半導(dǎo)體滾鍍?cè)O(shè)備

是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝，實(shí)現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求

與傳統(tǒng)滾鍍不同，半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導(dǎo)線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴(kuò)散并增強(qiáng)附著力。

三、設(shè)備組成

1.電鍍槽：

材質(zhì)：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環(huán)系統(tǒng)：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質(zhì)

2.旋轉(zhuǎn)載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機(jī)械夾持，確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速控制：通過伺服電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，優(yōu)化鍍層均勻性

3.陽極系統(tǒng)：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調(diào)節(jié)：控制電場(chǎng)分布，減少邊緣效應(yīng)

4.供液與噴淋系統(tǒng)：

多點(diǎn)噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調(diào)節(jié)鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統(tǒng)：

PLC/工控機(jī)：集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測(cè)與反饋。

配方管理：存儲(chǔ)不同鍍層的工藝參數(shù) 無氰電鍍?cè)O(shè)備配套活化劑與絡(luò)合劑，替代傳統(tǒng)含氰工藝，在保障鍍層質(zhì)量的同時(shí)提升安全性。海南小型電鍍?cè)O(shè)備

電感雙桶式滾鍍?cè)O(shè)備

是專為電感類電子元件（如線圈、磁芯、電感器等）設(shè)計(jì)的電鍍加工設(shè)備，其特點(diǎn)是采用雙滾筒結(jié)構(gòu)，結(jié)合滾鍍工藝，以實(shí)現(xiàn)小型電感元件的高效、均勻鍍層處理。

1. 結(jié)構(gòu)與原理

雙滾筒設(shè)計(jì)：兩個(gè)滾筒可同時(shí)或交替運(yùn)行，一桶裝卸時(shí)另一桶持續(xù)工作，減少停機(jī)時(shí)間，提升產(chǎn)能。

滾筒優(yōu)化：采用絕緣耐腐蝕材質(zhì)（如PP），開孔設(shè)計(jì)促進(jìn)鍍液流通，防纏繞結(jié)構(gòu)適配電感元件的細(xì)小特性。

滾鍍工藝：元件在滾筒內(nèi)翻滾，通過電流作用均勻沉積鍍層（如鎳、錫、銀），雙桶可調(diào)控轉(zhuǎn)速、電流等參數(shù)。

2. 優(yōu)勢(shì)

高效連續(xù)生產(chǎn)：雙桶交替作業(yè)支持大規(guī)模電鍍，尤其適合貼片電感（SMD）、磁環(huán)等小件批量處理。

鍍層均勻穩(wěn)定：滾筒旋轉(zhuǎn)避免元件堆積死角，結(jié)合陰極導(dǎo)電設(shè)計(jì)，確保復(fù)雜形狀表面鍍覆一致性。

低損傷高適配：柔和翻滾減少碰撞損耗，可適配防腐、可焊、導(dǎo)電等多種鍍層工藝需求。

3. 應(yīng)用與要點(diǎn)

典型場(chǎng)景：貼片電感、繞線電感、磁芯等鍍鎳（抗氧化）、鍍錫（焊接）或鍍銀（高導(dǎo)）處理。

關(guān)鍵注意：需匹配元件尺寸選擇滾筒孔徑，定期維護(hù)鍍液成分及導(dǎo)電觸點(diǎn)，避免漏料或鍍層缺陷。 山東實(shí)驗(yàn)型電鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)化電鍍線的機(jī)器人上下料系統(tǒng)，通過視覺識(shí)別定位工件，實(shí)現(xiàn)高精度無人化操作。

電泳生產(chǎn)線的主要組成部分:

1.前處理系統(tǒng)

對(duì)工件表面進(jìn)行清洗、除油、除銹、磷化（或鈍化）等處理，確保表面潔凈并增強(qiáng)涂層附著力。

設(shè)備包括：預(yù)清洗槽、脫脂槽、酸洗槽、磷化槽、水洗槽、烘干爐等。

2.電泳槽系統(tǒng)

電泳主槽：容納電泳液，工件在此進(jìn)行涂裝，槽體需恒溫控制（通常 20~30℃）。

循環(huán)過濾系統(tǒng)：保持電泳液均勻，過濾雜質(zhì)，防止顆粒污染涂層。

電源系統(tǒng)：提供直流電源，控制電壓、電流參數(shù)，調(diào)節(jié)涂層厚度和質(zhì)量。

超濾（UF）系統(tǒng)：分離電泳液中的水分和雜質(zhì)，回收涂料并凈化廢水。

3.后處理系統(tǒng)

清洗工序：電泳后水洗（超濾水洗、純水洗）去除工件表面殘留的電泳液，避免雜質(zhì)影響涂層質(zhì)量。

烘干固化線：通過烘箱或隧道爐對(duì)濕膜進(jìn)行高溫固化（通常 160~200℃），形成堅(jiān)硬的漆膜。

4.自動(dòng)化控制系統(tǒng)

集成 PLC 或工業(yè)計(jì)算機(jī)，控制各工序的時(shí)間、溫度、電壓、液位等參數(shù)，實(shí)現(xiàn)全流程自動(dòng)化。

