廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-29
分三步排查:①關閉氮氣,密封腔體,用真空泵抽至 100Pa 后保壓,10 分鐘內壓力升超 50Pa 即判定泄漏;②用肥皂水涂抹門體密封圈、管道接口等部位,冒泡處為泄漏點;③若門體密封不良,檢查密封圈是否老化(變硬或裂紋),需更換同規格氟橡膠圈;若管道泄漏,緊固接口或更換破損管道。密封不良會導致氮氣消耗增加 30%-50%,氧含量難以控制。廣東華芯半導體技術有限公司可提供密封性能檢測與修復服務。
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