螺桿真空泵的涂層厚度控制對性能至關重要。涂層過薄(<3μm)會導致防護不徹底,轉子基體易受腐蝕或磨損;涂層過厚(>10μm)會增加轉子重量,增大電機負荷,且易產生內應力導致涂層剝落。因此,制備過程中需采用 “在線監控” 技術:磁控濺射法通過控制濺射功率(100-300W)和時間(30-60 分鐘)調節厚度,每 5 分鐘用膜厚儀(精度 0.1μm)測量一次;化學氣相沉積(CVD)法通過控制反應氣體流量(100-200sccm)和溫度(800-1000℃)調節厚度,每 10 分鐘取樣測量。此外,涂層厚度需均勻,同一轉子表面的厚度差≤1μm,避免局部過薄或過厚,確保整體性能一致。航空航天領域用其測試...
螺桿真空泵的涂層厚度控制對性能至關重要。涂層過薄(<3μm)會導致防護不徹底,轉子基體易受腐蝕或磨損;涂層過厚(>10μm)會增加轉子重量,增大電機負荷,且易產生內應力導致涂層剝落。因此,制備過程中需采用 “在線監控” 技術:磁控濺射法通過控制濺射功率(100-300W)和時間(30-60 分鐘)調節厚度,每 5 分鐘用膜厚儀(精度 0.1μm)測量一次;化學氣相沉積(CVD)法通過控制反應氣體流量(100-200sccm)和溫度(800-1000℃)調節厚度,每 10 分鐘取樣測量。此外,涂層厚度需均勻,同一轉子表面的厚度差≤1μm,避免局部過薄或過厚,確保整體性能一致。螺桿真空泵在半導體刻...
隨著工業 4.0 的推進,螺桿真空泵逐漸向智能化、數字化方向發展,智能化功能的應用大幅提升了設備的運維效率和管理水平。目前,許多廠家在螺桿真空泵上集成了智能控制系統,配備觸摸屏操作界面,操作人員可直觀查看設備的實時運行參數(如真空度、溫度、轉速、能耗),并能一鍵設置運行模式,簡化操作流程。更重要的是,部分**機型支持物聯網(IoT)遠程監控功能,通過內置的傳感器和通信模塊,設備可將運行數據實時上傳至云端管理平臺。企業管理人員可通過電腦、手機等終端隨時隨地查看設備運行狀態,當設備出現異常(如真空度下降、溫度過高)時,平臺會自動發送報警信息(短信、APP 推送),提醒維護人員及時處理,避免故障擴大...
螺桿真空泵的抽速下降是常見故障,需按步驟排查:第一步檢查進氣過濾器,若濾芯堵塞(壓差≥5kPa),用壓縮空氣反吹或更換;第二步檢查密封系統,用氦質譜檢漏儀檢測,若泄漏率>,更換密封件;第三步檢查轉子間隙,若因磨損導致間隙>0.5mm,需拆機調整或更換轉子。噪音過大(>80dB)的排查方向包括:電機軸承磨損(更換軸承)、聯軸器對中偏差(重新對中,偏差≤0.1mm)、泵腔異物(停機清理)。此外,泵過載(電流>額定值 110%)多因冷卻不足(清理冷卻系統)、轉子卡滯(檢查間隙和異物)、電源電壓異常(調整電壓至 380V±10%),故障排查需遵循 “先外部后內部、先電氣后機械” 原則,避免盲目拆機。干...
在半導體芯片制造過程中,真空環境是保障工藝精度和產品質量的關鍵,螺桿真空泵憑借其***的潔凈性和穩定性,成為該領域的**設備之一。在晶圓刻蝕工藝中,需要將反應腔室抽至極高真空度(通常達到 10?3~10??Pa),以避免空氣中的雜質氣體與刻蝕氣體發生不良反應,影響刻蝕圖案的精度。螺桿真空泵能快速實現高真空狀態,且無油蒸氣產生,有效防止晶圓表面被油污污染,保障芯片電路的完整性。此外,在薄膜沉積、離子注入等環節,它也能精細控制真空度的穩定性,減少工藝波動對芯片性能的影響。隨著半導體芯片向更小制程(如 3nm、2nm)發展,對真空泵的抽氣速率、真空度控制精度要求更高,螺桿真空泵通過不斷優化轉子結構和...
