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光學元件精密溫控配套

來源: 發布時間:2025-12-06

南京拓展科技旗下企業,極測(南京)技術有限公司憑借深厚的技術積淀,精心打造的精密溫控箱罩設備,以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實現潔凈度十級以上的能力,成為三坐標測量儀的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環境參數及使用需求,比如溫濕度穩定性、潔凈度,抗微振、防磁、隔音等不同個性化需求。現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板前列企業與國家重點實驗室,應用于眾多科研與生產場景。 在精密制造與檢測領域,三坐標測量儀作為獲取高精度尺寸數據的關鍵設備,其測量精度直接關系到產品質量與生產效率。而要確保三坐標測量儀穩定、精密地運行,精密溫控箱罩起著不可或缺的作用。極測(南京)致力于為全球企業提供定制化的環境控制解決方案,以嚴格的溫濕度與潔凈度標準。光學元件精密溫控配套

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考慮到不同生產車間的布局需求,極測精密環控設備采用可拆卸鋁合金框架,大型設備可在現場便捷組裝,節省安裝時間與成本。箱體采用高質量鈑金材質,不僅堅固耐用,還可根據客戶需求定制外觀顏色,融入不同的工作環境。設備運行時,采用 EC 風機和高效隔音材質,實現靜音高效運轉,噪音低于 45dB,為操作人員營造安靜舒適的工作環境,避免噪音干擾測量操作和數據分析。 自推出以來,極測精密環控設備已成功為眾多企業的三坐標測量儀提供了穩定可靠的工作環境,贏得了贊譽。在制造業對高精度、高效率生產要求日益提升的如今極測精密環控設備為精密制造和質量檢測奠定堅實基礎,助力企業在激烈的市場競爭中脫穎而出。黑龍江精密溫控設備智能化數據全流程可溯:實時記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關鍵環境參數變化曲線,數據自動存儲并支持表格導出。

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作為南京拓展科技旗下專注于微環境控制技術的關鍵企業,極測(南京)技術有限公司打造的超精密儀器室,通過集成自主研發的高精密微環境控制系統,為光刻機、立式干涉儀等精密儀器構建了溫度波動極小、潔凈度極高(潔凈恒溫)的理想工作環境,精密儀器室成為支撐高精度測量與科研生產的關鍵基礎設施。
納米級溫控,超高精度溫度波動極測運用自主研發的高精密控溫技術,控制輸出精度達 0.1%,使得環境內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK(靜態),溫度水平均勻性小于 16mK/m。實現±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等級精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩定操作環境。 蕞高ISO class1級潔凈,打造無塵空間精密儀器室系統可實現百級以上潔凈度控制,蕞高優于 ISO class3(設備工作區),達到ISO class1,避免灰塵等污染物影響光線傳播。設備內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h,有效防止因濕度變化引發的光學元件發霉、機械部件生銹等問題,延長精密儀器使用壽命。 全場景非標定制,滿足多元化需求精密儀器室可根據用戶需求,滿足用戶不同的溫濕度穩定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個性要求,保證用戶的正常使用。

極測(南京)技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業領域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的專長,同時匯聚了30多名擁有15年以上經驗的行業前列工程師,致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發等領域提供定制化的高精密環境解決方案,現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業與國家重點實驗室,應用于眾多科研與生產場景,科學技術成果認定為國際先進水平。目前,高精密環境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力,可滿足用戶不同環境參數及使用需求,持續領跑超高精密環控技術革新。靈活部署:采用可拆卸鋁合金框架結構,大型設備現場輕松組裝,大幅節省安裝成本和時間。

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溫度穩定性:光刻機內部的光學元件(如鏡頭、反射鏡)和精密機械結構多由對溫度極其敏感的材料制成。微小的溫度變化會導致材料熱脹冷縮,引起光學系統焦距偏移、對準系統失準、機械平臺位置漂移,蕞終導致圖形扭曲、套刻誤差增大,良率驟降。整個光刻區通常處于恒溫控制狀態。

濕度穩定性:濕度過高可能導致光學鏡片表面結露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變;濕度過低則容易產生靜電,吸附塵埃污染晶圓和設備。精確的濕度控制對確保工藝穩定性和材料性能至關重要。3、chao低振動:光刻機在曝光時需要極高的穩定性。任何來自地面(交通、施工、人員走動)、設備自身(空調、泵)或建筑物(風載荷)的振動,都會直接導致光學系統抖動,使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此,光刻機通常安裝在深達地下的單獨地基或高性能主動/被動隔震平臺上,甚至采用磁懸浮等技術進行主動減振。 系統由設備主柜體、潔凈過濾系統、局部氣浴、控制系統、氣流循環系統、制冷(熱)系統等組成。重慶靜音精密溫控

靜謐運行:應用 EC 風機與高效隔音材料,運行噪音低于 45dB,避免噪音對精密操作產生干擾。光學元件精密溫控配套

極測(南京)技術有限公司注重設備的穩定性和可靠性。通過嚴格的質量檢測和優化設計,確保設備在長時間運行過程中保持穩定性能,減少故障發生的概率。同時,極測還提供完善的售后服務,及時響應客戶的需求,為客戶解決設備使用過程中遇到的問題。 作為精密溫控設備供應商,極測(南京)始終將守護半導體制造精度作為使命。憑借前列的技術、可靠的產品和高質量的服務,極測正在成為半導體制造企業信賴的合作伙伴,為推動半導體產業的發展貢獻力量。光學元件精密溫控配套

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