高純氣體系統工程輸送的氣體（如超高純氬氣、氮氣）純度需達到 99.9999% 以上，氧含量需控制在 ppb 級，否則會影響下游生產。例如在鈦合金焊接中，氬氣中氧含量超過 50ppb 會導致焊縫氧化，降低強度；在 LED 外延片生產中，氧氣會污染 MOCVD 反應腔，影響芯片發光效率。ppb 級氧含量檢測需用氧化鋯氧分析儀，在管道出口處采樣，檢測前用標準氣（氧含量 10ppb、100ppb）校準，測量誤差≤±5%。檢測時需關注管道材質 —— 普通不銹鋼管內壁會吸附氧氣，因此高純氣體管道需采用電解拋光 316L 不銹鋼，且焊接時用高純氬氣保護，避免氧化。通過嚴格的氧含量檢測，可確保氣體純度滿足工藝要求，這是高純氣體系統工程質量的重要指標。高純氣體管道的保壓測試，充氮氣至 1.0MPa，48 小時壓降≤0.5%，驗證管道密封性。中山高純氣體系統工程氣體管道五項檢測氧含量（ppb級）

高純氣體系統工程對管道泄漏率的要求遠高于普通工業管道，因為哪怕是 1×10??Pa?m3/s 的微漏，也會導致高純氣體（純度 99.9999%）被空氣污染。氦檢漏需采用 “真空法”：先對管道抽真空至≤1Pa，再在管道外側噴氦氣，內側用氦質譜檢漏儀檢測。氦氣分子直徑小（0.31nm），易穿透微小縫隙，檢漏靈敏度可達 1×10?12Pa?m3/s。在高純氧氣、氫氣系統中，泄漏會導致氣體純度下降 —— 例如電子級氧氣中若混入空氣，氧含量降至 99.999%，會導致半導體晶圓氧化層厚度不均。氦檢漏能準確定位泄漏點（如閥門填料函、焊接熱影響區），為修復提供依據，是高純氣體系統工程驗收的 “硬性指標”。江門大宗供氣系統氣體管道五項檢測氦撿漏高純氣體系統工程氦檢漏用氦質譜儀，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，保障氣體純度。

高純氣體系統工程中，顆粒是浮游菌的載體，因此需聯動檢測。例如 0.1 微米以上的顆粒可吸附細菌，隨氣體進入生產環境，導致產品污染。檢測時，顆粒度合格（0.1μm 及以上顆粒≤1000 個 /m3）后，測浮游菌（≤1CFU/m3）；若顆粒度超標，需先凈化再測浮游菌。高純氣體系統需安裝 “高效過濾 + 除菌過濾” 組合裝置，且過濾器需定期完整性測試，而關聯檢測能驗證過濾效果 —— 若顆粒度合格但浮游菌超標，可能是除菌過濾器失效。這種方法能多方面保障氣體潔凈度，符合生物制藥、微電子等行業的嚴苛要求。

尾氣處理系統的管道若存在泄漏，會導致未處理的尾氣直接排放，污染環境，保壓測試是防止這類問題的關鍵。測試時，向管道內充入壓縮空氣至 0.2MPa，關閉閥門后監測 8 小時，壓力降需≤2% 初始壓力。尾氣處理系統的管道多為耐腐蝕材質（如 PVC、PP），但接頭處若粘結不牢，或法蘭密封墊老化，會導致泄漏 —— 例如在電鍍廠的含鉻尾氣處理中，泄漏會導致六價鉻超標，危害周邊環境。保壓測試能發現這些泄漏點，尤其是風機前后的管道（壓力波動大，易泄漏），確保尾氣 100% 進入處理裝置，符合環保排放標準，這也是第三方檢測機構對尾氣處理系統的重要要求。高純氣體管道的保壓測試需充氮氣至設計壓力，24 小時壓力降≤1%，確保無宏觀泄漏影響氣體輸送。

高純氣體系統工程中，保壓測試可初步判斷泄漏，氦檢漏則準確定位，兩者需聯動進行。保壓測試發現壓力降超標（>0.5%）后，立即用氦檢漏定位泄漏點；保壓合格但需驗證微小泄漏時，也需用氦檢漏（泄漏率≤1×10?1?Pa?m3/s）。例如某光纖廠的高純氦氣系統，保壓測試壓力降 0.3%（合格），但氦檢漏發現過濾器密封不良（泄漏率 5×10??Pa?m3/s），長期運行會導致純度下降。這種聯動檢測能多方面保障系統密封性，避免 “保壓合格但仍有微漏” 的隱患，符合高純氣體系統的嚴苛要求。實驗室氣路系統的氦檢漏，需在儀器連接端重點檢測，防止微量泄漏影響實驗。云浮高純氣體系統工程氣體管道五項檢測水分（ppb級）

大宗供氣系統的氦檢漏，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，降低氣體損耗和安全風險。中山高純氣體系統工程氣體管道五項檢測氧含量（ppb級）

實驗室氣路系統的保壓測試與水分檢測需形成聯動機制，因為管道一旦泄漏，外界潮濕空氣會直接侵入，導致氣體中水分含量驟升，干擾實驗精度。例如氣相色譜儀的載氣（如高純氮氣、氦氣）若因管道焊縫或接頭泄漏吸入空氣，水分含量可能從合格的 10ppb 飆升至 500ppb 以上，而水分會與色譜柱固定相反應，導致柱效下降、分離度降低，大幅縮短色譜柱使用壽命（正常壽命 2000 次進樣可能縮減至 500 次）。 檢測流程需嚴格遵循 “保壓優先” 原則：先通過氮氣保壓測試（充壓至 0.3MPa 后關閉閥門，24 小時壓力降需≤1%），確認管道無泄漏后，再用露點儀檢測水分含量（需≤50ppb）；若保壓測試不合格，必須先定位泄漏點（如用肥皂水涂抹接頭觀察氣泡，或用氦檢漏儀準確排查），修復后重新保壓，合格方可進行水分檢測。中山高純氣體系統工程氣體管道五項檢測氧含量（ppb級）