在高duan制造與科研領(lǐng)域，溫度控制的微小偏差正在扼殺技術(shù)突破：半導(dǎo)體光刻環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻機(jī)要求冷卻水溫度波動(dòng)≤±0.001℃。傳統(tǒng)機(jī)組溫度控制±0.5℃的精度會導(dǎo)致光刻膠形變，造成納米級線寬偏差，單次工藝損失超$50萬。冷凍電鏡（Cryo-EM）成像：生物樣本溫度控制需在-180℃下維持±0.1℃穩(wěn)定性。溫度波動(dòng)超過閾值會使冰晶破壞蛋白質(zhì)結(jié)構(gòu)，3D重建分辨率從3?劣化至8?，研究成果價(jià)值歸零。高功率激光加工：光纖激光器溫度控制漂移＞±0.02℃時(shí)，熱透鏡效應(yīng)導(dǎo)致光束焦點(diǎn)偏移20μm，碳鋼切割斷面粗糙度增加300%，廢品率飆升。技術(shù)本質(zhì)：傳統(tǒng)水冷機(jī)組受限于PID控制滯后性、換熱器結(jié)垢衰減、單點(diǎn)故障風(fēng)險(xiǎn)，無法滿足超精密場景的溫度控制“零容忍”需求。極測（南京）冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過載保護(hù)、液位監(jiān)測、漏液檢測等功能。遼寧精密溫控室

極測（南京）技術(shù)有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn)，包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計(jì)方案等。自研高精密溫控技術(shù)，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計(jì)思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動(dòng)處于極低數(shù)值，關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時(shí)采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設(shè)計(jì)密閉防護(hù)罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風(fēng)速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi)，且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。
冷水機(jī)組精密溫控解決方案控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴(yán)格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi)。

高精密環(huán)境控制設(shè)備是一款自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品，主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供招高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。溫度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.002°C，濕度穩(wěn)定性蕞高可達(dá)±0.3%RH，潔凈等級蕞高可實(shí)現(xiàn) ISO class 1級。

作為南京拓展科技旗下專注于微環(huán)境控制技術(shù)的關(guān)鍵企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司打造的超精密儀器室，通過集成自主研發(fā)的高精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，為光刻機(jī)、立式干涉儀等精密儀器構(gòu)建了溫度波動(dòng)極小、潔凈度極高（潔凈恒溫）的理想工作環(huán)境，精密儀器室成為支撐高精度測量與科研生產(chǎn)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。
納米級溫控，超高精度溫度波動(dòng)極測運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，使得環(huán)境內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。實(shí)現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩(wěn)定操作環(huán)境。 蕞高ISO class1級潔凈，打造無塵空間精密儀器室系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），達(dá)到ISO class1，避免灰塵等污染物影響光線傳播。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長精密儀器使用壽命。 全場景非標(biāo)定制，滿足多元化需求精密儀器室可根據(jù)用戶需求，滿足用戶不同的溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個(gè)性要求，保證用戶的正常使用。
通過整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控，以及針對局部發(fā)熱點(diǎn)進(jìn)行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等。

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動(dòng)保護(hù)機(jī)制，減少因故障導(dǎo)致的測量中斷和晶圓報(bào)廢。 極測先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅(jiān)實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。極測（南京）致力于為全球企業(yè)提供定制化的環(huán)境控制解決方案，以嚴(yán)格的溫濕度與潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。寧夏集成電路精密溫控

在精密測量領(lǐng)域，細(xì)動(dòng)誤差是一個(gè)關(guān)鍵問題，它主要由難以察覺的機(jī)械振動(dòng)或外部干擾引起。遼寧精密溫控室

控溫精度：提供業(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴(yán)格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi)，確保測量過程的穩(wěn)定性和 0.1% 的控制輸出精度。

濕度與潔凈協(xié)同保障：設(shè)備同時(shí)實(shí)現(xiàn) ±0.5%@8h 的高濕度穩(wěn)定性，杜絕因濕度問題導(dǎo)致的零部件腐蝕和鏡片結(jié)霧風(fēng)險(xiǎn)。潔凈度控制可達(dá)百級以上，關(guān)鍵工作區(qū)蕞高優(yōu)于 ISO class3 標(biāo)準(zhǔn)，嚴(yán)防塵埃顆粒干擾精密光路。
全方wei環(huán)境定制：極測具備強(qiáng)大的全場景非標(biāo)定制能力，不僅能滿足嚴(yán)苛的溫濕度穩(wěn)定性需求，還能根據(jù)用戶具體場景定制抗微振、防磁、隔音等綜合環(huán)境參數(shù)，為干涉儀量身打造理想的工作空間。 遼寧精密溫控室