為滿足工藝真空度低于10?3Pa的需求,單一真空泵難以實現高效抽氣,需采用“螺桿泵+羅茨泵”的組合真空系統,通過兩者協同發揮優勢。設計該系統時,需重點把控三點關鍵匹配,以保障設備穩定運行、提升真空效率并延長使用壽命。一是抽速匹配。羅茨泵的抽速需設定為螺桿泵的2-3倍,這是因為若羅茨泵抽速低于此范圍,會導致氣體在兩泵間的連接管路內堆積,造成抽氣瓶頸,降低整體系統效率;若抽速過高,螺桿泵無法及時將氣體輸送至羅茨泵,會使羅茨泵陷入“過載抽氣”狀態,引發電機過熱,嚴重時還會損壞泵體內部的轉子與密封部件,直接影響真空性能。二是入口壓力匹配。羅茨泵在高壓力環境下運行易出現故障,因此必須在兩泵之...
醫藥無菌生產(如注射劑制備)對螺桿真空泵的污染控制要求極高,需從設備設計、運行管理、清潔滅菌三方面制定措施。設備設計上,與氣體接觸的部件采用 316L 不銹鋼材質,表面粗糙度 Ra≤0.2μm,減少微生物附著;密封結構采用雙機械密封,中間腔通入無菌氮氣,形成正壓屏障,防止外界污染侵入;設置在線清潔(CIP)接口,可通過高溫純化水(80℃-85℃)對泵體內腔進行循環沖洗,去除殘留物料。運行管理中,需建立無菌操作規范,操作人員需穿戴無菌服、手套,避免人為污染;設備運行記錄需詳細記錄運行參數、清潔時間,實現可追溯。清潔滅菌后,需進行無菌檢測,采用培養基模擬灌裝試驗,確保設備內表面無菌度達到 10??...
化工溶劑回收(如乙醇、**回收)工藝中,螺桿真空泵需針對溶劑的揮發性、腐蝕性進行適配改造。首先,材質選擇上,與溶劑接觸的轉子、泵殼采用耐溶劑腐蝕的合金材質,避免溶劑對設備的腐蝕;密封件選用耐溶劑的氟橡膠或全氟醚橡膠,防止溶劑泄漏。其次,工藝適配改造需設置溶劑冷凝回收裝置,在真空泵排氣口連接冷凝器,通過低溫冷卻水(5℃-10℃)將排氣中的溶劑蒸汽冷凝成液體,回收效率可達 95% 以上,既減少溶劑浪費,又避免溶劑排放污染環境。此外,需控制泵體運行溫度,避免高溫導致溶劑分解或氣化加劇,通常將泵體溫度控制在 60℃以下,可通過加裝冷卻套或增加冷卻水量實現。某化工企業通過改造后的螺桿真空泵進行溶劑回收,...
馬德寶干式螺桿真空泵憑借多項國內**技術,樹立行業技術**。其全流道靜音設計為國內**,通過獨特泵體與雙螺桿流道優化,將噪音控制在 65 分貝以下,解決傳統真空泵噪音高的問題;磁力傳動及永磁變頻全封閉電機技術,徹底消除羅茨泵常見的軸封泄漏現象,電機一級能效更節能環保。此外,鋼襯工程塑料防腐技術的應用,讓泵體既保留金屬強度,又具備工程塑料耐腐蝕性,可直接抽吸化工醫藥行業的腐蝕性氣體,無需額外氣體中和處理,大幅拓寬應用場景。螺桿轉子采用三維曲面優化嚙合效果。浙江水冷式螺桿真空泵靠譜廠家航空航天部件(如衛星姿態控制系統、發動機渦輪葉片)測試需螺桿真空泵提供 “超高真空”“高穩定性”“低振動” 的模擬...
螺桿真空泵在低溫環境(-10℃至 - 30℃)運行時,易出現潤滑油黏度增大、密封件硬化、電氣元件失效等問題,需針對性改造。首先,潤滑系統需更換低溫**潤滑油,其黏度指數需≥140,傾點≤-40℃,確保低溫下仍能形成有效油膜;其次,密封件選用耐低溫氟橡膠材質,避免低溫導致的彈性下降與泄漏;電氣部分加裝加熱保溫裝置,對電機繞組、控制模塊進行恒溫保護,維持溫度在 5℃以上。此外,進氣口需設置除霜裝置,防止空氣中的水分凝結成霜堵塞氣道。某低溫實驗室通過上述改造,使螺桿真空泵在 - 25℃環境下連續運行 6000 小時,未出現任何故障,抽氣效率保持在額定值的 95% 以上,滿足了低溫真空實驗的穩定需求。...
