氣浮平臺(tái)工作原理

基于空氣軸承技術(shù)：供氣系統(tǒng)：外部氣源（如潔凈的壓縮空氣）通過管道被精確地輸送到平臺(tái)底部的氣腔或多孔材料中。形成氣膜：壓縮空氣從這些氣孔中逸出，在平臺(tái)與底座之間的微小間隙中形成一層均勻、穩(wěn)定的高壓氣膜。懸浮與承載：這層氣膜的壓力足以將平臺(tái)及其負(fù)載的重量支撐起來，實(shí)現(xiàn)非接觸懸浮。驅(qū)動(dòng)與運(yùn)動(dòng)：平臺(tái)通常由直線電機(jī)或音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)。由于平臺(tái)是懸浮狀態(tài)，沒有機(jī)械接觸帶來的摩擦，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可以非常平滑、精確地控制平臺(tái)進(jìn)行微米甚至納米級(jí)的移動(dòng)。 TOYO機(jī)器人支持視覺引導(dǎo)系統(tǒng)，智能識(shí)別定位。東佑達(dá)TOYO機(jī)器人大理石平臺(tái)

TOYO直線電機(jī)提供三大技術(shù)平臺(tái)滿足不同工業(yè)需求。有鐵芯平板型包含兩大系列：G系列：專為高速輕載設(shè)計(jì)，負(fù)載3-20kg，行程達(dá)2520mm，適用于精密檢測(cè)設(shè)備一般系列：重載長(zhǎng)行程旗艦，負(fù)載20-120kg，最大行程8000mm，滿足大型自動(dòng)化產(chǎn)線需求兩系列均保持2500mm/s高速及±1~2μm高精度。無(wú)鐵芯U型電機(jī)采用無(wú)磁吸力設(shè)計(jì)，負(fù)載4-15kg，行程1290mm，特別適合需要平滑運(yùn)動(dòng)的精密儀器。軸棒型電機(jī)創(chuàng)新中空結(jié)構(gòu)，負(fù)載能力15-51kg，行程1940mm，內(nèi)置冷卻通道解決高熱負(fù)荷工況。全系列統(tǒng)一維持±1~2μm定位精度與2500mm/s峰值速度，通過模塊化設(shè)計(jì)支持多場(chǎng)景擴(kuò)展：G系列：半導(dǎo)體分選/激光加工U型：醫(yī)療設(shè)備/光學(xué)平臺(tái)軸棒型：3C電子組裝/高功率焊接覆蓋從微牛頓級(jí)到百公斤級(jí)的全頻譜動(dòng)力需求。精品TOYO機(jī)器人集中注油TOYO機(jī)器人能耗比同類產(chǎn)品低30%，更節(jié)能環(huán)保。

TOYO直線電機(jī)分類：有鐵芯平板型直線電機(jī)、無(wú)鐵芯U型直線電機(jī)、軸棒型直線電機(jī)。有鐵芯平板型直線電機(jī)分為：G系列與一般系列；G系列：速度可達(dá)：2500mm/s，水平負(fù)載：3-20KG，行程可達(dá)：2520mm，精度：±1~2μ。一般系列：速度可達(dá)：2500mm/s，水平負(fù)載：20-120KG，行程可達(dá)：8000mm，精度：±1~2μ。無(wú)鐵芯U型直線電機(jī)：速度可達(dá)：2500mm/s，水平負(fù)載：4-15KG，行程可達(dá)：1290mm，精度：±1~2μ。軸棒型直線電機(jī)：速度可達(dá)：2500mm/s，水平負(fù)載：15-51KG，行程可達(dá)：1940mm，精度：±1~2μ。

直線電機(jī)的應(yīng)用檢測(cè)與測(cè)試：①自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備：直線電機(jī)用于自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備中的晶圓或芯片搬運(yùn)和定位，以進(jìn)行視覺檢測(cè)或電氣測(cè)試。②測(cè)試探針臺(tái)：在測(cè)試探針臺(tái)中，直線電機(jī)用于精確控制探針的位置，對(duì)芯片進(jìn)行功能和性能測(cè)試。物料搬運(yùn)：①晶圓搬運(yùn)：直線電機(jī)用于晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，實(shí)現(xiàn)晶圓在各個(gè)工藝步驟之間的快速、精確搬運(yùn)。②自動(dòng)化倉(cāng)儲(chǔ)：在半導(dǎo)體材料的自動(dòng)化倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)中，直線電機(jī)用于物料的快速存取。精密加工：①微細(xì)加工：直線電機(jī)用于半導(dǎo)體設(shè)備的微細(xì)加工過程，如鉆孔、研磨等，實(shí)現(xiàn)高精度的加工。直線電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用，不僅提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率，還降低了制造成本，提升了半導(dǎo)體制造過程的自動(dòng)化和智能化水平。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷進(jìn)步，直線電機(jī)的應(yīng)用將更加重要。TOYO機(jī)器人關(guān)節(jié)壽命超10萬(wàn)小時(shí)，經(jīng)久耐用。

直線電機(jī)應(yīng)用案例高速取放裝置：將料架上之零件進(jìn)行取放的裝置，可進(jìn)行長(zhǎng)距離工序的搬運(yùn)。使用規(guī)格：LMR32/CGTH5/GTH8貼片裝置：PCB基板的焊接及貼片的機(jī)構(gòu)，可雙滑臺(tái)以節(jié)省空間。使用規(guī)格：LTF2-30/CGTH5檢查裝置：可高速移動(dòng)，雙滑臺(tái)的檢測(cè)機(jī)構(gòu)。使用規(guī)格：LTF2-20基板切割裝置：PCB基板及各種零件之切割加工作業(yè)。使用規(guī)格：LMR20液晶面板檢查裝置：大型液晶面板同時(shí)間移載進(jìn)行檢測(cè)。使用規(guī)格：LTF2-20鐳射雕刻機(jī)：利用同動(dòng)帶動(dòng)鐳射雕刻部，以進(jìn)行相關(guān)雕刻作業(yè)。使用規(guī)格：LMR20TOYO機(jī)器人，性能優(yōu)越，為企業(yè)創(chuàng)造更大價(jià)值。無(wú)塵TOYO機(jī)器人線性模組

智能化操作，高效生產(chǎn)，TOYO機(jī)器人優(yōu)勢(shì)明顯。東佑達(dá)TOYO機(jī)器人大理石平臺(tái)

TOYO電動(dòng)缸型號(hào)表示方式以CSG25為例：CSG25-L8-50-B-TC100-03-N1-WR-A001CSG25：指的是本體型號(hào)L8：指的是絲桿的導(dǎo)程（導(dǎo)程會(huì)影響電動(dòng)缸的運(yùn)行速度以及可承受的負(fù)載，一般有多個(gè)導(dǎo)程可選，具體參考TOYO電動(dòng)缸型錄）。50：指的是有效行程。B：指的是是否剎車（垂直使用時(shí)需追加內(nèi)置式剎車器），若無(wú)剎車則不表示。TC100：指的是對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器。標(biāo)配是TC100，如果需要EtherCAT控制，則選TC100E。03：指的是控制線的長(zhǎng)度，可選高柔線。N1：指的是IO線，標(biāo)配是1.5mWR：指的是接頭型式，有多種接頭方式可選。A001：指的是特注碼，如果有非標(biāo)的內(nèi)容則會(huì)有改代碼。東佑達(dá)TOYO機(jī)器人大理石平臺(tái)