配備輸送系統(tǒng)（如懸掛鏈、滾床、機(jī)械手），實(shí)現(xiàn)工件的連續(xù)傳輸。

玻璃鋼離心風(fēng)機(jī)是采用玻璃纖維增強(qiáng)塑料（FRP）制造的離心式通風(fēng)設(shè)備，由玻璃鋼葉輪、機(jī)殼及金屬支架構(gòu)成。工作時(shí)電機(jī)驅(qū)動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)，通過離心力將氣體甩出機(jī)殼，葉輪中心形成負(fù)壓持續(xù)吸入氣體，實(shí)現(xiàn)高效輸送。其特點(diǎn)包括：1. 耐酸堿鹽腐蝕，適用于化工、污水處理等腐蝕性環(huán)境；2. 重量輕強(qiáng)度高，便于運(yùn)輸安裝且結(jié)構(gòu)穩(wěn)定；3. 低噪音設(shè)計(jì)，適合對(duì)環(huán)境要求高的場(chǎng)所；4. 可定制化適配不同風(fēng)量風(fēng)壓需求。廣泛應(yīng)用于工業(yè)廢氣處理（如化工廢氣、冶金粉塵）、環(huán)保工程（污水處理廠除臭、垃圾站換氣）及民用通風(fēng)（商場(chǎng)空調(diào)、住宅排油煙）等領(lǐng)域，兼具耐候性與經(jīng)濟(jì)性自動(dòng)化電鍍?cè)O(shè)備集成 PLC 控制系統(tǒng)，聯(lián)動(dòng)傳輸裝置實(shí)現(xiàn)工序時(shí)間、電壓參數(shù)準(zhǔn)確控制，提升效率。

滾鍍機(jī)的應(yīng)用場(chǎng)景：

滾鍍機(jī)決定生產(chǎn)線的適用工件類型滾

1.鍍機(jī)適用的工件特征

尺寸：直徑通常＜50mm，如螺絲、螺母、彈簧、電子連接器、小五金件。

形狀：規(guī)則或輕微不規(guī)則（避免卡孔或纏繞，影響滾筒旋轉(zhuǎn)）。

批量：適合萬件級(jí)以上的大批量生產(chǎn)（如標(biāo)準(zhǔn)件電鍍），小批量生產(chǎn)時(shí)滾鍍機(jī)效率優(yōu)勢(shì)下降。

2.對(duì)電鍍生產(chǎn)線的適配性

若生產(chǎn)線以滾鍍機(jī)為鍍槽設(shè)備，則整體設(shè)計(jì)圍繞 “小件批量處理” 優(yōu)化：

前處理槽體深度、寬度適配滾筒尺寸；

傳輸裝置采用適合滾筒吊裝的懸掛鏈或龍門架；

電源功率匹配滾筒內(nèi)工件總表面積（電流需均勻分布）。

反之，若生產(chǎn)線以掛鍍?yōu)橹鳎ㄈ缙嚺浼⒀b飾件），則鍍槽、傳輸系統(tǒng)設(shè)計(jì)完全不同，體現(xiàn) “定制化生產(chǎn)線” 特性。 滾鍍?cè)O(shè)備采用帶孔滾筒裝載小工件，旋轉(zhuǎn)翻滾中完成電鍍，高效處理螺絲、電子元件等批量小件。山東實(shí)驗(yàn)型電鍍?cè)O(shè)備

滾鍍機(jī)滾筒采用聚氯乙烯材質(zhì)打孔設(shè)計(jì)，確保電解液流通，配合變頻電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，保障小件鍍層均勻。海南小型電鍍?cè)O(shè)備

廢氣處理設(shè)備和電鍍?cè)O(shè)備的關(guān)系

廢氣處理設(shè)備是電鍍?cè)O(shè)備不可或缺的配套設(shè)施，在電鍍生產(chǎn)過程中發(fā)揮著重要作用，具體關(guān)系如下：

保障環(huán)境與人員安全：

電鍍過程中會(huì)產(chǎn)生如酸霧、堿霧、物氣體等有害廢氣。若不進(jìn)行處理，這些廢氣會(huì)彌漫在車間內(nèi)，不僅會(huì)對(duì)操作人員的身體健康造成嚴(yán)重危害。廢氣處理設(shè)備通過收集和凈化這些有害廢氣，能將車間內(nèi)的空氣質(zhì)量維持在安全標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，同時(shí)確保排放到大氣中的廢氣符合環(huán)保要求，從而保護(hù)環(huán)境和人員健康。

保護(hù)電鍍?cè)O(shè)備：

電鍍車間內(nèi)的酸性或堿性廢氣具有腐蝕性，長(zhǎng)期暴露在這些廢氣中，電鍍?cè)O(shè)備如鍍槽、整流器、加熱裝置等的金屬部件會(huì)被腐蝕，導(dǎo)致設(shè)備的使用壽命縮短，維修成本增加。

廢氣處理設(shè)備有效去除有害廢氣，減少對(duì)電鍍?cè)O(shè)備的腐蝕，保障電鍍生產(chǎn)的穩(wěn)定進(jìn)行。

提升電鍍產(chǎn)品質(zhì)量：

如果車間內(nèi)廢氣彌漫，空氣中的灰塵、雜質(zhì)等容易吸附在待鍍工件表面，影響鍍層與工件的結(jié)合力，導(dǎo)致鍍層出現(xiàn)麻點(diǎn)、、起皮等缺陷，降低電鍍產(chǎn)品的質(zhì)量和良品率。廢氣處理設(shè)備有助于保持車間內(nèi)空氣的清潔，減少空氣中雜質(zhì)對(duì)鍍件的污染

滿足環(huán)保合規(guī)要求：

隨著環(huán)保法規(guī)的日益嚴(yán)格，電鍍企業(yè)必須確保其生產(chǎn)過程中的廢氣排放達(dá)到國家和地方的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

海南小型電鍍?cè)O(shè)備