半導體刻蝕工藝中產生的含氟氣體(如 CF?、SF?)會對螺桿真空泵造成嚴重腐蝕,需從材質、結構、后處理三方面構建防護體系。材質上,轉子采用哈氏合金 C276,該材質含鉬、鉻元素,對氟化物的耐腐蝕性能是 316L 不銹鋼的 8 倍;泵殼內壁噴涂聚四氟乙烯涂層,厚度控制在 0.2-0.3mm,避免氣體直接接觸金屬表面。結構上,采用 “干式密封 + 氮氣吹掃” 設計,在密封腔通入氮氣形成正壓屏障,防止含氟氣體滲入密封系統。后處理上,排氣口連接活性炭吸附塔,吸附未反應的氟化物,處理效率達 99.5%。螺桿泵安裝需水平誤差小于 0.1%。浙江LGB變螺距螺桿真空泵頭部企業/廠家螺桿真空泵運行時振動超標(...
螺桿真空泵日常維護需遵循 “分級保養、定期檢測” 原則,**項目與周期可分為三類。每日檢查項目:監測排氣溫度(正常≤140℃)、振動值(≤2.8mm/s)與真空度穩定性,檢查冷卻系統(水冷式需確認水量≥5m3/h,風冷式需清潔散熱片);每周維護項目:更換進氣濾芯(過濾精度≤10μm),檢查密封件是否有泄漏痕跡,補充軸承潤滑脂(用量為軸承內部空間的 1/3-1/2);每季度深度保養:拆解檢查轉子間隙(標準 0.05-0.1mm,超 0.15mm 需調整),清潔泵腔內部殘留雜質,測試電機絕處理高粘度氣體時有防堵塞設計。浙江制藥螺桿真空泵結構圖干式螺桿真空泵的傳動系統設計直接影響運行效率。該系統多采...
螺桿真空泵的變頻控制系統基于 “負載按需調節” 原理,通過 PLC 采集系統壓力信號,實時調整電機轉速:當系統壓力高于設定值時,電機轉速提升,增加抽氣速率;當壓力達到設定值后,電機轉速降低,維持比較低抽氣負荷。**組件包括永磁同步電機、變頻器及壓力傳感器,永磁電機較異步電機效率提升 10%-15%,變頻器采用矢量控制技術,轉速調節范圍可從 500rpm 到 3000rpm。某廠家的變頻螺桿泵,在食品真空包裝生產線應用中,當包裝機處于間歇工作狀態時,電機轉速可從 2800rpm 降至 800rpm,單臺設備年耗電量從 1.2 萬度降至 6500 度,節能率達 45.8%,同時設備運行噪音從 72...
航空航天部件(如衛星姿態控制系統、發動機渦輪葉片)測試需螺桿真空泵提供 “超高真空”“高穩定性”“低振動” 的模擬環境,具體要求包括四項**指標。一是極限真空度,需達到 10??Pa 以下,滿足太空真空環境模擬(地球軌道真空度約 10??Pa),可通過雙級螺桿泵串聯實現;二是真空度穩定性,連續運行 1000 小時內,真空度波動誤差≤±0.05Pa/h,確保測試數據重復性;三是設備振動值,運行時振動速度≤2.0mm/s,避免振動傳遞至測試部件(如精密傳感器)影響性能檢測;四是長周期運行能力,需連續穩定運行≥1000 小時,減少測試中斷(單次測試成本超百萬元)。為滿足要求,設備需采用無接觸式轉子密...
馬德寶干式螺桿真空泵通過結構創新,將維護成本降至行業新低。其無摩擦副設計讓螺桿與泵體無磨損,避免傳統泵 “三大件易損壞” 的問題;模塊化拆分設計使維修時無需整體拆解,**部件更換便捷,減少停機時間。日常使用中,無潤滑油消耗、無皮帶更換需求,*需定期檢查冷卻液與過濾器,維護工作量較 H150 滑閥泵減少 70%。據測算,該系列真空泵平均使用壽命達 8-10 年,是傳統滑閥泵的 1.5 倍以上,長期使用中,維修與能耗成本的節省,可快速覆蓋初期采購成本差異。雙級結構螺桿泵抽氣速率更穩定。浙江羅茨螺桿真空泵工作原理螺桿真空泵變頻控制系統基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC ...
