本實用涉及蝕刻設備技術領域，具體為一種ito蝕刻液制備裝置。背景技術：蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術，蝕刻技術分為濕蝕刻和干蝕刻，其中，濕蝕刻是采用化學試劑，經由化學反應達到蝕刻的目的，薄膜場效應晶體管液晶顯示器(tft～lcd)、發光二極管(led)、有機發光二極管(oled)等行業用作面板過程中銦錫氧化物半導體透明導電膜(ito)的蝕刻通常采用鹽酸和硝酸的混合水溶液。現有的制備裝置在進行制備時會發***熱反應，使得裝置外殼穩定較高，工作人員直接接觸有燙傷風險，熱水與鹽酸接觸會產生較為劇烈的反應，濺出容易傷害工作人員，保護性不足，鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性，常規的攪拌裝置容易被腐蝕，影響蝕刻液的質量，用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進行攪拌，成本過高，且混合的效果不好。所以，如何設計一種ito蝕刻液制備裝置，成為當前要解決的問題。技術實現要素：本實用新型的目的在于提供一種ito蝕刻液制備裝置，以解決上述背景技術中提出的ito蝕刻液制備裝置保護性不足、不具備很好的防腐蝕性和混合的效果不好的問題。為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種ito蝕刻液制備裝置，包括制備裝置主體、高效攪拌裝置和過濾除雜裝置。哪家的蝕刻液的價格低？四川蝕刻液供應

裝置主體1的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐21，裝置主體1的內部中間部位固定連接有連接構件11，裝置主體1的內部底部中間部位固定連接有常閉式密封電磁閥10，連接構件11的內側固定連接有過濾部件9，裝置主體1的內部底端另一側固定連接有收集倉8，收集倉8的另一側底部固定連接有密封閥門7，過濾部件9的頂端兩側活動連接有滑動蓋24，過濾部件9的內部中間兩側固定連接有收縮彈簧管25，連接構件11的內側兩端嵌入連接有螺紋管27，連接構件11的內部中間兩側活動連接有活動軸28，連接構件11的內側中間兩側嵌入連接有密封軟膠層29。推薦的，硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環22，在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候，需要將儲罐進行密封，密封環22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封，使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內部形成一個密閉的空間，避免環境外部的雜質進入儲罐內，有效的提高了裝置使用的密封性。推薦的，連接構件11的兩側嵌入連接有海綿層12，在使用裝置制備蝕刻液的時候，需要通過連接構件11將裝置主體1內部的部件進行連接，在旋轉連接構件11的兩側時，操作人員的手會與連接構件11接觸，海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收。BOE蝕刻液蝕刻液生產銅蝕刻液的配方是什么？

本發明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術：以往，在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液，該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦，并且該蝕刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的過氧化氫、％至5重量％的磷酸、％至％的膦酸系化合物及氨所構成的水溶液將pH值調整為7至9。但是，含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題，含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩定性的問題。現有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特許第4471094號說明書。技術實現要素：發明所要解決的問題本發明是鑒于所述實際情況而成，其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法，所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦，而且毒性低，保存穩定性優異。解決問題的技術手段本發明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用，并且含有：選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸；以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。

銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學品產品，廣泛應用于平板顯示、LED制造及半導體制造領域。隨著新技術的不斷進步，對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎上我司自主進行了無氟，無硝酸，低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發，并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產品特點：1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度（32）下可穩定72H，常溫可穩定120H；無暴沸現象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好，taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結構不同膜厚度的機種。選擇博洋蝕刻液，提升蝕刻效率，降低成本。

鋁板面蝕刻用：酸、堿都行。（鋁板是兩性材料，既能與酸反應，又能與堿反應，所以腐蝕液有的用堿性材料腐蝕，有的用酸性材料腐蝕，一般情況下，以酸性材料腐蝕的為多，堿性材料可以洗白。下好料的鋁板用棗木碳研磨，去掉油膩、劃痕，磨出啞光表面。然后用絲網版印上紋樣，油墨型號為80-39、80-59、80-49等。這種耐腐蝕油墨細膩，印出的紋樣質量高。印完紋樣后放進電爐內烘干，然后用即時貼封住后面，用膠帶封邊，進入腐蝕工藝。鋁板的腐蝕液配方如下：三氯化鐵50%硫酸銅50%水適量，波美度15～20°之間，鋁板腐蝕時應平放，在腐蝕的過程中紋樣上溢出赭紅色的滓渣，應隨時用毛刷去掉，鋁面上冒出大量泡泡，滓渣隨泡泡浮起。鋁板的腐蝕時間大約在15～20min左右就可完成。一般情況下鋁板厚度不應低于1mm，否則一不小心會腐蝕透，影響效果。鋁板的防護材料用香蕉水去掉。腐蝕后的鋁板拋光和銅板一樣，拋光時用香蕉水搓凈余蠟，用另一塊棉花擦磨出亮光，然后噴護光劑防護，其它同銅一樣加工。）銅蝕刻液哪里可以買到；合肥鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液溶劑

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從蝕刻速度及安全性的觀點來看，推薦為40℃至70℃，更推薦為45℃至55℃。處理時間視對象物的表面狀態及形狀等而變化，通常為30秒至120秒左右。實施例然后，對本發明的實施例與比較例一起進行說明。此外，本發明并非限定于下述實施例而解釋。制備表1及表2所示的組成的各蝕刻液，在下述條件下進行蝕刻試驗及蝕刻液的穩定性試驗。此外，表1及表2所示的組成的各蝕刻液中，剩余部分為離子交換水。另外，表1及表2所示的鹽酸的濃度為以氯化氫計的濃度。(蝕刻試驗)通過濺鍍法在樹脂上形成50nm的鈦膜，然后成膜200nm的銅膜，進而通過電鍍銅在該銅膜上形成圖案，將所得的基板用作試樣。使用銅的蝕刻液，將試樣的濺鍍銅膜溶解而使鈦膜露出。然后，將試樣浸漬在實施例1至實施例12及比較例1至比較例3的蝕刻液中進行蝕刻實驗。將實驗結果示于表1。[表1]像表1所示那樣，本發明的蝕刻液可在不蝕刻銅的情況下選擇性地蝕刻鈦。(蝕刻液的穩定性試驗)將實施例1、實施例7、實施例12及比較例4的蝕刻液在室溫下放置2天后，進行所述蝕刻試驗，比較放置前后的蝕刻速度。將比較結果示于表2。[表2]像表2所示那樣，本發明的蝕刻液的保存穩定性優異，即便在長期保存的情況下也可穩定地選擇性地蝕刻鈦。四川蝕刻液供應