廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-29
是,厚膜電路(如陶瓷厚膜電阻、電容)對銀層一致性要求嚴苛,溫度均勻性需從常規 ±1℃提升至 ±0.5℃:檢測時采用 12 點測溫法(腔體上下左右及中心各 2 點),確保無局部溫差;加熱管需采用矩陣式布局(每 10L 腔體≥4 根加熱管),配合熱風循環增強均勻性;固化階段若檢測到某點溫差超 ±0.5℃,設備自動微調對應區域加熱功率。銀層厚度>50μm 時,還需延長保溫時間 5-8min,確保銀漿充分燒結,避免厚膜層內部出現未固化區域。廣東華芯半導體技術有限公司的烤箱,通過定制加熱系統可滿足厚膜電路的均勻性要求。
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