螺桿真空泵的抽氣效率**取決于轉(zhuǎn)子型線設(shè)計(jì),目前主流有雙圓弧型線、擺線型線及漸開線型線三類。雙圓弧型線通過轉(zhuǎn)子齒頂與齒根的圓弧過渡,減少氣體在腔室內(nèi)的滯留死角,抽氣速率較傳統(tǒng)型線提升 15%-20%,適配半導(dǎo)體刻蝕等對(duì)抽速敏感的場(chǎng)景;擺線型線則憑借嚙合間隙小的優(yōu)勢(shì),極限真空度可突破 10??Pa,多用于超高真空實(shí)驗(yàn)裝置;漸開線型線因加工難度低、成本可控,廣泛應(yīng)用于中小型工業(yè)級(jí)螺桿泵。采用 “雙圓弧 - 漸開線復(fù)合型線” 設(shè)計(jì)的設(shè)備,在 1200m3/h 抽速下,容積效率仍能保持 92% 以上,既滿足大抽量需求,又兼顧真空度穩(wěn)定性,可適配 14nm 制程的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)。化工尾氣處理用螺桿泵耐腐...
鋰電池干燥工藝對(duì)螺桿真空泵的**要求是 “低水分殘留” 與 “抗粉塵污染”,需從三方面進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)。一是進(jìn)氣結(jié)構(gòu)優(yōu)化,采用斜切式進(jìn)氣口搭配前置過濾裝置,攔截正極材料粉塵(如三元材料顆粒),避免進(jìn)入泵腔造成轉(zhuǎn)子磨損;二是腔體表面處理,內(nèi)壁采用特氟龍涂層,降低鋰鹽(如 LiPF6)殘留附著,減少清潔頻率;三是抽氣曲線適配,根據(jù)干燥階段調(diào)整抽速:升溫階段采用低抽速(50-100m3/h)避免物料飛濺,恒溫階段切換高抽速(300-500m3/h)加速水分排出。適配后的設(shè)備可將電池極片含水量控制在 50ppm 以下,且在連續(xù)運(yùn)行 300 小時(shí)后,泵腔清潔周期延長至 15 天,滿足鋰電池規(guī)模化生產(chǎn)需求。...
在半導(dǎo)體芯片制造過程中,真空環(huán)境是保障工藝精度和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵,螺桿真空泵憑借其***的潔凈性和穩(wěn)定性,成為該領(lǐng)域的**設(shè)備之一。在晶圓刻蝕工藝中,需要將反應(yīng)腔室抽至極高真空度(通常達(dá)到 10?3~10??Pa),以避免空氣中的雜質(zhì)氣體與刻蝕氣體發(fā)生不良反應(yīng),影響刻蝕圖案的精度。螺桿真空泵能快速實(shí)現(xiàn)高真空狀態(tài),且無油蒸氣產(chǎn)生,有效防止晶圓表面被油污污染,保障芯片電路的完整性。此外,在薄膜沉積、離子注入等環(huán)節(jié),它也能精細(xì)控制真空度的穩(wěn)定性,減少工藝波動(dòng)對(duì)芯片性能的影響。隨著半導(dǎo)體芯片向更小制程(如 3nm、2nm)發(fā)展,對(duì)真空泵的抽氣速率、真空度控制精度要求更高,螺桿真空泵通過不斷優(yōu)化轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)和...
螺桿真空泵的節(jié)能改造可從電機(jī)升級(jí)、運(yùn)行控制、系統(tǒng)優(yōu)化三方面入手,降低運(yùn)行成本。電機(jī)升級(jí)方面,將傳統(tǒng)異步電機(jī)更換為永磁同步電機(jī),電機(jī)效率從 85% 提升至 95% 以上,在相同負(fù)載下能耗降低 10%-15%。運(yùn)行控制改造可加裝變頻控制系統(tǒng),根據(jù)系統(tǒng)真空度需求自動(dòng)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,避免設(shè)備空載或滿負(fù)荷無效運(yùn)行,對(duì)于間歇性抽氣工況,節(jié)能率可達(dá) 30% 以上。系統(tǒng)優(yōu)化方面,對(duì)真空管道進(jìn)行改造,減小管道直徑偏差(≤5%)、減少管道彎頭數(shù)量(每減少 1 個(gè) 90° 彎頭,壓力損失降低 8%),降低氣體流動(dòng)阻力;合理匹配真空泵與工藝需求,避免 “大馬拉小車” 的現(xiàn)象,選擇合適抽速的設(shè)備。某工廠通過節(jié)能改造,螺桿...
