極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設備的嚴苛環境需求而設計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,猶如為三坐標測量儀構建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發的高精密控溫技術,確保精密溫控箱罩內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK(靜態),溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩定的測量精度,實現0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制,精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現。精密溫控箱罩內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h,避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障,延長了設備使用壽命。同時,該系統可實現百級以上潔凈度控制,內部潔凈度蕞高可優于 ISO class3(設備工作區),有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面,避免對測量精度造成干擾。系統由設備主柜體、潔凈過濾系統、局部氣浴、控制系統、氣流循環系統、制冷(熱)系統等組成。青海精密溫控室

在中國,隨著制造業的快速發展和產業升級,半導體、航空航天、生物醫藥等領域對高精密環境控制設備的需求急劇增長。據市場研究機構QYResearch預測,全球高精密環境控制設備市場規模預計在未來五年內將以年均超過8%的復合增長率增長,到2028年將達到數十億美元規模。在半導體領域,隨著工藝向更高精度邁進,2nm工藝要求溫度控制精度從±0.1℃提升至±2mK,全球晶圓廠每年在溫度控制設備上的投入超過50億美元;光電光學領域,高duan光學顯微鏡、量子光學實驗等對溫度控制精度要求極高;量子計算領域,量子比特對溫度極為敏感,高精密環控艙是必需設備,未來5年需求可能呈指數級增長。同時,各國產業政策也推動了高精密環境控制設備市場的發展。美國《芯片與科學法案》、歐盟“歐洲量子旗艦計劃”、中國《十四五集成電路產業發展規劃》等政策的出臺,為行業發展提供了良好的政策環境和資金支持。
極測(南京)精密溫控場景極測(南京)深憑借在微環境控制領域的深厚技術積累,為高duan半導體量測設備設計精密環控系統。

在高duan制造業的關鍵地帶,納米級芯片、微米級航空葉片、亞波長光學元件的精密制造,對生產環境提出了前所未有的嚴苛要求。其中,精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動,都可能成為制約良率與性能的關鍵瓶頸。作為環境控制領域的關鍵要素,精密溫控設備已從幕后走向前臺,成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業極測(南京)技術有限公司,憑借二十六載在實驗室環境控制領域的技術積淀,推出顛覆行業的精密環控柜系列產品。其高達±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級潔凈度(每立方米≥0.1μm顆粒數≤1,000個),為半導體制造、航空航天、生物醫藥等戰略新興產業筑起了堅實的“科技堡壘”。
毫開爾文級控制:精密溫控設備采用閉環氣流循環系統,通過EC風機驅動氣流以精密算法規劃的路徑均勻覆蓋設備內部,實現關鍵區域溫度波動控制在±2mK(靜態),溫度均勻性<16mK/m
動態響應機制:自主研發的高精密控溫技術實現0.1%的控制輸出精度,精密溫控設備對外界環境變化實現毫秒級響應
潔凈度標準:讓塵埃無處遁形超越傳統的潔凈標準:精密溫控設備通過多層高效粒子過濾器與動態氣流管理,工作區潔凈度達ISOClass3標準及以上,遠超傳統實驗室的ISOClass5標準
微粒攔截:精密溫控設備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒,杜絕因微粒污染導致的集成電路短路或光學傳感器失效智能生態:看得見的穩定,可追溯的精zhun
環境“心電圖”:精密溫控設備智能監控系統自動生成帶時間戳的溫濕度曲線報告,支持一鍵導出,滿足ISO17025等國際標準對數據完整性的要求
靜音護航:精密溫控設備采用EC風機與高效隔音材質,運行噪音<45dB,營造舒適工作環境
靈活架構:按需定制的環境解決方案模塊化設計:精密溫控設備采用可拆卸鋁合金框架結構,支持大型設備現場組裝,突破空間限制
按需定制:從溫濕度穩定性、潔凈度等級到抗微振、防磁、隔音性能,提供全場景非標定制服務 此外,晶圓在高溫環境下可能會因為熱膨脹而發生變形,影響成品率。

高精密環境控制設備是一款自主研發的精密環境控制產品,主要由設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環,控制系統對循環氣流的每個環節進行處理,從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。溫度穩定性蕞高可達±0.002°C,濕度穩定性蕞高可達±0.3%RH,潔凈等級蕞高可實現 ISO class 1級。智能閉環監控:內置自動安全保護系統,異常情況即時響應,故障自動處理機制確保設備 7x24 小時無憂運行。極測(南京)精密溫控場景
極測精密溫控設備已成為半導體企業、典型通信設備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級實驗室的合作伙伴。青海精密溫控室
極測在溫度控制方面蕞高可實現令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著,在整個晶圓操作過程中,環境溫度幾乎保持絕dui穩定,溫度水平均勻性小于 16mK/m,幾乎消除了因溫度變化對晶圓產生的熱應力和尺寸誤差。在潔凈度方面,精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統和氣流組織設計,實現了蕞高優于 ISO class1 的潔凈度等級,遠超普通潔凈室的標準。 除了高精度的溫度和潔凈度控制,極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標定制能力。根據不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點,可以靈活調整溫濕度穩定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數。無論是高duan芯片制造企業,還是科研機構的晶圓研發項目,都能在這里找到蕞適合的環境解決方案。精密恒溫潔凈棚現已服務多家芯片半導體前列企業與國家重點實驗室。青海精密溫控室