鋰電池干燥工藝對螺桿真空泵的**要求是 “低水分殘留” 與 “抗粉塵污染”,需從三方面進行定制化設計。一是進氣結構優化,采用斜切式進氣口搭配前置過濾裝置,攔截正極材料粉塵(如三元材料顆粒),避免進入泵腔造成轉子磨損;二是腔體表面處理,內壁采用特氟龍涂層,降低鋰鹽(如 LiPF6)殘留附著,減少清潔頻率;三是抽氣曲線適配,根據干燥階段調整抽速:升溫階段采用低抽速(50-100m3/h)避免物料飛濺,恒溫階段切換高抽速(300-500m3/h)加速水分排出。適配后的設備可將電池極片含水量控制在 50ppm 以下,且在連續運行 300 小時后,泵腔清潔周期延長至 15 天,滿足鋰電池規模化生產需求。...
企業在選擇螺桿真空泵時,需根據自身生產工藝的需求,合理匹配抽氣速率和真空度范圍,以確保設備性能滿足生產要求且避免資源浪費。螺桿真空泵的抽氣速率通常以 “m3/h” 為單位,常見規格從 10m3/h 到 1000m3/h 不等,小型設備適用于實驗室、小型生產線(如電子元件封裝),大型設備則用于化工反應釜、光伏鍍膜等大規模生產場景。真空度范圍方面,普通螺桿真空泵的極限真空度可達到 10?2~10??Pa,能滿足大多數工業領域的需求;而針對半導體刻蝕、太空模擬等對真空度要求極高的場景,可選擇高真空級螺桿真空泵,其極限真空度能達到 10??~10??Pa。在實際選型時,還需考慮被抽氣體的成分(如是否含...
在化工領域,馬德寶干式螺桿真空泵可直接抽吸腐蝕性氣體,助力真空蒸餾、脫水結晶工藝高效運行;醫藥行業中,無油設計避免藥品污染,適配真空干燥、無菌生產環節;電子與半導體行業里,1Pa 的高真空度滿足真空鍍膜、芯片制造的嚴苛要求;食品工業方面,低噪、無油煙特性符合食品衛生標準,支撐冷凍干燥、真空包裝工藝;同時,在電力行業真空浸漬、航空航天模擬試驗中,其穩定的抽氣速率與智能化控制,也成為保障工藝精度的關鍵裝備。定期清潔進氣口防止雜質進入。浙江國產螺桿真空泵經銷商螺桿真空泵變頻控制系統基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC 控制器組成。壓力傳感器實時監測系統真空度,當真空度達到...
螺桿真空泵遠程監控系統的搭建需依托傳感器、數據傳輸模塊、監控平臺三部分,實現設備運行狀態的實時監測與管理。傳感器部分需安裝溫度、壓力、轉速、電流、振動等傳感器,采集設備關鍵運行參數,數據采集頻率≥1 次 / 分鐘,確保數據實時性;數據傳輸模塊采用工業以太網或 4G/5G 無線傳輸,將采集的參數上傳至監控平臺,傳輸速率≥1Mbps,確保數據穩定傳輸,無丟包現象。監控平臺具備三大**功能:一是實時監控,顯示設備運行參數曲線、設備狀態(運行 / 停機 / 故障),異常參數實時報警(如溫度超標、壓力異常);二是數據管理,存儲設備運行數據(存儲周期≥1 年),支持數據查詢、導出,便于設備運行分析;三是遠...
醫藥無菌生產(如注射劑制備)對螺桿真空泵的污染控制要求極高,需從設備設計、運行管理、清潔滅菌三方面制定措施。設備設計上,與氣體接觸的部件采用 316L 不銹鋼材質,表面粗糙度 Ra≤0.2μm,減少微生物附著;密封結構采用雙機械密封,中間腔通入無菌氮氣,形成正壓屏障,防止外界污染侵入;設置在線清潔(CIP)接口,可通過高溫純化水(80℃-85℃)對泵體內腔進行循環沖洗,去除殘留物料。運行管理中,需建立無菌操作規范,操作人員需穿戴無菌服、手套,避免人為污染;設備運行記錄需詳細記錄運行參數、清潔時間,實現可追溯。清潔滅菌后,需進行無菌檢測,采用培養基模擬灌裝試驗,確保設備內表面無菌度達到 10??...