螺桿真空泵運(yùn)行時(shí)的噪聲主要來源于機(jī)械振動(dòng)、氣體脈動(dòng)、電機(jī)噪聲,需采用綜合控制技術(shù)降低噪聲。機(jī)械振動(dòng)控制方面,在設(shè)備底座安裝彈簧減震器,減震效率≥90%,減少振動(dòng)傳遞;轉(zhuǎn)子進(jìn)行動(dòng)平衡校正,平衡精度達(dá)到 G1 級(jí)別,降低旋轉(zhuǎn)振動(dòng)產(chǎn)生的噪聲。氣體脈動(dòng)控制上,進(jìn)氣口、排氣口安裝消聲器,消聲器采用抗性與阻性復(fù)合結(jié)構(gòu),對(duì)中高頻噪聲的消聲量≥25dB;優(yōu)化氣道設(shè)計(jì),采用平滑過渡的流道,減少氣體湍流產(chǎn)生的脈動(dòng)噪聲。電機(jī)噪聲控制可選用低噪聲電機(jī),噪聲值≤60dB(A),同時(shí)在電機(jī)外殼包裹隔音棉,進(jìn)一步吸收噪聲。此外,設(shè)備機(jī)房可采用隔音墻體設(shè)計(jì),墻體加裝隔音板與吸音棉,機(jī)房?jī)?nèi)噪聲可控制在 75dB(A)以下,符合...
干式螺桿真空泵的材料選型需適配工況特性。轉(zhuǎn)子材料優(yōu)先選用**度鋁合金(如 6061-T6)或不銹鋼(如 316L):鋁合金重量輕(密度 2.7g/cm3),適合高轉(zhuǎn)速(6000r/min)工況,減少電機(jī)負(fù)荷;316L 不銹鋼耐腐蝕性強(qiáng),適合含酸性、堿性氣體的工況,但密度大(7.98g/cm3),需匹配更大功率電機(jī)。泵腔材料多為灰鑄鐵(HT250)或球墨鑄鐵(QT400-15),鑄鐵材料成本低、加工性好,且具備一定耐磨性,內(nèi)壁經(jīng)淬火處理(硬度≥HRC50)可延長使用壽命。此外,緊固件(螺栓、螺母)需采用不銹鋼材質(zhì)(如 304),避免生銹導(dǎo)致拆機(jī)困難,關(guān)鍵部位螺栓需涂抹耐高溫螺紋膠(耐溫 200℃...
少油式螺桿真空泵配備的油霧分離器,**作用是分離排氣中的油霧(粒徑 1-5μm),避免環(huán)境污染與油損耗,工作原理包含三重分離過程:含油霧氣體進(jìn)入分離器后,先通過慣性碰撞板,大粒徑油霧(>5μm)被攔截;再進(jìn)入離心分離腔,通過高速旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速 3000rpm)產(chǎn)生的離心力,分離中粒徑油霧(1-5μm);***通過高精度濾芯(過濾精度 0.1μm),捕獲小粒徑油霧,凈化后的氣體(油霧含量≤5mg/m3)排出,分離出的油霧回流至油箱循環(huán)使用。維護(hù)要點(diǎn)包括:每日監(jiān)測(cè)分離器壓差(正常≤0.02MPa),壓差超 0.05MPa 表明濾芯堵塞,需及時(shí)更換;更換濾芯時(shí)需選用與設(shè)備匹配的型號(hào),避免因孔徑不當(dāng)導(dǎo)致分...
光伏電池片鍍膜工藝(如 PECVD)需螺桿真空泵維持穩(wěn)定的中高真空環(huán)境(1-10Pa),真空度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致膜層厚度不均,影響電池轉(zhuǎn)換效率。控制技術(shù)**包括:一是采用雙級(jí)壓力控制,一級(jí)壓力傳感器監(jiān)測(cè)泵入口壓力,二級(jí)傳感器監(jiān)測(cè)鍍膜腔壓力,通過 PLC 實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;二是選用高精度壓力傳感器,測(cè)量精度達(dá) ±0.1Pa,響應(yīng)時(shí)間<100ms,確保壓力信號(hào)實(shí)時(shí)反饋;三是優(yōu)化抽氣曲線,根據(jù)鍍膜工藝階段(抽真空、沉積、放氣)預(yù)設(shè)抽速,避免壓力驟升驟降。廠家為某光伏企業(yè)設(shè)計(jì)的控制系統(tǒng),在 PERC 電池鍍膜工藝中,將真空度波動(dòng)控制在 ±0.3Pa 以內(nèi),膜層厚度偏差從 ±5% 降至 ±2%,電池轉(zhuǎn)換效率平均提升...
