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探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號，保證半導體產品品質的重要檢測設備。下面我們來了解下利用探針臺進行在片測試的一些相關問題，首先為什么需要進行在片測試？因為我們需要知道器件真正的性能，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產量。因為有時我們需要進行自動化測試，在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統，主要包括：矢量網絡分析儀，線纜，探針，探針定位器，探針臺，校準設備及軟件，電源偏置等。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。山西芯片測試探針臺要多少錢手...

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大，半導體設備市場也呈增長趨...

在設備方面，生產半導體測試探針的相關設備價格較高，國內廠商沒有足夠的資金實力，采購日本廠商的設備。另一方面，對于半導體設備而言，產業鏈各個環節均會采購定制化的設備，客戶提出自身需求和配置，上游設備廠商通過與大型客戶合作開發，生產出經過優化的適合該客戶的設備。因此，即使國產探針廠商想采購日本設備廠商的專業設備，也只能得到標準化的產品。在原材料方面，國產材質、加工的刀具等也不能達到生產半導體測試探針的要求，同時日本廠商在半導體上游原材料方面占據的優勢，其提供給客戶的原材料也是分等級的，包括A級、B級、S級，需要依客戶的規模和情況而定。上海勤確科技有限公司終善的服務、及時的服務、正確的服務，服務到每...

探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發、產品開發和故障分析應用。上海勤確科技有限公司優良的服務隊伍、完善的服務網絡及強大的合作伙伴。上海手動探針臺供應探針臺概要：晶圓探...

探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動。從功能上來區分有：高溫探針臺，低溫探針臺，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡／探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即：平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。探針臺由于動子和...

半導體生產過程中的探測，可略分為三大類：1.參數探測：提供制造期間的裝置特性測量；2.晶圓探測：當制造完成要進行封裝前，在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能；3.以探針臺為基礎的晶圓處理探測(FinalTest)：在出貨給顧客前，對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后，即進入晶圓探測階段，此時需要用復雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶，精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應的晶圓后，探針臺會將晶圓向上挪動，使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸，以進行探測。當測試完成，則會自動將下一個待測晶圓替換...

針尖有鋁粉:測大電流時，針尖上要引起多AL粉，使電流測不穩，所以需要經常用灑精清洗探針并用氮氣吹干，同時測試時邊測邊吹氮氣，以減少針尖上的AL粉。針尖有墨跡:測試時打點器沒有調整好，尼龍絲碰到針尖上，針尖上沾上墨跡,然后針尖與壓點接觸時，壓點窗口上墨跡沾污，使片子與AL層接觸不良，參數通不過，還有對后續封裝壓焊有影響，使芯片與封裝后成品管腳焊接質量差，所以平時裝打點器時，不要把打點器裝得太前或太后和太高或太低，而應該使尼龍絲與硅片留有一定距離，然后靠表面漲力使墨水打到管芯中心，如已經沾上墨跡，要立即用酒精擦干凈，并用氮氣吹干。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節。河北芯片探針臺供...

定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗。...

磁場探針臺主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關技術領域的電、磁學特性測試，能夠提供磁場或變溫環境，并進行高精度的直流/射頻測量。我們生產各類磁場探針臺，穩定性強、功能多樣、可升級擴展，適用于各大高校、研究所及半導體行業的實驗研究和生產。詳細參數：二維磁場探針臺，包含兩組磁鐵，可同時提供垂直與面內磁場；面內磁鐵極頭間距可根據樣品尺寸調整以獲得大的磁場，兼容性強；大兼容7組探針（4組RF，3組DC同時測試使用）；Y軸提供大行程位移裝置，在不移動探針情況下快速抽拉更換樣品；配備樣品臺傾斜微調旋鈕，確保樣品平面平行于面內磁場方向；至多支持7組探針同時放置：直流探針（3組）+微波...

X系列探針臺：1、基板采用鑄件為基準進行設計，使運動的穩定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運動系統采用的是日系高剛性、高精密的導軌和絲桿；反饋檢測系統采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環的反饋檢測，以保證實現高精度高溫度性的運動系統。3、整個四維運動設計成低重心的緊湊結構，保證其速率能到達70mm/s，并能提高運動過程中的加速。4、關鍵零件用導電的表面處理，保證每個位置能進行接地保護。手動或者自動移動晶圓片，并通過探針卡實現這一部分的電子線路連接。上海磁場探針臺公司錸鎢探針指的是采用含錸3%的錸鎢合金絲打造而成的探針。中鎢在線提供好的錸鎢探針產...

