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佛山銅鈦蝕刻液蝕刻液配方技術

來源: 發布時間:2025-09-04

可以維持合適的蝕刻速度且提高sin/sio2選擇比。(b)硅烷系偶聯劑本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶聯劑作為防蝕劑可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化時使用。上述硅烷系偶聯劑推薦使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以,更推薦滿足。上述硅烷系偶聯劑推薦按照蝕刻液組合物的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。上述硅烷系偶聯劑推薦為選自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷(bis(triethoxysilyl)methane)、雙(三乙氧基甲硅烷基)乙烷(bis(triethoxysilyl)ethane)、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇((triethoxysilyl)methanol)和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷((triethoxysilyl)methane)組成的組中的一種以上,更推薦為選自由雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷組成的組中的一種以上,**推薦為(三乙氧基甲硅烷基)甲烷和/或(三乙氧基甲硅烷基)甲醇。相對于組合物總重量,上述硅烷系偶聯劑的含量為~10重量%,推薦為~%。封裝測試會用到哪些蝕刻液藥水;佛山銅鈦蝕刻液蝕刻液配方技術

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所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。本發明的蝕刻液推薦進一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種。推薦為,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,所述有機硫化合物的濃度為%至10重量%。另外,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%。另外,本發明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法。發明的效果本發明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦。另外,本發明的蝕刻液實質上不含氫氟酸及過氧化氫,因此毒性低,保存穩定性優異。具體實施方式本發明的蝕刻液為含有選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸與選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物的水溶液。所述酸中,從蝕刻速度的穩定性及酸的低揮發性的觀點來看,推薦為硫酸。酸的濃度并無特別限制,推薦為20重量%至70重量%,更推薦為30重量%至60重量%。在酸的濃度小于20重量%的情況下,有無法獲得充分的鈦蝕刻速度的傾向,在超過70重量%的情況下,有蝕刻液的安全性成問題的傾向。廣州銅鈦蝕刻液蝕刻液蝕刻液,準確蝕刻,效果好。

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目前的平面顯示裝置,尤其是有機電激發光顯示器,多使用鉻金屬作為導線的材料。但是因為鉻金屬的阻值高,因此研究者一直在尋求利用阻值較低的金屬作為導線的材料。以往曾經有提議以銀作為平面顯示裝置的導線材料,但是因為無適當穩定的蝕刻液組成物,所以并未有***的運用。近幾年為提高平面顯示裝置的效能,研究者仍專注于如何降低導線材料的電阻值。銀合金目前被視為適當的導線材料,因其阻值低于其他的金屬。此外,含銀量超過80%以上的銀合金,雖然阻值未若銀金屬一般低,但是其阻值遠低于鉻金屬。然而由于銀合金未具有適當的蝕刻液,所以并沒有廣泛應用于晶片或面板的黃光制程。發明人爰因于此,本于積極發明的精神,亟思一種可以解決上述問題的“銀合金蝕刻液”,幾經研究實驗終至完成此項嘉惠世人的發明。

一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術:2.目前,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,以便后續給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中,對于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,蝕刻的角度難以控制,且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素:3.有鑒于此,為克服目前存在的技術難題,本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。4.具體地,本技術首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數的各組分:20-22份的鹽酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,以及水;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定,以實現了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調控,并在一定程度上實現了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35剝離液有水性和溶劑型等不同的區分。

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所述液位計連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中,所述分離器的側壁上設有多個視鏡。在其中一個實施例中,所述液位計安裝于所述分離器的外表面。在其中一個實施例中,所述液位開關為控制閥,設置于所述濾液出口處。在其中一個實施例中,所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個實施例中,所述分離器底部為錐體形狀。上述,利用加熱器對含銅蝕刻液進行加熱,使其達到閃蒸要求的溫度,將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器,經過減壓閥及真空泵減壓,含銅蝕刻液在分離器內發生閃蒸,產生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,通過除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出,減小產品損失。附圖說明圖1是本實施例的結構示意圖;圖2是本實施例的外觀示意圖。圖中:1、液體入口;2、濾液出口;3、除霧組件;4、除沫組件;5、蒸汽出口;6、液相氣相溫度傳感器;7、液位計;8、壓力傳感器;9、液位開關;10、視鏡;11、加熱器;12、減壓閥;13、真空泵。具體實施方式在一個實施例中,如圖1所示,一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器11,所述分離器設有液體入口1、蒸汽出口5及濾液出口2,所述液體入口1用于將加熱器11產生的液體輸入至分離器中。銅蝕刻液的配方是什么?廣州銅鈦蝕刻液蝕刻液

使用蝕刻液的時候需要注意的事項有哪些?佛山銅鈦蝕刻液蝕刻液配方技術

技術實現要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,以解決上述背景技術中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機,所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內部底端一側固定連接有單片機,所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,所述裝置主體的頂部一側固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內部頂部固定連接有攪拌電機,所述攪拌倉的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐,所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,所述裝置主體的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐,所述裝置主體的內部中間部位固定連接有連接構件。佛山銅鈦蝕刻液蝕刻液配方技術

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