在 “雙碳” 目標(biāo)下,馬德寶干式螺桿真空泵以節(jié)能降耗特性,成為工業(yè)綠色轉(zhuǎn)型的重要助力。相較于傳統(tǒng)滑閥泵,其 11KW 電機(jī)每年可節(jié)省電能約 3 萬度(按年運(yùn)行 8000 小時(shí)計(jì)算),無油煙排放減少大氣污染,無油污染降低廢水處理成本。同時(shí),設(shè)備運(yùn)行時(shí)振動(dòng)小、噪音低,改善車間作業(yè)環(huán)境,符合現(xiàn)代工業(yè)對(duì) “綠色生產(chǎn)、人文車間” 的需求。從化工醫(yī)藥的清潔生產(chǎn),到電子行業(yè)的精密制造,馬德寶螺桿真空泵不僅為企業(yè)提升生產(chǎn)效率,更以可持續(xù)設(shè)計(jì)助力行業(yè)實(shí)現(xiàn) “高效生產(chǎn)與環(huán)保責(zé)任” 的雙贏。大抽速型號(hào)可達(dá) 2700m3/h 以上。浙江羅茨螺桿真空泵哪個(gè)品牌好螺桿真空泵的日常維護(hù)需遵循 “預(yù)防性維護(hù)” 原則,**項(xiàng)目...
螺桿真空泵與羅茨泵組合使用可實(shí)現(xiàn) “粗真空 - 中高真空” 的連續(xù)覆蓋,設(shè)計(jì)需把握三個(gè)**要點(diǎn)。一是抽速匹配,羅茨泵抽速應(yīng)是螺桿泵的 1.5-2 倍,避免因羅茨泵抽速過大導(dǎo)致螺桿泵過載,例如螺桿泵抽速 300m3/h 時(shí),搭配 500-600m3/h 的羅茨泵**為適宜;二是壓力切換控制,設(shè)置壓力傳感器,當(dāng)系統(tǒng)壓力降至 100Pa 以下時(shí)啟動(dòng)羅茨泵,防止羅茨泵在高壓力下運(yùn)行導(dǎo)致過熱;三是管路優(yōu)化,采用大口徑(直徑≥DN80)無縫鋼管,減少管路阻力,同時(shí)在兩泵之間加裝止回閥,防止羅茨泵停機(jī)時(shí)氣體反流。合理設(shè)計(jì)的組合系統(tǒng),極限真空度可從螺桿泵單獨(dú)運(yùn)行的 10??Pa 提升至 10??Pa,且抽氣時(shí)...
螺桿真空泵的冷卻方式分風(fēng)冷和水冷兩類:風(fēng)冷系統(tǒng)適用于小抽速泵(≤100m3/h),通過電機(jī)帶動(dòng)風(fēng)扇,將泵腔熱量經(jīng)散熱片散發(fā),散熱片面積需根據(jù)功率計(jì)算(如15kW泵需散熱面積≥1.5m2);水冷系統(tǒng)適用于大抽速泵(≥200m3/h),冷卻水管路纏繞在泵腔外壁,進(jìn)水溫度≤32℃,水壓0.2-0.4MPa,水流量根據(jù)熱負(fù)荷確定(如37kW泵需水流量≥5m3/h)。冷卻系統(tǒng)的可靠性至關(guān)重要,若冷卻不足,泵腔溫度超過80℃會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子熱膨脹,間隙減小引發(fā)摩擦,嚴(yán)重時(shí)損壞設(shè)備,因此系統(tǒng)需加裝溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)控并聯(lián)動(dòng)報(bào)警。干式螺桿真空泵的節(jié)能改造可采用變頻電機(jī),根據(jù)壓力需求調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,節(jié)能 15%-20%。山...
