探針測試臺x-y工作臺滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試，用于需要正面和背面同時扎針，以實現各種光/電性能測試需求。安徽高低溫探針臺

探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一，其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。半導體測試可以按生產流程可以分為三類：驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。除探針臺外，晶圓檢測環節還需要使用測試儀/機，測試儀/機用于檢測芯片功能和性能，探針臺實現被測芯片與測試機的連接，通過探針臺和測試機的配合使用，可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試，可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。南昌GaAs探針臺探針臺基本配置包含探針臺主體、顯微鏡、針座、探針等。

經過檢測，探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來，在進入后序工序前予以除掉，降低器材的制作本錢。半導體的測驗環節，首要包含芯片規劃中的規劃驗證、晶圓制作中的晶圓測臉(CP測驗)和封裝完結后的成品測驗(FT測驗》。半導體測驗設備首要包含測機、探針臺和分選機。在一切的測驗環節中都會用到測驗機，不同環節中測驗機需要和分選機或探針臺配合使用探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的規劃驗證階段，首要作業是檢測芯片規劃的功能是否可以達到芯片的技術指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐個查看，只要通過規劃驗證的產品型號才會量產。晶圓測驗一般在晶圓廠、封測廠或專門的測臉代工廠進行，首要用到的設備為測驗機和探針臺。

桌面探針系統

眾所周知探針臺用于半導體測試，特別是6英寸或者12英寸的晶圓探針臺。因為受尺寸限制，導致大尺寸等規格不符的待測物無法進行測試，從而使得眾多產品無法得到驗證。

對于除了半導體、晶圓、芯片需要測試以外，如同大尺寸電路板、高頻高速電路、射頻微波器件、高速連接器等所需測試的產品也是需要進行阻抗、S參數的測試。特別是現在高頻高速已經進入了56G、112G，單波NRZ通道已經到了56GHz的電信號的時代。所以高頻、高速等系列電路板各個通道以及載體都需要進行產品的性能測試。

因此研發推出了桌面探針系統及各規格探針配合67GHz網絡分析儀進行高頻高速的測試。 全自動探針臺相比普通探針臺添加了晶圓材料處理搬運單元（MHU）和模式識別（自動對準）。

探針臺由哪些部分組成？1.樣品臺（載物臺）載物臺是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據晶圓的尺寸來設計大小，并配套了相應的精密移動定位功能。克洛諾斯科技自主研發的超精密氣浮運動平臺就是作為定位晶圓或芯片的部件設備，重復定位精度達±50納米，可以依靠精密機械運作在極短的曝光時間內完美定位，完成晶圓在量測端的極精密的檢測。2.光學元件這個部件的作用是能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針前列對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。3.卡盤有一個非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來固定待測物，或使用真空來吸附晶圓。探針臺如何工作？探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設置在正確的位置，就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產率。 晶圓級測試自動探針臺。重慶TFT探針臺

探針臺廣泛應用于科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。安徽高低溫探針臺

桌面探針系統之射頻探針：把傳統探針臺的體積大、待測物規格限制等一系列缺點改進。我們把探針臺的兩個探針臂直接分離出來，使用磁吸開關固定在配重塊上，裝配我們自行研發GS/SG/GSG/GSSG和差分間距可調射頻探針，高頻率40GHz和67GHz（質量的阻抗控制50歐±2/100歐±2，探針的pitch可覆蓋150um~1250um的范圍）放在水平的桌面上進行使用、測試。可在桌面上任意活動，根據具體測試環境調節。各規格探針配合67GHz網絡分析儀進行高頻高速的測試。安徽高低溫探針臺

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