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上海本地HTOL測試機

來源: 發布時間:2022-08-31

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本發明實施例的閃存參考單元未經過編譯和擦除的電荷分布示意圖;發明實施例的閃存參考單元經過編譯和擦除后的電荷分布示意圖。圖8為本發明實施例的閃存參考單元經過編譯和擦除循環后再進行htol測試的輸出電流iref分布圖。其中,具體標號如下:100-襯底;101-源極;102-漏極;103-隧穿氧化層;104-浮柵;105-柵間介質層;106-控制柵;107-側墻;具體實施方式本發明提供一種閃存htol測試方法,以下結合附圖和具體實施例作進一步詳細說明。根據下面說明,本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精細的比例,*用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。圖1為本發明實施例的閃存htol測試方法流程圖,上海本地HTOL測試機上海頂策科技智能HTOL系統,全程數據記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性。

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