在 “雙碳” 目標(biāo)下,馬德寶干式螺桿真空泵以節(jié)能降耗特性,成為工業(yè)綠色轉(zhuǎn)型的重要助力。相較于傳統(tǒng)滑閥泵,其 11KW 電機(jī)每年可節(jié)省電能約 3 萬度(按年運(yùn)行 8000 小時(shí)計(jì)算),無油煙排放減少大氣污染,無油污染降低廢水處理成本。同時(shí),設(shè)備運(yùn)行時(shí)振動(dòng)小、噪音低,改善車間作業(yè)環(huán)境,符合現(xiàn)代工業(yè)對(duì) “綠色生產(chǎn)、人文車間” 的需求。從化工醫(yī)藥的清潔生產(chǎn),到電子行業(yè)的精密制造,馬德寶螺桿真空泵不僅為企業(yè)提升生產(chǎn)效率,更以可持續(xù)設(shè)計(jì)助力行業(yè)實(shí)現(xiàn) “高效生產(chǎn)與環(huán)保責(zé)任” 的雙贏。低溫環(huán)境下有防凍保護(hù)設(shè)計(jì)。遼寧螺桿真空泵制造商螺桿真空泵的變頻控制系統(tǒng)基于 “負(fù)載按需調(diào)節(jié)” 原理,通過 PLC 采集系統(tǒng)壓力...
在化工領(lǐng)域,馬德寶干式螺桿真空泵可直接抽吸腐蝕性氣體,助力真空蒸餾、脫水結(jié)晶工藝高效運(yùn)行;醫(yī)藥行業(yè)中,無油設(shè)計(jì)避免藥品污染,適配真空干燥、無菌生產(chǎn)環(huán)節(jié);電子與半導(dǎo)體行業(yè)里,1Pa 的高真空度滿足真空鍍膜、芯片制造的嚴(yán)苛要求;食品工業(yè)方面,低噪、無油煙特性符合食品衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn),支撐冷凍干燥、真空包裝工藝;同時(shí),在電力行業(yè)真空浸漬、航空航天模擬試驗(yàn)中,其穩(wěn)定的抽氣速率與智能化控制,也成為保障工藝精度的關(guān)鍵裝備。干式螺桿真空泵的使用壽命通常為 8-10 年,定期維護(hù)可延長至 12 年。甘肅干式無油螺桿真空泵推薦廠家半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體(如 CF4、SF6)對(duì)螺桿真空泵腐蝕性極強(qiáng),需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)...
馬德寶干式螺桿真空泵的***性能,源于集團(tuán)嚴(yán)苛的全流程質(zhì)量控制體系。生產(chǎn)環(huán)節(jié)采用日本、德國數(shù)控加工中心及大型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,精加工車間配備恒溫環(huán)境,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化加工與檢測(cè),確保轉(zhuǎn)子、泵體等**部件的幾何精度與對(duì)稱性。原材料進(jìn)廠需經(jīng)光譜儀、液壓萬能試驗(yàn)機(jī)等設(shè)備檢測(cè),每臺(tái)產(chǎn)品出廠前均通過全性能試驗(yàn)平臺(tái)測(cè)試,批次產(chǎn)品額外抽檢。加之 ISO9004 質(zhì)量管理體系的持續(xù)貫徹,從加工到出廠的每一步都可控可追溯,讓產(chǎn)品精度與質(zhì)量在國內(nèi)同行業(yè)中保持**。螺桿真空泵的轉(zhuǎn)子常用功能涂層包括 TiN、DLC、氧化鋁陶瓷涂層,適配不同工況。國產(chǎn)螺桿真空泵價(jià)格螺桿真空泵變頻控制系統(tǒng)基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器...
馬德寶干式螺桿真空泵憑借多項(xiàng)國內(nèi)**技術(shù),樹立行業(yè)技術(shù)**。其全流道靜音設(shè)計(jì)為國內(nèi)**,通過獨(dú)特泵體與雙螺桿流道優(yōu)化,將噪音控制在 65 分貝以下,解決傳統(tǒng)真空泵噪音高的問題;磁力傳動(dòng)及永磁變頻全封閉電機(jī)技術(shù),徹底消除羅茨泵常見的軸封泄漏現(xiàn)象,電機(jī)一級(jí)能效更節(jié)能環(huán)保。此外,鋼襯工程塑料防腐技術(shù)的應(yīng)用,讓泵體既保留金屬強(qiáng)度,又具備工程塑料耐腐蝕性,可直接抽吸化工醫(yī)藥行業(yè)的腐蝕性氣體,無需額外氣體中和處理,大幅拓寬應(yīng)用場(chǎng)景。其極限真空度通常可達(dá)到 10??Pa 級(jí)別。羅茨泵螺桿真空泵采購干式螺桿真空泵的傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)直接影響運(yùn)行效率。該系統(tǒng)多采用“電機(jī)-聯(lián)軸器-轉(zhuǎn)子”直聯(lián)結(jié)構(gòu),減少皮帶傳動(dòng)的損耗(直...
