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來源: 發布時間:2025-09-25

在上述硅烷系偶聯劑的含量處于上述含量范圍內的情況下,能夠調節添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導體工序的去離子水,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發明的組合物總重量的2~45重量%來包含。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。上述蝕刻液組合物中說明的、對于添加劑選擇等的一切內容均可以同樣地應用于本發明的選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的添加劑的方法、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的蝕刻方法。具體而言,提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法、由此選擇的硅烷系偶聯劑以及包含該硅烷系偶聯劑的蝕刻方法。維信諾用的哪家的蝕刻液?四川格林達蝕刻液推薦廠家

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可以維持合適的蝕刻速度且提高sin/sio2選擇比。(b)硅烷系偶聯劑本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶聯劑作為防蝕劑可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化時使用。上述硅烷系偶聯劑推薦使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以,更推薦滿足。上述硅烷系偶聯劑推薦按照蝕刻液組合物的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。上述硅烷系偶聯劑推薦為選自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷(bis(triethoxysilyl)methane)、雙(三乙氧基甲硅烷基)乙烷(bis(triethoxysilyl)ethane)、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇((triethoxysilyl)methanol)和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷((triethoxysilyl)methane)組成的組中的一種以上,更推薦為選自由雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷組成的組中的一種以上,**推薦為(三乙氧基甲硅烷基)甲烷和/或(三乙氧基甲硅烷基)甲醇。相對于組合物總重量,上述硅烷系偶聯劑的含量為~10重量%,推薦為~%。揚州鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液銷售廠家哪家的蝕刻液性價比比較高?

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很好的對注入量進行精確控制,提高了該裝置的制備純度。附圖說明圖1為本實用新型的整體示意圖;圖2為本實用新型的a處放大示意圖;圖3為本實用新型的b處放大示意圖;圖4為本實用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖。圖中:1、制備裝置主體,2、高效攪拌裝置,3、過濾除雜裝置,4、翻折觀察板,401、觀察窗翻折滾輪,402、內嵌觀察窗,5、裝置底座,6、成品罐,7、鹽酸裝罐,8、硝酸裝罐,9、熱水流入漏斗,10、加固支架,11、防燙隔膜,12、旋轉搖勻轉盤,13、運轉電機組,14、震蕩彈簧件,15、控制面板,16、致密防腐桿,17、攪動孔,18、注入量控制容器,19、注入量觀察刻度線,20、限流銷,21、負壓引流器,22、嵌入引流口。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1-4,本實用新型提供一種技術方案:一種ito蝕刻液制備裝置,包括制備裝置主體1、高效攪拌裝置2和過濾除雜裝置3。

操作人員的手會與連接構件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進行吸收,避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候,會因操作人員的手沾濕出現手滑的情況,有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行;然后,通過連接構件11將裝置主體1內部構件進行連接,連接構件11設置有十四個,連接構件11設置在攪拌倉23的底部,連接構件11與攪拌倉23固定連接,連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端,再通過連接管與連接構件11內側兩端的螺紋管27進行連接,通過轉動連接構件11的兩側部位,同時使連接管與連接構件11的中間位置固定住,通過活動軸28的作用,使連接管通過連接有的螺紋向內來連接,使連接管將密封軟膠層29進行擠壓,使兩構件的連接管進行密封連接,有效的提高了裝置連接的實用性;接著,更換或添加硝酸鉀儲罐21或其它儲罐內的制備材料,硝酸鉀儲罐21的頂部嵌入連接有密封環22,在將制備蝕刻液儲罐加入制備材料的時候,需要將儲罐進行密封,密封環22能將硝酸鉀儲罐21和其他儲罐的頂蓋與儲罐主體連接的位置進行密封。蝕刻液的分類可以分為哪些?

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且過濾部件能將內部的過濾板進行拆卸更換,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,連接構件,連接構件設置在攪拌倉的底部,連接構件與攪拌倉固定連接,連接構件能將裝置主體內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,有效的提高了裝置連接的實用性。附圖說明圖1為本實用新型的整體結構示意圖;圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖;圖3為本實用新型的連接構件剖視圖;圖4為本實用新型的內部構件連接框架圖。圖中:1、裝置主體,2、支撐腿,3、電源線,4、單片機,5、控制器,6、防滑紋,7、密封閥門(z45x-16),8、收集倉,9、過濾部件,10、常閉式密封電磁閥(zca-15biii02-10),11、連接構件,12、海綿層,13、攪拌電機(5ik),14、去離子水儲罐,15、磷酸儲罐,16、醋酸儲罐,17、硝酸儲罐,18、陰離子表面活性劑儲罐,19、聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,20、氯化鉀儲罐,21、硝酸鉀儲罐,22、密封環,23、攪拌倉,24、滑動蓋,25、收縮彈簧管,26、過濾板,27、螺紋管,28、活動軸,29、密封軟膠層。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖。天馬微電子用哪家蝕刻液更多?南京銀蝕刻液蝕刻液銷售廠

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技術實現要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,以解決上述背景技術中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機,所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內部底端一側固定連接有單片機,所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,所述裝置主體的頂部一側固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內部頂部固定連接有攪拌電機,所述攪拌倉的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐,所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,所述裝置主體的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐,所述裝置主體的內部中間部位固定連接有連接構件。四川格林達蝕刻液推薦廠家

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