etchingamount)的相互關系的圖表。具體實施方式本發明人確認了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數值時能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化，從而完成了本發明。本發明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。本發明中，蝕刻對象膜可以為氮化物膜，保護對象膜可以為氧化物膜。此外，本發明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯劑。<蝕刻液組合物>具體而言，本發明可以包含磷酸、添加劑和水，上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯劑。本發明的上述添加劑的特征在于，使上述添加劑的反應位點(activesite)的數量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以(參照以下數學式)滿足。本發明中，各添加劑的反應位點(activesite)的數量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量的例子示于表3中。此外，由此計算的各添加劑的aeff值和與此有關的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結果，可以確認到上述添加劑的aeff值推薦滿足。蝕刻液可以從哪里購買到；安慶BOE蝕刻液蝕刻液銷售廠家

也不能在回收結束后對裝置內部進行清理的問題。為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置，包括裝置主體，所述裝置主體內部中間位置固定安裝有分隔板，所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板，所述承載板上端表面放置有電解池，所述電解池內部中間位置設置有隔膜，所述裝置主體上端表面靠近右側安裝有進液漏斗，所述進液漏斗上設置有過濾網，所述裝置主體內部靠近頂端設置有進液管，所述進液管左端連接有伸縮管，所述伸縮管下端安裝有噴頭，所述裝置主體上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸，所述液壓缸下端安裝有伸縮桿，所述伸縮桿下端固定安裝有圓環塊，所述圓環塊與噴頭之間固定連接有連接桿，所述分隔板右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵，所述增壓泵下端與電解池之間連接有回流管，所述增壓泵上端與進液管之間連接有一號排液管，所述回流管內部左端設置有一號電磁閥，所述裝置主體左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵，所述抽氣泵下方設置有集氣箱，所述集氣箱與抽氣泵之間連接有排氣管，所述電解池下端連接有二號排液管，所述二號排液管內部上端設置有二號電磁閥，所述裝置主體內部底端靠近左側設置有傾斜板。廣州蝕刻液商家蝕刻液的分類有哪些；

對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例，基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一，請參閱圖1-4，本實用新型提供技術方案：高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置，包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機4，裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2，裝置主體1的后面一側底部固定連接有電源線3，裝置主體1的一側中間部位固定連接有控制器5，裝置主體1的內部底端一側固定連接有單片機4，裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14，裝置主體1的頂部一側固定連接有磷酸儲罐15，磷酸儲罐15的底部固定連接有攪拌倉23，攪拌倉23的內部頂部固定連接有攪拌電機13，攪拌倉23的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐16，裝置主體1的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐17，裝置主體1的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐18，陰離子表面活性劑儲罐18的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐19，裝置主體1的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐20。

silane)系偶聯劑和水，上述硅烷系偶聯劑使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。此外，提供一種選擇硅烷系偶聯劑的方法，其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法，其特征在于，選擇上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以。發明效果本發明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優異的硅烷系偶聯劑的效果。此外，本發明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發生的工序不良的圖。圖4是示出能夠將3dnand閃存制造工序中發生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯劑的aeff值與蝕刻程度。蝕刻液的時刻速率是多少；

經除霧組件3除霧后的氣體會夾帶著泡沫，泡沫中還是含有銅元素，為進一步提高回收效率，需對氣體和泡沫進行分離，泡沫與絲網碰撞時會吸附在絲網的細絲表面，細絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降，使泡沫形成較大的液滴沿細絲流至兩根絲的交點，當液滴累積至其自身產生的重力超過氣體的上升力和液體表面張力合力時，液滴就從細絲上分離下落，氣體在通過絲網除沫后，基本上不含泡沫。在一個實施例中，如圖1所示，所述分離器設有液位計7、液位開關9、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會因分離器內壓力小而發生閃蒸，產生二次蒸汽，使氣液分離的效率更高，所以要維持分離器內的壓力不變，通過觀察液位計7來使用液位開關9控制分離器內壓力穩定，保證分離器的工作狀態在設計的狀態下。在一個實施例中，如圖1所示，所述液位計7連接有液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8將分離器內的工作情況反映到液位計7，工作人員可以通過觀察液位計7知道分離器內的工作情況。液相氣相溫度傳感器6采用漂浮式傳感器，在分離器內液面處工作，壓力傳感器8安裝在分離器底部，有效測量分離器內液壓。在一個實施例中，如圖1所示。優先蘇州博洋化學股份有限公司。哪家蝕刻液蝕刻液溶劑

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所述制備裝置主體的內部中間部位活動連接有高效攪拌裝置，所述制備裝置主體的一側中間部位嵌入連接有翻折觀察板，所述制備裝置主體的底端固定連接有裝置底座，所述裝置底座的內部底部固定連接有成品罐，所述裝置底座的頂端一側固定連接有鹽酸裝罐，所述裝置底座的頂端另一側固定連接有硝酸裝罐，所述高效攪拌裝置的內部頂部中間部位活動連接有旋轉搖勻轉盤，所述高效攪拌裝置的內部頂部兩側活動連接有震蕩彈簧件，所述震蕩彈簧件的頂端固定連接有運轉電機組，所述運轉電機組的頂端電性連接有控制面板，所述高效攪拌裝置的內部中間部位固定連接有致密防腐桿，所述致密防腐桿的內部內側貫穿連接有攪動孔，所述鹽酸裝罐的內部一側嵌入連接有嵌入引流口，所述嵌入引流口的一端固定連接有負壓引流器，所述負壓引流器的一端固定連接有注入量控制容器，所述注入量控制容器的內部內側固定連接有注入量觀察刻度線，所述注入量控制容器的一側嵌入連接有限流銷。推薦的，所述翻折觀察板的內部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪，所述觀察窗翻折滾輪的底端活動連接有內嵌觀察窗。推薦的，所述鹽酸裝罐的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗。推薦的，所述裝置底座的內部兩側緊密焊接有加固支架。安慶BOE蝕刻液蝕刻液銷售廠家