螺桿真空泵的變頻控制系統(tǒng)基于 “負(fù)載按需調(diào)節(jié)” 原理,通過 PLC 采集系統(tǒng)壓力信號(hào),實(shí)時(shí)調(diào)整電機(jī)轉(zhuǎn)速:當(dāng)系統(tǒng)壓力高于設(shè)定值時(shí),電機(jī)轉(zhuǎn)速提升,增加抽氣速率;當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)定值后,電機(jī)轉(zhuǎn)速降低,維持比較低抽氣負(fù)荷。**組件包括永磁同步電機(jī)、變頻器及壓力傳感器,永磁電機(jī)較異步電機(jī)效率提升 10%-15%,變頻器采用矢量控制技術(shù),轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)范圍可從 500rpm 到 3000rpm。某廠家的變頻螺桿泵,在食品真空包裝生產(chǎn)線應(yīng)用中,當(dāng)包裝機(jī)處于間歇工作狀態(tài)時(shí),電機(jī)轉(zhuǎn)速可從 2800rpm 降至 800rpm,單臺(tái)設(shè)備年耗電量從 1.2 萬度降至 6500 度,節(jié)能率達(dá) 45.8%,同時(shí)設(shè)備運(yùn)行噪音從 72...
螺桿真空泵的涂層是提升泵耐腐蝕性、耐磨性的**手段。常用涂層材料包括三類:氮化鈦(TiN)涂層,硬度達(dá) 2000-2500HV,適用于含固體顆粒的氣體工況,可減少轉(zhuǎn)子刮擦磨損;類金剛石涂層(DLC),摩擦系數(shù)低至 0.05-0.1,能降低轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)阻力,適配高轉(zhuǎn)速(6000r/min)工況,使能耗降低 5%-10%;氧化鋁陶瓷涂層,耐酸耐溫性優(yōu)異(耐溫 800℃),可抵御 HCl、H?SO?等酸性蒸氣侵蝕。涂層制備以物***相沉積(PVD)為主,其中磁控濺射法可精確控制涂層厚度(3-10μm),且涂層與轉(zhuǎn)子基體附著力≥50N。經(jīng)涂層處理后,轉(zhuǎn)子使用壽命延長 2-3 倍,在含腐蝕性氣體的工況中,泵...
鋰電池極片干燥是決定電池能量密度、循環(huán)壽命與安全性能的**工序——極片若殘留雜質(zhì)或水分,會(huì)直接引發(fā)電解液分解、活性物質(zhì)失效等問題,因此對(duì)配套螺桿真空泵提出“低水分殘留”“無油污染”“抗粉塵附著”三大嚴(yán)苛需求,且三者需同步滿足,缺一不可。在“低水分殘留”方面,極片含有的binder(粘結(jié)劑)與活性物質(zhì)(如三元材料、磷酸鐵鋰)對(duì)水分極為敏感:水分會(huì)與電解液中的鋰鹽反應(yīng)生成HF等腐蝕性物質(zhì),破壞極片結(jié)構(gòu),還會(huì)降低極片壓實(shí)密度。這要求螺桿真空泵需具備穩(wěn)定且高效的抽氣能力,不僅要快速抽離干燥腔體內(nèi)蒸發(fā)的水分,還需將腔體極限真空度控制在1Pa以下,確保極片**終水分殘留量低于50ppm,滿足高...
螺桿真空泵變頻控制系統(tǒng)基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC 控制器組成。壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)真空度,當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值(如 10Pa)時(shí),PLC 控制器發(fā)送信號(hào)給變頻器,降低電機(jī)轉(zhuǎn)速(從 3000rpm 降至 1500-2000rpm);當(dāng)真空度因泄漏等因素上升時(shí),變頻器自動(dòng)提升轉(zhuǎn)速,維持真空穩(wěn)定。該系統(tǒng)的節(jié)能效果體現(xiàn)在兩方面:一是運(yùn)行階段,非滿負(fù)荷工況下能耗降低 30%-50%,例如在半導(dǎo)體光刻工藝中,設(shè)備平均負(fù)載率 60%,年耗電量較定速設(shè)備減少約 8000kWh;二是啟動(dòng)階段,軟啟動(dòng)功能避免電機(jī)啟動(dòng)時(shí)的電流沖擊(啟動(dòng)電流從額定電流的 6-8 倍降至 1.5 ...
