對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例，基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。實(shí)施例一，請(qǐng)參閱圖1-4，本實(shí)用新型提供技術(shù)方案：高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置，包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機(jī)4，裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2，裝置主體1的后面一側(cè)底部固定連接有電源線3，裝置主體1的一側(cè)中間部位固定連接有控制器5，裝置主體1的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機(jī)4，裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲(chǔ)罐14，裝置主體1的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲(chǔ)罐15，磷酸儲(chǔ)罐15的底部固定連接有攪拌倉(cāng)23，攪拌倉(cāng)23的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機(jī)13，攪拌倉(cāng)23的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲(chǔ)罐16，裝置主體1的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲(chǔ)罐17，裝置主體1的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐18，陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐18的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲(chǔ)罐19，裝置主體1的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲(chǔ)罐20。蘇州哪家公司可以做蝕刻液；成都天馬用的蝕刻液蝕刻液批量定制

所述液位計(jì)連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)視鏡。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述液位計(jì)安裝于所述分離器的外表面。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述液位開關(guān)為控制閥，設(shè)置于所述濾液出口處。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述分離器底部為錐體形狀。上述，利用加熱器對(duì)含銅蝕刻液進(jìn)行加熱，使其達(dá)到閃蒸要求的溫度，將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器，經(jīng)過(guò)減壓閥及真空泵減壓，含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸，產(chǎn)生大量蒸汽，蒸汽中攜帶著大小不等的液滴，通過(guò)除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出，減小產(chǎn)品損失。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)施例的外觀示意圖。圖中：1、液體入口；2、濾液出口；3、除霧組件；4、除沫組件；5、蒸汽出口；6、液相氣相溫度傳感器；7、液位計(jì)；8、壓力傳感器；9、液位開關(guān)；10、視鏡；11、加熱器；12、減壓閥;13、真空泵。具體實(shí)施方式在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示,一種含銅蝕刻液氣液分離裝置，包括分離器及加熱器11，所述分離器設(shè)有液體入口1、蒸汽出口5及濾液出口2，所述液體入口1用于將加熱器11產(chǎn)生的液體輸入至分離器中。揚(yáng)州鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液主要作用選擇蘇州博洋化學(xué)股份有限公司，安心，放心，舒心。

silane)系偶聯(lián)劑和水，上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。此外，提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法，其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法，其特征在于，選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進(jìn)行另外的實(shí)驗(yàn)確認(rèn)也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果。此外，本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時(shí)*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說(shuō)明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時(shí)氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度。

經(jīng)除霧組件3除霧后的氣體會(huì)夾帶著泡沫，泡沫中還是含有銅元素，為進(jìn)一步提高回收效率，需對(duì)氣體和泡沫進(jìn)行分離，泡沫與絲網(wǎng)碰撞時(shí)會(huì)吸附在絲網(wǎng)的細(xì)絲表面，細(xì)絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降，使泡沫形成較大的液滴沿細(xì)絲流至兩根絲的交點(diǎn)，當(dāng)液滴累積至其自身產(chǎn)生的重力超過(guò)氣體的上升力和液體表面張力合力時(shí)，液滴就從細(xì)絲上分離下落，氣體在通過(guò)絲網(wǎng)除沫后，基本上不含泡沫。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，所述分離器設(shè)有液位計(jì)7、液位開關(guān)9、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會(huì)因分離器內(nèi)壓力小而發(fā)生閃蒸，產(chǎn)生二次蒸汽，使氣液分離的效率更高，所以要維持分離器內(nèi)的壓力不變，通過(guò)觀察液位計(jì)7來(lái)使用液位開關(guān)9控制分離器內(nèi)壓力穩(wěn)定，保證分離器的工作狀態(tài)在設(shè)計(jì)的狀態(tài)下。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，所述液位計(jì)7連接有液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8將分離器內(nèi)的工作情況反映到液位計(jì)7，工作人員可以通過(guò)觀察液位計(jì)7知道分離器內(nèi)的工作情況。液相氣相溫度傳感器6采用漂浮式傳感器，在分離器內(nèi)液面處工作，壓力傳感器8安裝在分離器底部，有效測(cè)量分離器內(nèi)液壓。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示。「博洋化學(xué)」專業(yè)生產(chǎn)蝕刻液廠家,選用環(huán)保型的蝕刻液,產(chǎn)品用的放心!

