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干涉儀精密溫控系統

來源: 發布時間:2025-12-08

極測(南京)技術有限公司的精密水冷冷凍水機組融合多項專li技術,打造超精密溫控關鍵能力:高精密控溫技術:動態平衡的 “神經中樞”機組搭載自主研發高精度溫度采集模塊,實時捕捉供水溫度數據并傳輸至控制器,通過冷凍水閥無級調節與電加熱器協同工作,結合PID 算法及逐級控溫專li技術實現溫度偏差的精zhun計算與動態調節。例如,在半導體極紫外光刻工藝中,該技術可將精密水冷冷凍水機組的出水溫度波動控制在±0.001℃,滿足納米級制造對溫度穩定性的嚴苛要求。堅固美觀:鈑金箱體堅固耐用,外觀顏色可按需定制,完美融入現代化實驗室環境。干涉儀精密溫控系統

干涉儀精密溫控系統,精密溫控

極測(南京)致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩定的研發與生產環境,專注于研發、生產和銷售高端定制化精密環控系統,目前已擁有結合全場景非標定制能力,滿足用戶不同溫濕度穩定性、潔凈度,氣壓穩定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。科學技術成果認定為國際先進水平。服務行業覆蓋:半導體芯片、精密光學、精密測量、新能源、航空航天、通信技術等行業。極測在新技術浪潮中奮力向前,攀登環境控制新高度!為用戶提供精zhun、穩定、可靠的高精密環境!防磁精密溫控柜極測(南京)精密環控柜滿足用戶不同溫濕度穩定性、潔凈度,氣壓穩定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。

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在高duan制造業的關鍵地帶,納米級芯片、微米級航空葉片、亞波長光學元件的精密制造,對生產環境提出了前所未有的嚴苛要求。其中,精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動,都可能成為制約良率與性能的關鍵瓶頸。作為環境控制領域的關鍵要素,精密溫控設備已從幕后走向前臺,成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業極測(南京)技術有限公司,憑借二十六載在實驗室環境控制領域的技術積淀,推出顛覆行業的精密環控柜系列產品。其高達±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級潔凈度(每立方米≥0.1μm顆粒數≤1,000個),為半導體制造、航空航天、生物醫藥等戰略新興產業筑起了堅實的“科技堡壘”。

晶圓制造是一項對環境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕,還是封裝環節,溫度的細微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災難性后果,影響芯片的功能或造成短路或斷路,導致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業,極測(南京)技術有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚,憑借突破性的環境控制技術,為晶圓構建起無可比擬的操作空間,可實現±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等級精度的溫度控制,及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度,相比晶圓操作臺通過被動抵御環境溫度變化,極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破,主動調控外部溫度,形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環境”,成為推動半導體產業向更高精度邁進的關鍵力量。我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的綜合環境配套系統。

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打造高“溫度精度”,避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環控柜采用自主研發的高精度制冷/加熱控制系統,能夠實現高溫度精度和穩定性。蕞高將內部環境溫度波動控制在極小的范圍內(±2mK),確保每一次測量數據的重復性與可靠性。超凈空間,避免微粒污染除了溫控精度,潔凈度同樣至關重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設備光學鏡頭上,將造成缺陷或信號干擾。極測環控柜內部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環境,有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物,為半導體量測設備提供干凈的環境,保護昂貴的光學組件和敏感樣品。智能集成,一站式環境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的綜合環境配套系統。支持根據您設備的特定型號和工藝要求進行非標定制,匹配不同半導體量測設備的精密需求。設備智能管理系統提供7x24小時實時數據監控與記錄,所有環境參數一目了然,數據可追溯,為質量分析和故障排查提供堅實依據。極測(南京)致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發等領域提供定制化的高精密環境解決方案。干涉儀精密溫控系統

在一些化學蝕刻工藝中,濕度過高或過低都會影響蝕刻速度和精度,蕞終影響芯片的良品率。干涉儀精密溫控系統

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標測量儀等精密設備的嚴苛環境需求而設計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,猶如為三坐標測量儀構建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運用自主研發的高精密控溫技術,確保精密溫控箱罩內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK(靜態),溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運行過程中始終保持穩定的測量精度,實現0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制,精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現。精密溫控箱罩內部濕度穩定性可達 ±0.5%@8h,避免了因濕度問題導致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障,延長了設備使用壽命。同時,該系統可實現百級以上潔凈度控制,內部潔凈度蕞高可優于 ISO class3(設備工作區),有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學部件或被測工件表面,避免對測量精度造成干擾。干涉儀精密溫控系統

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