鋰電池極耳焊接(如激光焊接)工藝中,螺桿真空泵需為焊接區(qū)域提供穩(wěn)定的低真空環(huán)境,避免空氣影響焊接質(zhì)量。首先,需快速建立真空環(huán)境,將焊接腔真空度從大氣壓降至 10?2Pa 以下的時(shí)間≤2 分鐘,確保焊接效率;其次,真空度穩(wěn)定性需控制在 ±0.1Pa 范圍內(nèi),避免因真空度波動(dòng)導(dǎo)致激光能量衰減或焊接部位氧化。為保障真空環(huán)境,需做好三方面工作:一是真空系統(tǒng)密封,采用金屬密封墊片(如銅墊片),密封面粗糙度 Ra≤0.4μm,漏率≤1×10??Pa?m3/s;二是焊接腔清潔,定期清理焊接產(chǎn)生的金屬粉塵,防止粉塵堵塞氣道或進(jìn)入泵體;三是設(shè)備適配,根據(jù)焊接腔容積選擇合適抽速的真空泵,抽速余量預(yù)留 30%,確保...
企業(yè)在選擇螺桿真空泵時(shí),需根據(jù)自身生產(chǎn)工藝的需求,合理匹配抽氣速率和真空度范圍,以確保設(shè)備性能滿足生產(chǎn)要求且避免資源浪費(fèi)。螺桿真空泵的抽氣速率通常以 “m3/h” 為單位,常見規(guī)格從 10m3/h 到 1000m3/h 不等,小型設(shè)備適用于實(shí)驗(yàn)室、小型生產(chǎn)線(如電子元件封裝),大型設(shè)備則用于化工反應(yīng)釜、光伏鍍膜等大規(guī)模生產(chǎn)場(chǎng)景。真空度范圍方面,普通螺桿真空泵的極限真空度可達(dá)到 10?2~10??Pa,能滿足大多數(shù)工業(yè)領(lǐng)域的需求;而針對(duì)半導(dǎo)體刻蝕、太空模擬等對(duì)真空度要求極高的場(chǎng)景,可選擇高真空級(jí)螺桿真空泵,其極限真空度能達(dá)到 10??~10??Pa。在實(shí)際選型時(shí),還需考慮被抽氣體的成分(如是否含...
螺桿真空泵與羅茨泵組合使用可實(shí)現(xiàn) “粗真空 - 中高真空” 的連續(xù)覆蓋,設(shè)計(jì)需把握三個(gè)**要點(diǎn)。一是抽速匹配,羅茨泵抽速應(yīng)是螺桿泵的 1.5-2 倍,避免因羅茨泵抽速過大導(dǎo)致螺桿泵過載,例如螺桿泵抽速 300m3/h 時(shí),搭配 500-600m3/h 的羅茨泵**為適宜;二是壓力切換控制,設(shè)置壓力傳感器,當(dāng)系統(tǒng)壓力降至 100Pa 以下時(shí)啟動(dòng)羅茨泵,防止羅茨泵在高壓力下運(yùn)行導(dǎo)致過熱;三是管路優(yōu)化,采用大口徑(直徑≥DN80)無縫鋼管,減少管路阻力,同時(shí)在兩泵之間加裝止回閥,防止羅茨泵停機(jī)時(shí)氣體反流。合理設(shè)計(jì)的組合系統(tǒng),極限真空度可從螺桿泵單獨(dú)運(yùn)行的 10??Pa 提升至 10??Pa,且抽氣時(shí)...
