羅茨真空泵又稱機械增壓泵,屬旋轉式容積真空泵,**結構包含泵殼與兩個 8 字型轉子。轉子平行安裝在一對軸上,通過傳動比為 1 的同步齒輪驅動,實現等速反向旋轉,且轉子間、轉子與泵殼間保持特定間隙不接觸,運轉時摩擦損失小、功率消耗低,可高速運轉。轉子由泵殼兩側端蓋的滾動軸承支承,借助可調同步齒輪確保高速旋轉時的相對位置,固定端特殊結構保障轉子與端蓋的端面間隙,使泵受熱時*向齒輪箱一端膨脹。兩側端蓋內的四組聚四氟乙烯活塞環密封裝置,能防止油箱潤滑油進入泵腔,出軸處的平衡式機械密封可避免大氣漏入。冷卻方式通常為風冷,高壓力工況下推薦選用水冷結構,電動機動力經聯軸器傳給主動軸,再通過同步齒輪帶動從動軸旋轉,ZJ 系列為臥式結構,多采用聯軸器與電機直聯,特殊需求可選用三角帶傳動。ZJP 型是 ZJ 型的派生產品,抽氣原理相同,但進排氣口連通且通道上垂直安裝重力閥。當進排氣口壓力差與閥有效作用面積的乘積超閥頭自重時,閥自動開啟,此數值為泵可靠運轉的比較高壓力差,使其具備過載自動保護功能。理論上 ZJP 型可在大氣壓下與前級泵同步啟動,但系統容積大時,旁通閥開啟時間長,有效抽速小,經濟性差,建議前級泵抽到一定壓力后再啟動 ZJP 型。耐高壓羅茨真空泵,適配多種嚴苛工業生產場景。天津羅茨真空泵維護保養

羅茨真空泵具有抽速大、效率高、對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感等特點,在100-1帕壓力范圍內有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體。它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間,作為機械增壓泵使用,以提高中間壓力范圍的抽氣量。在工業領域,羅茨真空泵廣泛應用于真空冶金中的真空澆鑄、真空熔煉、真空脫氣等工藝,以及化工、食品、醫藥行業的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等過程。在電子行業,它用于半導體制造工藝,如薄膜沉積、光刻、蝕刻等環節,確保反應室的真空度,保證工藝的精確控制。此外,羅茨真空泵還在環保領域用于處理工業廢氣,通過抽真空有效去除有害氣體,保護環境。浙江煉鋼羅茨真空泵原理輕量化羅茨真空泵,便于設備搬運與安裝調試。

在半導體行業中,羅茨真空泵是芯片制造和封裝測試環節的關鍵設備。該環節對真空度、穩定性和潔凈度要求極高,羅茨泵無油污染的特點可避免芯片被油蒸汽污染,穩定的抽速能保證工藝環境真空度恒定,通常需搭配高真空前級泵組成機組,用于薄膜沉積、離子注入等**工序。化工行業中,羅茨泵廣泛應用于物料輸送、混合及干燥過程。針對化工生產中的腐蝕性氣體,可采用耐腐蝕材質制造的泵體,其大抽速特性能快速建立反應所需的真空環境,縮短反應周期。在真空蒸餾工藝中,它能有效降低物料沸點,避免熱敏性物質分解,提升產品質量和收率。
羅茨泵抽速與前級泵抽速關系取決于容積效率 ηv 和許可壓力差 Δp。容積效率低會使機組有效抽速明顯下降,壓力差超許可值會因壓縮功致轉子過熱膨脹卡死。小型泵比較大許可壓差通常比大型泵大,約 4×103-10?Pa,較高壓力范圍許可壓差稍高。在中真空范圍(pA<100Pa),比較大許可壓差影響較小,需保證高容積效率,抽速比多為 10:1 或 5:1;粗真空范圍(pA>100Pa),比較大許可壓差成關鍵因素,抽速比需根據具體入口壓力確定,通常較小且容積效率較好。羅茨泵所需功率含壓縮功和摩擦功,壓縮功可通過相關公式結合示功圖計算,克服摩擦消耗的功率用機械效率 ηM 表示,總功率為有用功率與機械效率比值。雙級羅茨泵壓縮功計算有專門公式,通常各級轉子長度有特定比例。羅茨真空泵能在低入口壓強下將氣體攜帶至排氣口,由前級泵排除。

鈦合金熔煉澆注對真空環境的純凈度與穩定性要求極高,羅茨真空泵通過多級系統提供保障。在鈦合金鑄錠熔煉中,其與擴散泵組合使用,可將爐內真空度控制在 5×10?3Pa,抽除海綿鈦電極重熔時釋放的氫、氧等氣體,避免鑄錠出現夾雜缺陷。對于航空發動機渦輪葉片等精密鑄件澆注,羅茨真空泵的快速響應能力可在澆注瞬間實時抽除型腔內的氣體,配合液壓傾鑄機構實現平穩澆注,減少鑄件內部疏松;其無油污染特性保障鈦合金化學成分符合 ASTM B367 中 C3 指標要求。熔煉結束后,該設備還能配合水冷系統,在維持真空的同時實現鑄錠快速冷卻,縮短生產周期。羅茨真空泵結構緊湊,節省工業設備安裝空間。浙江煉鋼羅茨真空泵原理
羅茨真空泵操作簡單,降低工作人員操作門檻。天津羅茨真空泵維護保養
真空電弧自耗爐鑄錠需在穩定低壓環境中控制凝固組織,羅茨真空泵的精細控壓能力至關重要。在發電機軸用合金鋼錠鑄錠中,其可將結晶器內真空度維持在 0.1Pa 左右,抽除凝固過程中釋放的氣體,減少鋼錠疏松與偏析缺陷;配合感應攪拌系統,能促進鑄錠結晶均勻致密,提升力學性能。對于大直徑鈦錠鑄錠,羅茨真空泵的高抽速特性可在鑄錠生長過程中實時抽除熔體釋放的內應力氣體,配合水冷結晶器實現定向凝固,使鑄錠內部質量達到 ASME 1320 中 7 級標準。其還支持惰性氣體保護鑄錠,在抽真空后充入氬氣防止鑄錠表面氧化,保障鑄錠表面光潔度與尺寸精度。天津羅茨真空泵維護保養
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