在實際應用中，極測的溫控設備已經在眾多半導體制造企業中發揮了重要作用。某有名芯片制造企業在引入極測的溫控設備后，光刻工藝的精度得到了明顯提升。由于溫度控制更加精zhun，芯片上的電路圖案更加清晰、準確，有效減少了因溫度問題導致的圖案偏差和缺陷，產品良率大幅提高。現已服務多家芯片半導體前列企業與國家重點實驗室。 同時極測（南京）具備全場景非標定制能力。可根據不同客戶的需求根據溫濕度穩定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數，進行靈活定制。極測（南京）致力于為全球企業提供定制化的環境控制解決方案，以嚴格的溫濕度與潔凈度標準。山西電子顯微鏡精密溫控

在高duan制造業的關鍵地帶，納米級芯片、微米級航空葉片、亞波長光學元件的精密制造，對生產環境提出了前所未有的嚴苛要求。其中，精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動，都可能成為制約良率與性能的關鍵瓶頸。作為環境控制領域的關鍵要素，精密溫控設備已從幕后走向前臺，成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業極測（南京）技術有限公司，憑借二十六載在實驗室環境控制領域的技術積淀，推出顛覆行業的精密環控柜系列產品。其高達±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級潔凈度（每立方米≥0.1μm顆粒數≤1，000個），為半導體制造、航空航天、生物醫藥等戰略新興產業筑起了堅實的“科技堡壘”。計量精密溫控柜潔凈室內需配置無塵空氣過濾與流通系統，保證氣流分布合理，無死角，使潔凈空氣充分到達每個角落。

光刻機是半導體制造中的關鍵設備，其功能是通過光學投影方式，將掩模版上的集成電路圖形精確轉移到涂有光刻膠的晶圓表面，實現電路圖形的圖形化轉移工序。在芯片制造流程中，光刻環節是蕞為復雜且成本高昂的工藝步驟，其成本占晶圓制造總成本的三分之一，耗時占比達到 40%-60%，直接決定了芯片的制程精度與生產良率。其關鍵原理是利用高能激光作為光源，光束穿透掩模版后，經過聚光鏡系統進行 1/16 比例的縮小，隨后精zhun聚焦于晶圓表面，使光刻膠發生感光反應，從而完成電路圖形的高精度復制。相當于在頭發絲上刻出一座城市的地圖，其復雜程度和技術挑戰可想而知，也對運行使用環境有極高的要求。

精密環境受到多種因素的影響。溫度波動會導致儀器設備、被測樣品等產生形變，影響空氣對光的折射波動；濕度波動會影響空氣折射率，濕度過高還易造成電器故障；二氧化碳濃度、壓力梯度波動會影響空氣折射率；微振動會造成儀器設備等抖動，影響光路；電磁干擾、接地電阻過大會影響儀器設備正常工作。
極測（南京）技術有限公司針對不同環境控制需求，提供了完善的解決方案。普通環境控制需求溫度控制精度為 ±2℃，濕度控制精度為 ±5~15%，潔凈度等級為十萬級到百級，采用恒溫恒濕超凈間；精密環境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為萬級到百級，采用精密恒溫恒濕超凈間；高精密環境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為千級到百級，采用高精密恒溫恒濕超凈間；超精密環境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃，濕度控制精度為 ±1~5%，潔凈度等級為百級到十級，在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環控系統，同時氣流 / 風速 / 壓差控制、CO?濃度調節、噪音控制、環境參數閉環控制。
極測（南京）致力于為芯片半導體、電子信息、光學儀器、精密制造、新能源等行業提供高精密環境解決方案。

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統。運行中的溫度、濕度等關鍵數據自動生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環境變化情況；數據自動保存且可隨時導出，運行狀態與故障狀態同步記錄，方便進行數據分析、質量追溯與故障排查。自動安全保護系統更是為設備的穩定運行提供了全天候保障，一旦出現異常，系統將立即啟動保護機制，減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環境控制技術，為晶圓操作空間樹立了新的行業標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發提供了堅實的保障。隨著半導體技術的不斷發展，對晶圓操作環境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產業發展中發揮更加重要的作用，助力我國半導體產業邁向新的高度。極測精密環控柜采用自主研發的高精度制冷/加熱控制系統，能夠實現高溫度精度和穩定性（±2mK）。山西電子顯微鏡精密溫控

專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法，使實驗室內溫度濕度處于穩定狀態。山西電子顯微鏡精密溫控

極測在溫度控制方面蕞高可實現令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著，在整個晶圓操作過程中，環境溫度幾乎保持絕dui穩定，溫度水平均勻性小于 16mK/m，幾乎消除了因溫度變化對晶圓產生的熱應力和尺寸誤差。在潔凈度方面，精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統和氣流組織設計，實現了蕞高優于 ISO class1 的潔凈度等級，遠超普通潔凈室的標準。 除了高精度的溫度和潔凈度控制，極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標定制能力。根據不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點，可以靈活調整溫濕度穩定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數。無論是高duan芯片制造企業，還是科研機構的晶圓研發項目，都能在這里找到蕞適合的環境解決方案。精密恒溫潔凈棚現已服務多家芯片半導體前列企業與國家重點實驗室。山西電子顯微鏡精密溫控