸系統設計完全不同，體現 “定制化生產線” 特性。

龍門式自動線通過龍門機械手（橫跨電鍍槽上方的移動框架）和懸掛系統，將工件按預設程序在不同工藝槽（如除油、電鍍、水洗等）間自動轉移，全程由PLC（可編程邏輯控制器）控制，實現無人化連續生產。

組成

1.龍門機械

手采用伺服電機驅動，雙立柱+橫梁結構，負載能力可達200-1000kg行程精度：±0.1mm（機型可達±0.05mm）移動速度：水平0.5-2m/s，升降0.2-0.5m/s

2.軌道系統

精密導軌+齒輪齒條傳動，支持多工位并行作業防腐蝕設計（不銹鋼或鍍層保護），適應酸堿環境

3.掛具系統

定制化夾具，適配不同工件形狀（如支架、吊籃）導電觸點采用銀/銅復合材料，接觸電阻＜0.05Ω

4.控制系統

PLC+觸摸屏（HMI），預設上百種工藝配方實時監控電流、溫度、pH值，數據存儲追溯

汽車輪轂電鍍設備配置多軸旋轉掛具，360 度無死角電鍍，滿足復雜曲面的均勻鍍層要求。

志成達設計研發的滾掛一體電鍍實驗設備鍍液的選擇：

1.鍍銅液方面

酸性鍍銅液導電性強、分散性佳，能快速鍍厚銅，常用于電子元件底層鍍銅；

堿性鍍銅液穩定性好，腐蝕性小，所得銅層結晶細、結合力強，適用于鋼鐵基體打底。

2.鍍鎳液

瓦特鎳鍍液成分簡單、易維護，鍍層光亮耐磨，在防護裝飾性電鍍中廣泛應用；

氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優，鍍層內應力低、延展性好，多用于對鍍層質量要求高的電子、航天領域。

3.鍍鋅液里

堿性鍍鋅液陰極極化作用強，鋅層耐腐蝕性好；

酸性鍍鋅液電流效率高、沉積快，外觀光亮，不過腐蝕性強。

4.鍍金液

有物鍍金液，鍍層均勻光亮、硬度高；

無氰鍍金液則更環保。

5.鍍銀液

物鍍銀液電鍍性能好，鍍層導電導熱優；

硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環保。選擇鍍液要綜合零件材質、形狀、使用環境及實驗目的等，兼顧成本與環保。

總結：

在選擇鍍液時，需要根據待鍍零件的材質、形狀、尺寸、使用環境以及實驗目的等因素進行綜合考慮，同時還需考慮鍍液的成本、環保性和操作難度等因素。 設備維護系統集成故障診斷模塊，通過傳感器數據預判過濾機堵塞、加熱管老化等問題，減少停機時間。浙江機械電鍍設備

滾鍍后的離心甩干設備內置防滑襯墊，高速旋轉時固定工件，避免碰撞損傷并加速脫水。安徽便攜式電鍍設備

如何選購適合的電鍍設備：

一、明確需求鍍種與工藝

確定需處理的材料（金屬、塑料等）及目標鍍層（鍍鋅、鍍鎳、鍍鉻、貴金屬等）。

選擇對應工藝：掛鍍（適合大件）、滾鍍（適合小件）、連續電鍍（線材/帶材）或脈沖電鍍（高精度需求）。

產能規劃：估算日均產量（如1000件/天）及未來擴展需求，避免設備超負荷或閑置。

產品特性：若涉及精密零件（如電子接插件）、復雜形狀件（如汽車輪轂），需設備具備高均勻性鍍層能力。

二、評估設備技術參數

電源系統

整流器穩定性（波紋系數＜5%）和調節精度（如0-500A可調），直接影響鍍層質量。

節能型高頻電源比傳統硅整流器省電20%-30%。

槽體設計材質耐腐蝕性：PP、PVC或鈦合金槽體，適應強酸/強堿環境。

槽液循環過濾系統：確保鍍液清潔度，減少雜質導致的鍍層缺陷。自動化程度手動設備（低成本，適合小批量）VS全自動線（機械臂上下料+PLC控制，適合大批量）。

智能監控功能：實時監測溫度、pH值、電流密度，自動報警并調節。 安徽便攜式電鍍設備