探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類：探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動。從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探針臺（低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。經濟手動型根據客戶需求定制：chuck尺寸：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）；X-Y移動行程：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）；chuckZ軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離；顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯...

探針卡沒焊到位，是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點區，而針虛焊和布線斷線或短路，測試時都要測不穩，所以焊針時，應憑自己的經驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點,焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置，檢查針的牢固性。技術員平時焊完卡后應注意檢查探針卡的質量如何，把背面的突起物和焊錫線頭剪平，否則要扎傷AL層，造成短路或斷路，而操作工也應在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時，針尖上要引起多AL粉，使電流測不穩，所以需要經常用灑精清洗探針并用氮氣吹干，同時測試時邊測邊吹氮氣，以減少針尖上的AL粉。平面電機應使用在環境溫度15～25℃，相對濕度小于50％的環境中。廣...

據SEMI數據統計，2020年及2021年，全球半導體測試設備市場規模或將分別達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內半導體技術的發展，多個晶圓廠及實驗室的建立，國內探針臺市場規模2019年約為10.25億元，2022年將增長到15.69億元。隨著半導體行業的迅速發展，半導體產品的加工面積成倍縮小，復雜程度與日俱增，生產半導體產品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術，具有技術壁壘高、制造難度大及研發投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備，在整個半導體產業的多個環節起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業的重要設備之一。隨著自動化技術的飛速發展，市場對自動化探針臺需...

探針臺主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格的芯片，并提供多個可調測試及探卡測試針臺座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，下面就由上海勤確給大家簡要介紹。探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號，保證半導體產品品質的重要檢測設備。因為我們需要知道器件真正的性能，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產量。因為有時我們需要進行自動化測試，在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測...

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。半導體設備價值普遍較高，一條先進半導體生產線投資中，設備價值...

探針臺的分類：探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺：手動探針臺系統顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優點之一是只需要很少的培訓，易于配置環境和轉換測試環境，并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。上海勤確科技有限公司需要的是客戶的滿意，而唯有雙贏，利益共享。黑龍江芯片探針臺報價探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的...

探針治具的校準：我們希望校準過程盡可能的把測試網絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉，當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法：1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準，然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探針的端面進行校準。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準之后不補償探針頭，而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準片，校準片如下圖所示，上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。探針尖磨損和污染也會對測試結果造成極大的負面影響。河北磁場探針臺哪家好探針臺主要用途是為半導體芯片的電參數測...

以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸...

x-y工作臺的維護與保養：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養：平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。探針卡常見故障分析...

探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準確扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。平面電機應使用在環境溫度15～25℃，相對濕度小于50％的環境中。湖南智能探針臺生產廠家隨著電子技術的不斷發...

晶圓級半自動面內磁場探針臺詳細參數：垂直或面內磁場探針臺，通用性設計；容納12寸晶圓，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4組探針（RF或DC測試）；提供Z軸探針平臺快速升降功能，實現高效測試；磁場強度≥330mT;直流探針（4組）或微波探針（4組）；XY電控行程±150mm，調節精度2μm；T軸手動調節±5°，小至調節精度5’。晶圓級半自動二維磁場探針臺：詳細參數可對晶圓施加垂直或面內磁場，兼容性設計；容納12寸晶圓，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4組探針（RF或DC測試）；提供Z軸探針平臺快速升降功能，實現高效測試；磁場強度≥0.7T；直流探針（4組）或微波探針（4組）；XY電控行程±150...

針尖有鋁粉:測大電流時，針尖上要引起多AL粉，使電流測不穩，所以需要經常用灑精清洗探針并用氮氣吹干，同時測試時邊測邊吹氮氣，以減少針尖上的AL粉。針尖有墨跡:測試時打點器沒有調整好，尼龍絲碰到針尖上，針尖上沾上墨跡,然后針尖與壓點接觸時，壓點窗口上墨跡沾污，使片子與AL層接觸不良，參數通不過，還有對后續封裝壓焊有影響，使芯片與封裝后成品管腳焊接質量差，所以平時裝打點器時，不要把打點器裝得太前或太后和太高或太低，而應該使尼龍絲與硅片留有一定距離，然后靠表面漲力使墨水打到管芯中心，如已經沾上墨跡，要立即用酒精擦干凈，并用氮氣吹干。探針卡常見故障分析及維護方法：芯片測試是IC制造業里不可缺少的一個重...

