尾氣處理系統(tǒng)中，某些尾氣（如可燃性氣體）的氧含量需嚴(yán)格控制，防止發(fā)生事故。例如在化工企業(yè)的甲醇尾氣處理中，氧含量超過(guò) 5% 會(huì)形成危險(xiǎn)混合物，遇明火引發(fā)事故；在催化燃燒系統(tǒng)中，氧含量不足會(huì)導(dǎo)致燃燒不完全，處理效率下降。ppb 級(jí)氧含量檢測(cè)需用磁氧分析儀，在尾氣進(jìn)入處理設(shè)備前采樣，檢測(cè)范圍 0-10000ppm（可擴(kuò)展至 ppb 級(jí)），精度≤±0.1% FS。檢測(cè)時(shí)需關(guān)注管道是否泄漏 —— 若空氣滲入尾氣管道，會(huì)導(dǎo)致氧含量升高，因此尾氣處理系統(tǒng)需先通過(guò)保壓測(cè)試確保密封性，再進(jìn)行氧含量檢測(cè)。通過(guò)嚴(yán)格的氧含量控制，可保障尾氣處理系統(tǒng)的安全運(yùn)行，避免事故發(fā)生。大宗供氣系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測(cè)，每立方米顆粒≤10000 個(gè)，保障噴涂質(zhì)量。廣州工業(yè)集中供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)耐壓測(cè)試

電子特氣系統(tǒng)工程中，管道泄漏會(huì)吸入顆粒污染物，因此保壓測(cè)試與顆粒度檢測(cè)需聯(lián)動(dòng)。例如某半導(dǎo)體廠的特氣管道因閥門泄漏，吸入車間粉塵，導(dǎo)致 0.1 微米顆粒超標(biāo)，影響晶圓質(zhì)量。檢測(cè)時(shí)，保壓測(cè)試合格（壓力降≤0.5%）后，測(cè)顆粒度；若保壓不合格，需修復(fù)后重新檢測(cè)。電子特氣系統(tǒng)的管道需采用無(wú)縫設(shè)計(jì)，避免死角積塵，而保壓測(cè)試能驗(yàn)證焊接和閥門的密封性，顆粒度檢測(cè)能驗(yàn)證清潔效果。這種關(guān)聯(lián)檢測(cè)能保障特氣潔凈度，符合半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)。廣州工業(yè)集中供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)耐壓測(cè)試高純氣體管道的保壓測(cè)試需充氮?dú)庵猎O(shè)計(jì)壓力，24 小時(shí)壓力降≤1%，確保無(wú)宏觀泄漏影響氣體輸送。

高純氣體系統(tǒng)工程對(duì)管道密封性的要求堪稱苛刻，哪怕微小泄漏都可能引入雜質(zhì)，破壞氣體純度。氦檢漏作為高精度泄漏檢測(cè)手段，在該系統(tǒng)中不可或缺。檢測(cè)時(shí)，先將高純氣體管道抽真空至≤5×10?3Pa，再向管道內(nèi)側(cè)充入 5% 氦氣與 95% 氮?dú)獾幕旌蠚怏w，外側(cè)用氦質(zhì)譜檢漏儀探頭掃描。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，泄漏率需控制在≤1×10??Pa?m3/s，這一精度遠(yuǎn)高于肥皂水檢漏等傳統(tǒng)方法。對(duì)于輸送超高純氮?dú)猓兌?99.9999%）或電子級(jí)氨氣的管道，氦檢漏能準(zhǔn)確定位焊接缺陷、閥門密封不良等問(wèn)題，避免微量泄漏導(dǎo)致的氣體純度下降 —— 要知道，電子級(jí)氣體中雜質(zhì)含量需控制在 ppb 級(jí)，任何泄漏引入的空氣（含氧氣、水分）都會(huì)直接影響產(chǎn)品良率，因此氦檢漏是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的 “必過(guò)項(xiàng)”。

