晶圓制造是一項對環境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕,還是封裝環節,溫度的細微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災難性后果,影響芯片的功能或造成短路或斷路,導致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業,極測(南京)技術有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚,憑借突破性的環境控制技術,為晶圓構建起無可比擬的操作空間,可實現±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等級精度的溫度控制,及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度,相比晶圓操作臺通過被動抵御環境溫度變化,極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破,主動調控外部溫度,形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環境”,成為推動半導體產業向更高精度邁進的關鍵力量。極測(南京)高精密環境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級以上。黑龍江步入式精密溫控

在中國,隨著制造業的快速發展和產業升級,半導體、航空航天、生物醫藥等領域對高精密環境控制設備的需求急劇增長。據市場研究機構QYResearch預測,全球高精密環境控制設備市場規模預計在未來五年內將以年均超過8%的復合增長率增長,到2028年將達到數十億美元規模。在半導體領域,隨著工藝向更高精度邁進,2nm工藝要求溫度控制精度從±0.1℃提升至±2mK,全球晶圓廠每年在溫度控制設備上的投入超過50億美元;光電光學領域,高duan光學顯微鏡、量子光學實驗等對溫度控制精度要求極高;量子計算領域,量子比特對溫度極為敏感,高精密環控艙是必需設備,未來5年需求可能呈指數級增長。同時,各國產業政策也推動了高精密環境控制設備市場的發展。美國《芯片與科學法案》、歐盟“歐洲量子旗艦計劃”、中國《十四五集成電路產業發展規劃》等政策的出臺,為行業發展提供了良好的政策環境和資金支持。
恒溫恒濕潔凈精密溫控廠家半導體生產設備精密且昂貴,因此應采取相應的抗振措施。例如,在設備底部設置減振支座或彈簧隔振器等。

打造高“溫度精度”,避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環控柜采用自主研發的高精度制冷/加熱控制系統,能夠實現高溫度精度和穩定性。蕞高將內部環境溫度波動控制在極小的范圍內(±2mK),確保每一次測量數據的重復性與可靠性。超凈空間,避免微粒污染除了溫控精度,潔凈度同樣至關重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設備光學鏡頭上,將造成缺陷或信號干擾。極測環控柜內部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環境,有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物,為半導體量測設備提供干凈的環境,保護昂貴的光學組件和敏感樣品。智能集成,一站式環境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的綜合環境配套系統。支持根據您設備的特定型號和工藝要求進行非標定制,匹配不同半導體量測設備的精密需求。設備智能管理系統提供7x24小時實時數據監控與記錄,所有環境參數一目了然,數據可追溯,為質量分析和故障排查提供堅實依據。
在半導體、光學、精密制造等領域,環境控制精度往往決定了技術突破的成敗。極測(南京)技術有限公司作為高精密環境控制領域的創新者,依托深厚的技術積淀,推出了具有變革性意義的毫 K 級高精密環控艙解決方案,為行業發展注入新動能。極測(南京)技術有限公司成立于 2024 年,依托母公司在實驗室專業領域,尤其是暖通及自控技術方面的深厚沉淀,致力于為芯片半導體、光學、精密制造、科研研發等領域提供定制化的高精密環境控制解決方案。公司現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板前列企業與國家重點實驗室,在眾多科研與生產場景中展現出的高精密環境控制技術實力。 同時,公司擁有自己的工廠,能夠高效地將研發成果轉化為實際產品,為客戶提供高質量的設備和服務。此外,公司還組建了專業的售后服務團隊,確??蛻舾呔墉h境控制設備穩定運行,全方wei提升客戶滿意度。在精密測量領域,細動誤差是一個關鍵問題,它主要由難以察覺的機械振動或外部干擾引起。

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統。運行中的溫度、濕度等關鍵數據自動生成曲線,操作人員可以直觀地掌握環境變化情況;數據自動保存且可隨時導出,運行狀態與故障狀態同步記錄,方便進行數據分析、質量追溯與故障排查。自動安全保護系統更是為設備的穩定運行提供了全天候保障,一旦出現異常,系統將立即啟動保護機制,減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環境控制技術,為晶圓操作空間樹立了新的行業標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環境控制的難題,更為芯片的高精度制造和研發提供了堅實的保障。隨著半導體技術的不斷發展,對晶圓操作環境的要求也將越來越高,而極測精密恒溫潔凈棚,必將在未來的產業發展中發揮更加重要的作用,助力我國半導體產業邁向新的高度。一般來說,潔凈室的潔凈度要達到Class 1到Class 100的標準。激光制造精密溫控柜
極測(南京)精密環控柜滿足用戶不同溫濕度穩定性、潔凈度,氣壓穩定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。黑龍江步入式精密溫控
在半導體制造、精密光學檢測等領域,環境參數的微小偏差都可能導致產品性能大幅下降。想要實現波動 ±0.005℃的精密溫度控制與 ISO Class 3 的潔凈度,需要突破傳統環境控制的技術瓶頸。 南京拓展科技旗下企業,極測(南京)作為專業的精密溫控設備供應商,其對環境溫度控制精度可達 ±0.002℃,潔凈度可達一級(優于ISO class1),這一數據在行業內處于前列水平。為精密制造和精密儀器的運行提供了可靠的環境保障。精密溫控設備現已服務多家芯片半導體令頁軍企業,以及國家重點實驗室。精密溫控通過以下方式根據用戶的不同需求進行設備的非標定制。黑龍江步入式精密溫控