廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-07

防護(hù)圍繞隔絕氧氣與控溫：一是增強(qiáng)真空密封性，使?fàn)t內(nèi)氧氣含量＜50ppm；二是真空達(dá)標(biāo)后通入 99.999% 氮?dú)猓种蒲趸蝗枪袒瘻囟冉档?10-20℃（如 GaAs 芯片＜140℃），縮短高溫時(shí)間；四是選用防氧化膠水，固化后形成保護(hù)膜。固晶后需快速冷卻至室溫，避免高溫氧化加劇。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的真空固晶爐密封性強(qiáng)，能為易氧化芯片提供可靠環(huán)境。

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