在電子特氣系統(tǒng)工程中，保壓測(cè)試是保障管道安全運(yùn)行的重要環(huán)節(jié)。電子特氣多為腐蝕性、毒性或易燃易爆氣體，管道一旦泄漏，不僅會(huì)污染生產(chǎn)環(huán)境，還可能引發(fā)安全事故。保壓測(cè)試需在管道安裝完成后，先進(jìn)行氮?dú)庵脫Q去除空氣，再充入高純氮?dú)庵猎O(shè)計(jì)壓力（通常為 0.6-1.0MPa），關(guān)閉閥門后持續(xù)監(jiān)測(cè) 24 小時(shí)。根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，壓力降需≤0.5% 初始?jí)毫Γ颐啃r(shí)壓力波動(dòng)不超過(guò) 0.01MPa。測(cè)試過(guò)程中，需重點(diǎn)關(guān)注閥門接口、焊接點(diǎn)等易泄漏部位，結(jié)合壓力曲線判斷是否存在微漏。對(duì)于電子特氣系統(tǒng)而言，保壓測(cè)試的嚴(yán)格執(zhí)行能有效避免因泄漏導(dǎo)致的特氣純度下降，確保半導(dǎo)體芯片等精密產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量，是第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)電子特氣系統(tǒng)安全評(píng)級(jí)的重要依據(jù)。高純氣體系統(tǒng)工程的 0.1 微米顆粒度檢測(cè)，每立方米顆粒需≤1000 個(gè)，保障氣體潔凈度。

大宗供氣系統(tǒng)主要為工廠輸送氮?dú)狻鍤獾裙I(yè)氣體，用量大且持續(xù)穩(wěn)定，管道內(nèi)的氧含量若超標(biāo)，會(huì)直接影響產(chǎn)品質(zhì)量 —— 例如在金屬熱處理中，氧氣會(huì)導(dǎo)致工件氧化，降低表面精度。ppb 級(jí)氧含量檢測(cè)需采用激光氧分析儀，在管道出口處連續(xù)采樣，檢測(cè)下限可達(dá) 10ppb。檢測(cè)前需用高純氮?dú)猓ㄑ鹾俊?ppb）對(duì)分析儀進(jìn)行校準(zhǔn)，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。大宗供氣系統(tǒng)的管道多為長(zhǎng)距離鋪設(shè)，接頭、閥門等部位若密封不嚴(yán)，會(huì)滲入空氣中的氧氣（約 21%），導(dǎo)致氧含量升高。通過(guò) ppb 級(jí)檢測(cè)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)微量泄漏，例如當(dāng)檢測(cè)值從 50ppb 躍升至 200ppb 時(shí)，需排查管道法蘭密封墊是否老化，或焊接點(diǎn)是否存在微縫，從而保障氣體純度滿足生產(chǎn)需求。實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的水分（ppb 級(jí)）檢測(cè)≤50ppb，避免水分干擾色譜分析等精密實(shí)驗(yàn)。廣州工業(yè)集中供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)耐壓測(cè)試

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測(cè)，每立方米≤10000 個(gè)，保護(hù)精密設(shè)備。廣州工業(yè)集中供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)耐壓測(cè)試

高純氣體系統(tǒng)工程對(duì)管道泄漏率的要求遠(yuǎn)高于普通工業(yè)管道，因?yàn)槟呐率?1×10??Pa?m3/s 的微漏，也會(huì)導(dǎo)致高純氣體（純度 99.9999%）被空氣污染。氦檢漏需采用 “真空法”：先對(duì)管道抽真空至≤1Pa，再在管道外側(cè)噴氦氣，內(nèi)側(cè)用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)。氦氣分子直徑小（0.31nm），易穿透微小縫隙，檢漏靈敏度可達(dá) 1×10?12Pa?m3/s。在高純氧氣、氫氣系統(tǒng)中，泄漏會(huì)導(dǎo)致氣體純度下降 —— 例如電子級(jí)氧氣中若混入空氣，氧含量降至 99.999%，會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體晶圓氧化層厚度不均。氦檢漏能準(zhǔn)確定位泄漏點(diǎn)（如閥門填料函、焊接熱影響區(qū)），為修復(fù)提供依據(jù)，是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的 “硬性指標(biāo)”。廣州工業(yè)集中供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)耐壓測(cè)試