螺桿真空泵的日常維護需遵循 “預防性維護” 原則,**項目與周期可分為三類:每日檢查項目,包括設備運行溫度(正常 80-120℃)、振動值(≤4.5mm/s)、真空度穩定性,發現異常立即停機;每月維護項目,清潔進氣過濾器濾芯,檢查 O 型圈是否有老化跡象,補充軸承潤滑脂(選用高溫鋰基潤滑脂);每 6-12 個月深度維護項目,拆解泵體檢查轉子磨損情況,更換機械密封與老化密封件,校準壓力傳感器。某化工企業按此周期維護,螺桿真空泵的平均無故障時間從 3 萬小時延長至 4.8 萬小時,年度維護費用從 12 萬元降至 8 萬元,同時避免了因突發故障導致的生產線停工損失(日均損失約 5 萬元)。干式螺桿真...
當螺桿真空泵用于處理腐蝕性氣體(如鹽酸、氨氣、氟化物)時,需在泵體內腔、轉子表面噴涂防腐涂層,延長設備使用壽命。常用的防腐涂層包括聚四氟乙烯(PTFE)涂層、陶瓷涂層、鎳基合金涂層。聚四氟乙烯涂層耐腐蝕性強,可耐受多數酸堿介質,但耐高溫性較差(長期使用溫度≤260℃);陶瓷涂層硬度高(HV≥800),耐磨損、耐高溫(≤800℃),但韌性較差,易因振動開裂;鎳基合金涂層結合了耐腐蝕性與韌性,適用于中等腐蝕性、有振動的工況。涂層噴涂需采用等離子噴涂工藝,涂層厚度控制在 0.1-0.2mm,附著力≥50MPa,確保涂層不易脫落。效果評估需通過鹽霧試驗(試驗時間≥1000 小時,涂層無銹蝕、無剝落)、...
螺桿真空泵變頻控制系統基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC 控制器組成。壓力傳感器實時監測系統真空度,當真空度達到設定值(如 10Pa)時,PLC 控制器發送信號給變頻器,降低電機轉速(從 3000rpm 降至 1500-2000rpm);當真空度因泄漏等因素上升時,變頻器自動提升轉速,維持真空穩定。該系統的節能效果體現在兩方面:一是運行階段,非滿負荷工況下能耗降低 30%-50%,例如在半導體光刻工藝中,設備平均負載率 60%,年耗電量較定速設備減少約 8000kWh;二是啟動階段,軟啟動功能避免電機啟動時的電流沖擊(啟動電流從額定電流的 6-8 倍降至 1.5 ...
螺桿真空泵的涂層厚度控制對性能至關重要。涂層過薄(<3μm)會導致防護不徹底,轉子基體易受腐蝕或磨損;涂層過厚(>10μm)會增加轉子重量,增大電機負荷,且易產生內應力導致涂層剝落。因此,制備過程中需采用 “在線監控” 技術:磁控濺射法通過控制濺射功率(100-300W)和時間(30-60 分鐘)調節厚度,每 5 分鐘用膜厚儀(精度 0.1μm)測量一次;化學氣相沉積(CVD)法通過控制反應氣體流量(100-200sccm)和溫度(800-1000℃)調節厚度,每 10 分鐘取樣測量。此外,涂層厚度需均勻,同一轉子表面的厚度差≤1μm,避免局部過薄或過厚,確保整體性能一致。永磁變頻電機提升能源...
干式螺桿真空泵的日常維護(每日)包括:檢查油位、傾聽運行噪音、觀察排氣狀態;短期維護(每 200 小時)包括:清潔進氣過濾器、檢查冷卻系統、緊固緊固件;中期維護(每 1000 小時)包括:更換潤滑油、檢查密封件磨損、測量轉子間隙;長期維護(每 5000 小時)包括:拆機清洗泵腔、更換機械密封、檢測電機絕緣性能。定期維護需記錄維護日志,包括維護日期、維護項目、更換部件型號、測試數據(如抽速、極限壓力、噪音),便于追溯設備狀態,預測故障風險。例如,若連續兩次維護中轉子間隙增大 0.1mm,需提前安排轉子更換,避免突發故障。螺桿泵與渦輪分子泵可組合使用。滑閥螺桿真空泵使用螺桿真空泵的涂層是提升泵耐腐...