探針臺主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格的芯片，并提供多個可調測試及探卡測試針臺座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，下面就由上海勤確給大家簡要介紹。探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號，保證半導體產品品質的重要檢測設備。因為我們需要知道器件真正的性能，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產量。因為有時我們需要進行自動化測試，在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測...

電纜安裝探針既可以手動使用，也可以與多軸探針定位器一起使用。與典型的探針臺不同，這些探針足夠大，操作員可以手動使用，非常可靠。探針定位器的位置精度和可重復性更高，而且本身可以放置，便于進行測試。與探針臺不同，同軸電纜安裝探針和定位器可以在工程師或技術人員的典型測試臺上用作網絡分析儀、信號發生器、頻譜分析儀、示波器和其他用于射頻/微波、毫米波和高速數字應用的配件。電纜安裝射頻探針的占位面積小、無損壞，并且具有非侵入式設計，可在高密度應用中進行測試，例如天線陣列、超材料、分形天線、微帶傳輸線、緊湊組件以及具有微小表面安裝包裝組件的印刷電路板。上海勤確科技有限公司團隊從用戶需求出發。青海直流探針臺哪...

手動探針臺的使用方式：待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，然后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。探針臺是半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝等行業的測試設備。四...

探針卡沒焊到位，是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點區，而針虛焊和布線斷線或短路，測試時都要測不穩，所以焊針時，應憑自己的經驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點,焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置，檢查針的牢固性。技術員平時焊完卡后應注意檢查探針卡的質量如何，把背面的突起物和焊錫線頭剪平，否則要扎傷AL層，造成短路或斷路，而操作工也應在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時，針尖上要引起多AL粉，使電流測不穩，所以需要經常用灑精清洗探針并用氮氣吹干，同時測試時邊測邊吹氮氣，以減少針尖上的AL粉。探針臺測試過程中使用的電學規格隨測試的目的而有所不同。江蘇溫控探針臺...

如果需要一款高量測精度的探針臺，并不是有些廠商單純的認為，通過簡單的機械加工加上一臺顯微鏡就可以完成，我們在探針臺設備的研發中有著近二十年的經驗，并有著精細機械加工的技術能力，可以為您提供高準確的探針臺電學檢測儀器，同時我們與世界電學信號測試廠家有著多年的合作，可以提供各類電學測試解決方案。在對射頻設備進行原型設計和測試時，很多情況下，在電路的非端口位置進行測試有助于優化設計或者故障排除。然而實際操作中，在較高的頻率下進行測試是一項更大的挑戰。探針卡是自動測試儀與待測器件之間的接口。半自動探針臺生產廠家手動探針臺的使用方式：待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到...

“精確度”是探測儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產率等三個層面。首先，必須能穩定、精確地探測到小型墊片，載臺系統亦須精確、能直接驅動晶圓托盤，并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位；其次，必須具備動態監控機制，確保所挾帶的空氣以監控溫度、掌握可靠度和穩定性；后，必須對高產出的進階移動做動態控制才能擁有佳的終結果。整體而言，針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮，為了強化更小晶粒定位的精確性，需要動態的Z軸輔助校正工作，以避免無謂的產出損失。如果發現問題，就需要復雜的診斷過程和人工分析，才能找到問題的原因。天津智能探針臺一般多少錢其實，在我們的身邊隨處都可以看到半...

如何判斷探針卡的好壞：1.可以用扎五點來判斷，即上中下左右，五點是否扎在壓點內，且針跡清楚,又沒出氧化層,針跡圓而不長且不開叉.2.做接觸檢查,每根針與壓點接觸電阻是否小于0.5歐姆.3.通過看實際測試參數來判斷,探針與被測IC沒有接觸好，測試值接近于0。總之，操作工只要了解了探針卡故障的主要原因：1.探針氧化.2.針尖有異物(鋁粉，墨跡，塵埃).3.針尖高度差.4.針尖異常(開裂，折斷，彎曲，破損)。.5.針尖磨平.6.探針卡沒焊好.7.背面有突起物，焊錫線頭.8.操作不當。平時操作時應注意:1.保護好探針卡,卡應放到氮氣柜中.2.做好探針卡的管理工作.3.規范操作,針尖不要碰傷任何東西。同...

探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的設計驗證階段，主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行，主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業向來有“一代設備，一代工藝，一代產品”的說法。半導體設備價值普遍較高，一條先進半導體生產線投資中，設備價值約占總投資規模的75%以上。隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大，半導體設備市場也呈增長趨勢。根據SEMI統計，全球半導體設備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元，年復合增長率約為15.2%，但受到半...