在高duan制造業的關鍵地帶，納米級芯片、微米級航空葉片、亞波長光學元件的精密制造，對生產環境提出了前所未有的嚴苛要求。其中，精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動，都可能成為制約良率與性能的關鍵瓶頸。作為環境控制領域的關鍵要素，精密溫控設備已從幕后走向前臺，成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業極測（南京）技術有限公司，憑借二十六載在實驗室環境控制領域的技術積淀，推出顛覆行業的精密環控柜系列產品。其高達±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級潔凈度（每立方米≥0.1μm顆粒數≤1，000個），為半導體制造、航空航天、生物醫藥等戰略新興產業筑起了堅實的“科技堡壘”。極測（南京）高精密環境控制設備確保實驗結果的準確性和可靠性，滿足光刻機、加速器等設備的恒溫需求。干涉儀精密溫控場景

在中國，隨著制造業的快速發展和產業升級，半導體、航空航天、生物醫藥等領域對高精密環境控制設備的需求急劇增長。據市場研究機構QYResearch預測，全球高精密環境控制設備市場規模預計在未來五年內將以年均超過8%的復合增長率增長，到2028年將達到數十億美元規模。在半導體領域，隨著工藝向更高精度邁進，2nm工藝要求溫度控制精度從±0.1℃提升至±2mK，全球晶圓廠每年在溫度控制設備上的投入超過50億美元；光電光學領域，高duan光學顯微鏡、量子光學實驗等對溫度控制精度要求極高；量子計算領域，量子比特對溫度極為敏感，高精密環控艙是必需設備，未來5年需求可能呈指數級增長。同時，各國產業政策也推動了高精密環境控制設備市場的發展。美國《芯片與科學法案》、歐盟“歐洲量子旗艦計劃”、中國《十四五集成電路產業發展規劃》等政策的出臺，為行業發展提供了良好的政策環境和資金支持。
湖北光學元件精密溫控極測（南京）研發及設計團隊，涵蓋了產品經理、結構工程師、暖通、電氣自控等各類專業人才。

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設備的嚴苛環境需求而設計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標測量儀構建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發的高精密控溫技術，確保精密溫控箱罩內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK（靜態），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩定的測量精度，實現0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現。精密溫控箱罩內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障，延長了設備使用壽命。同時，該系統可實現百級以上潔凈度控制，內部潔凈度蕞高可優于 ISO class3（設備工作區），有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面，避免對測量精度造成干擾。

打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環控柜采用自主研發的高精度制冷/加熱控制系統，能夠實現高溫度精度和穩定性。蕞高將內部環境溫度波動控制在極小的范圍內（±2mK），確保每一次測量數據的重復性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設備光學鏡頭上，將造成缺陷或信號干擾。極測環控柜內部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導體量測設備提供干凈的環境，保護昂貴的光學組件和敏感樣品。智能集成，一站式環境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環境配套系統。支持根據您設備的特定型號和工藝要求進行非標定制，匹配不同半導體量測設備的精密需求。設備智能管理系統提供7x24小時實時數據監控與記錄，所有環境參數一目了然，數據可追溯，為質量分析和故障排查提供堅實依據。一般來說，潔凈室的潔凈度要達到Class 1到Class 100的標準。

高精密環境控制設備是一款自主研發的精密環境控制產品，主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環，控制系統對循環氣流的每個環節進行處理，從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。溫度穩定性蕞高可達±0.002°C，濕度穩定性蕞高可達±0.3%RH，潔凈等級蕞高可實現 ISO class 1級。極測精密溫控設備已成為半導體企業、典型通信設備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級實驗室的合作伙伴。極測精密溫控解決方案

數據全流程可溯：實時記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關鍵環境參數變化曲線，數據自動存儲并支持表格導出。干涉儀精密溫控場景

極測（南京）技術有限公司的精密水冷冷凍水機組憑借毫 K 級控溫精度（±0.001℃）、快速響應能力及高穩定性設計，成為半導體制造中蝕刻與沉積設備、晶圓制造、芯片測試等關鍵環節的標配溫控設備。本文結合半導體工藝對溫度的嚴苛需求，解析該機組如何通過專li技術實現全流程溫度精zhun控制，助力提升芯片良率與生產效率，為半導體行業用戶提供溫控設備選型與應用參考。
在半導體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today，精密水冷冷凍水機組已從 “輔助設備” 升級為 “關鍵工藝設備”。極測（南京）技術有限公司的產品憑借毫 K 級控溫、全流程適配及高可靠性，正在助力國內晶圓廠、封測廠及研發機構攻克溫度敏感型工藝難題。對于半導體行業而言，選擇一款能夠精zhun匹配蝕刻、沉積、晶圓生長、芯片測試等全場景需求的溫控設備，不僅是提升良率的關鍵，更是在全球半導體競爭中構建技術壁壘的重要一環。
干涉儀精密溫控場景