螺桿真空泵運行時振動超標(通常指振動值>4.5mm/s)會導致密封失效、管路松動,主要原因有四點:一是轉子動平衡不良,長期運行后轉子磨損或附著雜質,破壞動平衡精度(應≤G2.5 級);二是軸承損壞,滾珠磨損或保持架斷裂會導致徑向跳動增大;三是安裝不平,設備水平誤差超過 0.1%,運行時產生附加力矩;四是管路共振,連接管路的固有頻率與泵運行頻率接近,引發共振。解決方法對應為:重新對轉子進行動平衡校準;更換損壞的軸承(選用 P5 級高精度軸承);用水平儀調整設備水平,誤差控制在 0.05% 以內;在管路中加裝橡膠減震接頭,改變管路固有頻率。某實驗室通過上述措施,將其小型螺桿泵的振動值從 6.8mm...
不同工業工藝對螺桿真空泵的抽氣速率需求差異較大,需通過合理調節實現精細適配。對于需快速建立真空環境的工藝(如真空壓鑄),可采用 “全速啟動 + 階梯降速” 模式,啟動時以最高轉速運行,待真空度達到工藝要求的 80% 后,逐步降低轉速至維持真空所需的比較低值,既縮短抽真空時間,又減少能耗;對于真空度波動敏感的工藝(如半導體薄膜沉積),需采用 “恒真空度控制”,通過壓力傳感器實時監測系統真空度,反饋調節電機轉速,使真空度波動控制在 ±0.02Pa 范圍內;對于間歇性抽氣需求的工藝(如真空包裝),可設置 “定時啟停” 模式,根據生產節拍自動啟停設備,避免無效運行。某電子元件廠通過抽氣速率調節優化,使...
在半導體芯片制造過程中,真空環境是保障工藝精度和產品質量的關鍵,螺桿真空泵憑借其***的潔凈性和穩定性,成為該領域的**設備之一。在晶圓刻蝕工藝中,需要將反應腔室抽至極高真空度(通常達到 10?3~10??Pa),以避免空氣中的雜質氣體與刻蝕氣體發生不良反應,影響刻蝕圖案的精度。螺桿真空泵能快速實現高真空狀態,且無油蒸氣產生,有效防止晶圓表面被油污污染,保障芯片電路的完整性。此外,在薄膜沉積、離子注入等環節,它也能精細控制真空度的穩定性,減少工藝波動對芯片性能的影響。隨著半導體芯片向更小制程(如 3nm、2nm)發展,對真空泵的抽氣速率、真空度控制精度要求更高,螺桿真空泵通過不斷優化轉子結構和...
螺桿真空泵的冷卻方式分風冷和水冷兩類:風冷系統適用于小抽速泵(≤100m3/h),通過電機帶動風扇,將泵腔熱量經散熱片散發,散熱片面積需根據功率計算(如15kW泵需散熱面積≥1.5m2);水冷系統適用于大抽速泵(≥200m3/h),冷卻水管路纏繞在泵腔外壁,進水溫度≤32℃,水壓0.2-0.4MPa,水流量根據熱負荷確定(如37kW泵需水流量≥5m3/h)。冷卻系統的可靠性至關重要,若冷卻不足,泵腔溫度超過80℃會導致轉子熱膨脹,間隙減小引發摩擦,嚴重時損壞設備,因此系統需加裝溫度傳感器,實時監控并聯動報警。干式螺桿真空泵適配含腐蝕性蒸氣、可凝性溶劑及少量固體顆粒的工況。山西干式無油螺桿真空泵...
馬德寶真空設備集團生產的干式等螺距螺桿真空泵,屬無油真空獲得設備,是國內**全流道靜音產品,噪音≤65 分貝,部分型號采用永磁變頻電機,達一級能效且可調節頻率控制真空度與抽速,適用范圍更廣。其泵腔由主、從動轉子分隔為吸氣腔、運送腔與排氣腔,工作時轉子嚙合轉動實現吸氣、運氣與排氣,腔內無油潤滑可獲潔凈真空,轉子表面有防腐涂層適配惡劣工況,固體粉塵與冷凝液不易沉積,必要時可充氣吹掃***雜質。該產品***用于醫藥、化工、航空航天等行業,適配高真空蒸餾、真空干燥、真空鍍膜等工藝。緊急停機功能保障設備安全運行。上海螺桿真空泵原理干式螺桿真空泵的安全注意事項明確:電氣安全方面,泵需接地(接地電阻≤4Ω)...