裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21，裝置主體1的內部中間部位固定連接有連接構件11，裝置主體1的內部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10，連接構件11的內側固定連接有過濾部件9，裝置主體1的內部底端另一側固定連接有收集倉8，收集倉8的另一側底部固定連接有密封閥門7，過濾部件9的頂端兩側活動連接有滑動蓋24，過濾部件9的內部中間兩側固定連接有收縮彈簧管25，連接構件11的內側兩端嵌入連接有螺紋管27，連接構件11的內部中間兩側活動連接有活動軸28，連接構件11的內側中間兩側嵌入連接有密封軟膠層29。推薦的，硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環22，在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候，需要將儲罐進行密封，密封環22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封，使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內部形成一個密閉的空間，避免環境外部的雜質進入儲罐內，有效的提高了裝置使用的密封性。推薦的，連接構件11的兩側嵌入連接有海綿層12，在使用裝置制備蝕刻液的時候，需要通過連接構件11將裝置主體1內部的部件進行連接，在旋轉連接構件11的兩側時，操作人員的手會與連接構件11接觸，海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收。蝕刻液的正確使用方式；無錫BOE蝕刻液蝕刻液產品介紹

一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域，具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術：2.目前，電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜，以便后續給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中，對于多晶ito(p-ito)材料，所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低，但其蝕刻速度快，蝕刻的角度難以控制，且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素：3.有鑒于此，為克服目前存在的技術難題，本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。4.具體地，本技術首先方面提供了一種ito蝕刻液，所述ito蝕刻液包括以下重量份數的各組分：20-22份的鹽酸，6-7份的硝酸，0.5-3份的酸抑制劑，0.5-3份的表面活性劑，以及水；其中，所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種；所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定，以實現了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調控，并在一定程度上實現了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35佛山哪家蝕刻液蝕刻液銷售廠蘇州博洋化學股份有限公司使命必達。

負的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征，上述氧化物膜推薦包含sio2，上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序，能夠使上述氮化物膜去除工序中發生的副反應氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題**少化。本發明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑，在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時，能夠使因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發生**少化。因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強于適宜水平時發生，氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時發生。以下，對于本發明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯劑以及進行更詳細的說明。(a)磷酸本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時使用。相對于組合物總重量，上述磷酸的含量為50～95重量％，推薦為80～90重量％。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內的情況下。

從蝕刻速度及安全性的觀點來看，推薦為40℃至70℃，更推薦為45℃至55℃。處理時間視對象物的表面狀態及形狀等而變化，通常為30秒至120秒左右。實施例然后，對本發明的實施例與比較例一起進行說明。此外，本發明并非限定于下述實施例而解釋。制備表1及表2所示的組成的各蝕刻液，在下述條件下進行蝕刻試驗及蝕刻液的穩定性試驗。此外，表1及表2所示的組成的各蝕刻液中，剩余部分為離子交換水。另外，表1及表2所示的鹽酸的濃度為以氯化氫計的濃度。(蝕刻試驗)通過濺鍍法在樹脂上形成50nm的鈦膜，然后成膜200nm的銅膜，進而通過電鍍銅在該銅膜上形成圖案，將所得的基板用作試樣。使用銅的蝕刻液，將試樣的濺鍍銅膜溶解而使鈦膜露出。然后，將試樣浸漬在實施例1至實施例12及比較例1至比較例3的蝕刻液中進行蝕刻實驗。將實驗結果示于表1。[表1]像表1所示那樣，本發明的蝕刻液可在不蝕刻銅的情況下選擇性地蝕刻鈦。(蝕刻液的穩定性試驗)將實施例1、實施例7、實施例12及比較例4的蝕刻液在室溫下放置2天后，進行所述蝕刻試驗，比較放置前后的蝕刻速度。將比較結果示于表2。[表2]像表2所示那樣，本發明的蝕刻液的保存穩定性優異，即便在長期保存的情況下也可穩定地選擇性地蝕刻鈦。「博洋化學」專業生產蝕刻液廠家,選用環保型的蝕刻液,產品用的放心!

通過滑動蓋24上的凸塊在過濾部件9內部頂端內壁的滑槽進行滑動，將過濾板26插入過濾部件9內部兩側的固定槽內，收縮彈簧管25設置有四處，分別設置在兩滑動蓋24的內側前面和后面，再通過收縮彈簧管25的彈力將滑動蓋24向內活動，使過濾部件9內部空間進行密封，有效的提高了裝置連接安裝的便利性。推薦的，連接構件11設置有十四個，連接構件11設置在攪拌倉23的底部，連接構件11與攪拌倉23固定連接，連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定，且在將兩構件進行連接或拆卸的時候，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端，再通過連接管與連接構件11內側兩端的螺紋管27進行連接，通過轉動連接構件11的兩側部位，同時使連接管與連接構件11的中間位置固定住，通過活動軸28的作用，使連接管通過連接有的螺紋向內來連接，使連接管將密封軟膠層29進行擠壓，使兩構件的連接管進行密封連接，有效的提高了裝置連接的實用性。工作原理：首先檢查連接構件11的完整性，連接構件11的兩側嵌入連接有海綿層12，在使用裝置制備蝕刻液的時候，需要通過連接構件11將裝置主體1內部的部件進行連接，在旋轉連接構件11的兩側時。蝕刻液的怎么找到好的廠家；安慶銀蝕刻液蝕刻液配方技術

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過濾器的出液管自動上行離開儲存罐，將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產車間移動至自動灌裝車間中，將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內的鋁蝕刻液分裝。本實用新型除上述技術方案外，還包括以下技術特征：進一步的是，所述地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊，所述卡塊與平臺之間形成一插槽；所述氣動夾緊機構包括氣缸和壓緊塊，所述壓緊塊位于所述插槽中，所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進一步的是，所述拖車的頂部設置有一圈圍設在所述儲存罐外部的護欄。進一步的是，所述拖車的頂部設置有一集液盒，所述儲存罐安裝在所述集液盒中。進一步的是，所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側設置有集液腔室。與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：1.將原有的大型儲存罐更換成數個小型儲存罐，并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產車間與自動灌裝車間之中周轉，如此便可為鋁蝕刻液生產設備配備全自動灌裝線，即提高了單瓶灌裝精度和效率，又降低了企業的人力成本投入；2.將原有的大型儲存罐更換成數個小型儲存罐，在儲存罐內在進液時，其它儲存罐可以進行定量灌裝，提高了鋁蝕刻液的生產效率。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案。無錫BOE蝕刻液蝕刻液產品介紹