半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體(如 CF?、SF?)會(huì)對(duì)螺桿真空泵造成嚴(yán)重腐蝕,需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、后處理三方面構(gòu)建防護(hù)體系。材質(zhì)上,轉(zhuǎn)子采用哈氏合金 C276,該材質(zhì)含鉬、鉻元素,對(duì)氟化物的耐腐蝕性能是 316L 不銹鋼的 8 倍;泵殼內(nèi)壁噴涂聚四氟乙烯涂層,厚度控制在 0.2-0.3mm,避免氣體直接接觸金屬表面。結(jié)構(gòu)上,采用 “干式密封 + 氮?dú)獯祾摺?設(shè)計(jì),在密封腔通入氮?dú)庑纬烧龎浩琳希乐购鷼怏w滲入密封系統(tǒng)。后處理上,排氣口連接活性炭吸附塔,吸附未反應(yīng)的氟化物,處理效率達(dá) 99.5%。螺桿真空泵在半導(dǎo)體刻蝕中可處理 Cl?、F?氣體,食品凍干中保證無菌環(huán)境。浙江選購螺桿真空泵頭部企業(yè)/...
螺桿真空泵的日常維護(hù)需遵循 “預(yù)防性維護(hù)” 原則,**項(xiàng)目與周期可分為三類:每日檢查項(xiàng)目,包括設(shè)備運(yùn)行溫度(正常 80-120℃)、振動(dòng)值(≤4.5mm/s)、真空度穩(wěn)定性,發(fā)現(xiàn)異常立即停機(jī);每月維護(hù)項(xiàng)目,清潔進(jìn)氣過濾器濾芯,檢查 O 型圈是否有老化跡象,補(bǔ)充軸承潤滑脂(選用高溫鋰基潤滑脂);每 6-12 個(gè)月深度維護(hù)項(xiàng)目,拆解泵體檢查轉(zhuǎn)子磨損情況,更換機(jī)械密封與老化密封件,校準(zhǔn)壓力傳感器。某化工企業(yè)按此周期維護(hù),螺桿真空泵的平均無故障時(shí)間從 3 萬小時(shí)延長至 4.8 萬小時(shí),年度維護(hù)費(fèi)用從 12 萬元降至 8 萬元,同時(shí)避免了因突發(fā)故障導(dǎo)致的生產(chǎn)線停工損失(日均損失約 5 萬元)。平均無故障...
螺桿真空泵的日常維護(hù)需遵循 “預(yù)防性維護(hù)” 原則,**項(xiàng)目與周期可分為三類:每日檢查項(xiàng)目,包括設(shè)備運(yùn)行溫度(正常 80-120℃)、振動(dòng)值(≤4.5mm/s)、真空度穩(wěn)定性,發(fā)現(xiàn)異常立即停機(jī);每月維護(hù)項(xiàng)目,清潔進(jìn)氣過濾器濾芯,檢查 O 型圈是否有老化跡象,補(bǔ)充軸承潤滑脂(選用高溫鋰基潤滑脂);每 6-12 個(gè)月深度維護(hù)項(xiàng)目,拆解泵體檢查轉(zhuǎn)子磨損情況,更換機(jī)械密封與老化密封件,校準(zhǔn)壓力傳感器。某化工企業(yè)按此周期維護(hù),螺桿真空泵的平均無故障時(shí)間從 3 萬小時(shí)延長至 4.8 萬小時(shí),年度維護(hù)費(fèi)用從 12 萬元降至 8 萬元,同時(shí)避免了因突發(fā)故障導(dǎo)致的生產(chǎn)線停工損失(日均損失約 5 萬元)。國產(chǎn)螺桿泵...
科學(xué)的維護(hù)保養(yǎng)是確保螺桿真空泵長期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵,合理的維護(hù)周期和方法能有效減少設(shè)備故障發(fā)生率。日常維護(hù)方面,操作人員需每天檢查設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),包括電機(jī)溫度(正常應(yīng)低于 80℃)、軸承溫度(不超過 70℃)、真空度穩(wěn)定性以及有無異常噪音或泄漏。潤滑油的更換是**維護(hù)環(huán)節(jié),一般情況下,礦物油類潤滑油需每 3000~4000 小時(shí)更換一次,合成潤滑油可延長至 6000~8000 小時(shí),更換時(shí)需徹底清理油箱內(nèi)的殘留油污,避免新舊油混合影響潤滑效果。每半年需對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子進(jìn)行一次檢查,查看轉(zhuǎn)子嚙合間隙是否正常(正常間隙應(yīng)在 0.1~0.3mm 之間),若間隙過大,需及時(shí)調(diào)整或更換轉(zhuǎn)子,防止抽氣效率下降。每...
