濕度穩定性：濕度過高可能導致光學鏡片表面結露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變；濕度過低則容易產生靜電，吸附塵埃污染晶圓和設備。精確的濕度控制對確保工藝穩定性和材料性能至關重要。3、chao低振動：光刻機在曝光時需要極高的穩定性。任何來自地面（交通、施工、人員走動）、設備自身（空調、泵）或建筑物（風載荷）的振動，都會直接導致光學系統抖動，使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此，光刻機通常安裝在深達地下的單獨地基或高性能主動/被動隔震平臺上，甚至采用磁懸浮等技術進行主動減振。 智能閉環監控：內置自動安全保護系統，異常情況即時響應，故障自動處理機制確保設備 7x24 小時無憂運行。山西光學元件精密溫控

控溫精度：提供業界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內，確保測量過程的穩定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協同保障：設備同時實現 ±0.5%@8h 的高濕度穩定性，杜絕因濕度問題導致的零部件腐蝕和鏡片結霧風險。潔凈度控制可達百級以上，關鍵工作區蕞高優于 ISO class3 標準，嚴防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環境定制：極測具備強大的全場景非標定制能力，不僅能滿足嚴苛的溫濕度穩定性需求，還能根據用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環境參數，為干涉儀量身打造理想的工作空間。 山東恒溫恒濕精密溫控光學儀器行業通常要求相對濕度控制在40~60%RH之間，某些情況下可能要求更嚴格的范圍，如45~55%RH。

合理的箱體結構有助于提升精密環控設備溫濕度的均勻性和控制效果，例如雙層保溫結構、優化風道設計等，能增強精密環控設備的保溫性能和控制精度。精密環控設備的外殼和內部材質應具備良好的耐磨性，部分還需要優良的保溫性能，以延長精密環控設備的使用壽命。極測的精密環控柜采用合理的柜體結構設計，主柜體為內部精密組件提供穩固物理空間，同時采用可拆卸鋁合金框架，方便大型設備在不同科研場所進行現場組裝，其箱體采用的高質量鈑金材質堅固耐用。  

這款高精密環控柜是我司單獨研發的精密環境控制設備，可達成ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設備具備運行數據實時記錄與查詢功能，并配備自動安全防護系統，確保長期穩定運行。其構成包括主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷（熱）系統、照明系統及局部氣浴等，專為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環境。該系統采用“外環境保障相對濕度、大環境穩定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實現倉內濕度達標。為滿足嚴苛要求，采用大風量小溫差設計，快速循環過濾空氣并帶走余熱，使關鍵區域溫度波動低至±0.002℃；同時通過多級控溫（表冷盤降溫+多級電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。半導體生產過程中使用的許多材料對濕度也非常敏感。例如，光刻膠在高濕環境下容易吸濕，影響其固化效果。

在半導體制造的精密領域，每一個細微的溫度變化，都可能對芯片的性能產生重大影響。南京拓展科技旗下企業，極測（南京）作為專業的精密溫控設備供應商，其對環境溫度控制精度可達 ±0.002℃，潔凈度可達一級（優于ISO class1），這一數據在行業內處于前列水平，為更高精度的芯片半導體制造提供了可靠的環境保障。 極測（南京）投入大量資源進行技術研發，致力于為半導體制造提供高精度、高穩定性的溫控設備。以其成熟的技術和創新的解決方案，為半導體制造精度構筑起一道堅實的防線。系統可實現蕞高ISO Class 1級的潔凈環境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個）。激光設備精密溫控方案

系統由設備主柜體、潔凈過濾系統、局部氣浴、控制系統、氣流循環系統、制冷(熱)系統等組成。山西光學元件精密溫控

極測（南京）致力于為芯片半導體、電子信息、光學儀器、精密制造、新能源、航空航天等行業提供高質量的高精密環境解決方案，是一家為行業創造價值、深獲客戶信賴的杰出企業。我們擁有一支強大的研發及設計團隊，涵蓋了產品經理、結構工程師、暖通專業人員、電氣自控專業人員等各類專業人才。這支多元化的團隊憑借深厚的專業知識和豐富的實踐經驗，能夠滿足客戶的多樣化需求。此外，公司還擁有自己的工廠，能夠有效地將研發成果轉化為實際產品，為眾多矢口名公司提供了高質量的設備和服務。山西光學元件精密溫控