上述硅烷系偶聯(lián)劑的選擇方法的特征在于，選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)形態(tài)的分子量之后乘以。以下，通過(guò)實(shí)施例更加詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明。但是，以下的實(shí)施例用于更加具體地說(shuō)明本發(fā)明，本發(fā)明的范圍并不受以下實(shí)施例的限定。實(shí)施例和比較例的蝕刻液組合物的制造參照以下表1(重量％)，制造實(shí)施例和比較例的蝕刻液組合物。[表1]參照以下表2和圖5，利用實(shí)施例和比較例的蝕刻液組合物，對(duì)于包含作為氧化物膜sio2和作為上述氧化物膜上的氮化物膜sin的膜的、總厚度的膜進(jìn)行如下處理。在160℃用硅烷系偶聯(lián)劑％對(duì)上述膜處理10,000秒的情況下，可以確認(rèn)到，aeff值與蝕刻程度(etchingamount，e/a)呈線性相互關(guān)系。具體而言，可以判斷，作為硅烷系偶聯(lián)劑，包含aeff值處于～14的蝕刻程度(etchingamount，e/a)優(yōu)異，從而阻止氧化物膜損傷不良和因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良的效果優(yōu)異。另一方面，可以判斷，作為硅烷系偶聯(lián)劑，包含aeff值不處于～11的蝕刻程度不佳，從而發(fā)生氧化物膜損傷不良。[表2]例如，參照以下表3，包含雙。金屬蝕刻網(wǎng)會(huì)用到蝕刻液?jiǎn)幔?a href="http://www.anmoyangsheng.com/zdcbsx/zyt5j15c5g/28423873.html" target="_blank">江蘇ITO蝕刻液蝕刻液商家

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使硝酸鉀儲(chǔ)罐21和其它儲(chǔ)罐的內(nèi)部形成一個(gè)密閉的空間，避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進(jìn)入儲(chǔ)罐內(nèi)，有效的提高了裝置使用的密封性；緊接著，將磷酸與醋酸在個(gè)攪拌倉(cāng)23中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆颍缓笤诘诙€(gè)攪拌倉(cāng)23中與硝酸充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚝?，再進(jìn)入配料罐中混合，將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個(gè)攪拌倉(cāng)23混合后再進(jìn)入第四個(gè)攪拌倉(cāng)23中，與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個(gè)攪拌倉(cāng)23中混合均勻，然后過(guò)濾后封裝，先檢查過(guò)濾板26進(jìn)行更換或安裝，過(guò)濾部件9的內(nèi)部?jī)蓚?cè)嵌入連接有過(guò)濾板26，常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合，其分散混合性能差，蝕刻液雜質(zhì)含量多，過(guò)濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾，使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過(guò)濾板26過(guò)濾出，得到不含雜質(zhì)的蝕刻液，避免多種強(qiáng)酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患；，通過(guò)過(guò)濾部件9將蝕刻液進(jìn)行過(guò)濾，過(guò)濾部件9設(shè)置有一個(gè)，過(guò)濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)，過(guò)濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接，過(guò)濾部件9能將制備出的蝕刻液進(jìn)行過(guò)濾，且過(guò)濾部件9能將內(nèi)部的過(guò)濾板26進(jìn)行拆卸更換，將過(guò)濾部件9的內(nèi)部進(jìn)行清洗，在將過(guò)濾部件9進(jìn)行連接安裝時(shí)，將滑動(dòng)蓋24向外側(cè)滑動(dòng)。成都天馬用的蝕刻液蝕刻液批量定制