螺桿真空泵作為一種干式真空泵,其**工作部件由一對(duì)相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子組成。在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下,兩根螺桿以相反方向高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子與泵殼之間形成周期性變化的容積腔室。當(dāng)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入腔室后,隨著螺桿的旋轉(zhuǎn),容積腔室不斷縮小,氣體被逐漸壓縮,**終從排氣口排出,實(shí)現(xiàn)抽真空過程。與傳統(tǒng)油式真空泵相比,它比較大的優(yōu)勢(shì)在于無油污染,避免了油蒸氣對(duì)被抽氣體和生產(chǎn)工藝的影響,尤其適用于半導(dǎo)體、食品醫(yī)藥等對(duì)潔凈度要求極高的行業(yè)。同時(shí),其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊,運(yùn)行時(shí)振動(dòng)小、噪音低,單級(jí)抽氣就能達(dá)到較高的真空度,在中高真空領(lǐng)域展現(xiàn)出穩(wěn)定可靠的性能,大幅降低了后續(xù)真空系統(tǒng)的配置復(fù)雜度。定期清潔進(jìn)氣口防止雜質(zhì)進(jìn)入。四川國產(chǎn)螺桿真空...
少油式螺桿真空泵配備的油霧分離器,**作用是分離排氣中的油霧(粒徑 1-5μm),避免環(huán)境污染與油損耗,工作原理包含三重分離過程:含油霧氣體進(jìn)入分離器后,先通過慣性碰撞板,大粒徑油霧(>5μm)被攔截;再進(jìn)入離心分離腔,通過高速旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速 3000rpm)產(chǎn)生的離心力,分離中粒徑油霧(1-5μm);***通過高精度濾芯(過濾精度 0.1μm),捕獲小粒徑油霧,凈化后的氣體(油霧含量≤5mg/m3)排出,分離出的油霧回流至油箱循環(huán)使用。維護(hù)要點(diǎn)包括:每日監(jiān)測(cè)分離器壓差(正常≤0.02MPa),壓差超 0.05MPa 表明濾芯堵塞,需及時(shí)更換;更換濾芯時(shí)需選用與設(shè)備匹配的型號(hào),避免因孔徑不當(dāng)導(dǎo)致分...
螺桿真空泵的節(jié)能改造可從電機(jī)升級(jí)、運(yùn)行控制、系統(tǒng)優(yōu)化三方面入手,降低運(yùn)行成本。電機(jī)升級(jí)方面,將傳統(tǒng)異步電機(jī)更換為永磁同步電機(jī),電機(jī)效率從 85% 提升至 95% 以上,在相同負(fù)載下能耗降低 10%-15%。運(yùn)行控制改造可加裝變頻控制系統(tǒng),根據(jù)系統(tǒng)真空度需求自動(dòng)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,避免設(shè)備空載或滿負(fù)荷無效運(yùn)行,對(duì)于間歇性抽氣工況,節(jié)能率可達(dá) 30% 以上。系統(tǒng)優(yōu)化方面,對(duì)真空管道進(jìn)行改造,減小管道直徑偏差(≤5%)、減少管道彎頭數(shù)量(每減少 1 個(gè) 90° 彎頭,壓力損失降低 8%),降低氣體流動(dòng)阻力;合理匹配真空泵與工藝需求,避免 “大馬拉小車” 的現(xiàn)象,選擇合適抽速的設(shè)備。某工廠通過節(jié)能改造,螺桿...
螺桿真空泵變頻控制系統(tǒng)基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC 控制器組成。壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)真空度,當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值(如 10Pa)時(shí),PLC 控制器發(fā)送信號(hào)給變頻器,降低電機(jī)轉(zhuǎn)速(從 3000rpm 降至 1500-2000rpm);當(dāng)真空度因泄漏等因素上升時(shí),變頻器自動(dòng)提升轉(zhuǎn)速,維持真空穩(wěn)定。該系統(tǒng)的節(jié)能效果體現(xiàn)在兩方面:一是運(yùn)行階段,非滿負(fù)荷工況下能耗降低 30%-50%,例如在半導(dǎo)體光刻工藝中,設(shè)備平均負(fù)載率 60%,年耗電量較定速設(shè)備減少約 8000kWh;二是啟動(dòng)階段,軟啟動(dòng)功能避免電機(jī)啟動(dòng)時(shí)的電流沖擊(啟動(dòng)電流從額定電流的 6-8 倍降至 1.5 ...