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來源: 發布時間:2025-09-02

圖3是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖二,其離子注入步驟。圖4是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖三,其顯示離子注入后光刻膠形成了主要光刻膠層和第二光刻膠層。圖5是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖四,其顯示光刻膠膨脹。圖6是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖五,其顯示光刻膠炸裂到臨近光刻膠。圖7是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖六,其顯示光刻膠去除殘留。圖8是本發明光刻膠剝離去除示意圖一,其顯示首先剝離去除主要光刻膠層。圖9是本發明光刻膠剝離去除示意圖二,其顯示逐步剝離去除第二光刻膠層的中間過程。圖10是本發明光刻膠剝離去除示意圖三,其顯示完全去除光刻膠后的襯底。圖11是采用現有技術剝離去除光刻膠殘留缺陷示意圖。圖12是采用本發明剝離去除光刻膠殘留缺陷示意圖。具體實施方式以下通過特定的具體實施例說明本發明的實施方式,本領域技術人員可由本說明書所公開的內容充分地了解本發明的其他優點與技術效果。本發明還可以通過不同的具體實施方式加以實施或應用,本說明書中的各項細節也可以基于不同觀點加以應用,在沒有背離發明總的設計思路下進行各種修飾或改變。需說明的是,在不的情況下,以下實施例及實施例中的特征可以相互組合。剝離液可以實現光刻膠的剝離;紹興哪家蝕刻液剝離液銷售公司

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騰田化學技術(上海)技術有限公司(簡稱:騰田化學),騰田化學坐落于上海五角場萬達廣場,依托復旦大學·東華大學·華東理工大學·中科院有機所·上海石油商品研究所就相關材料領域建立研發中心,憑借強大的科研實力,多年豐富的研發經驗,共同建立化工材料分析中心與新材料研發中心;騰田化學致力于化工行業材料檢測、材料分析、配方還原、新領域新材料的研發;加快新項目整體研發進度,縮短研發周期,推動化工產業自主研發的進程.為企業提供一站式服務。騰田化學作為國內的配方及研發技術有限公司,騰田化學技術團隊具有豐富研發經驗,與多所高校及研究所建立研究性合作平臺,擁有前列的技術研發平臺、雄厚的科研技術力量以及精密的高科技儀器設備;有標準的圖譜庫;材料庫;完善的數據庫;能夠有效的解決某些前列領域特殊產品**能性助劑的定性定量分析及研發技術服務,為企業解決在研發中遇到的難題,突破多領域技術瓶頸;并且與化工行業上百家有規模企業建立長期技術合作;騰田化學中心擁有強大的技術研發團隊:由數位工程師在新材料前列領域已幫助多家企業解決實際生產問題,協助企業成功自主研發**產品項目很多項。廣東哪家蝕刻液剝離液供應高效剝離液,讓光刻膠去除更輕松、更徹底。

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本發明涉及剝離液技術領域:,更具體的說是涉及一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。背景技術::電子行業飛速發展,光刻膠應用也越來越。在半導體元器件制造過程中,經過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進行下道工序。因此,光刻膠的剝離質量也有直接影響著產品的質量。但是傳統光刻膠剝離液雖然能剝離絕大部分光阻,但對于高世代面板(高世代面板是代指大尺寸的液晶面板),傳統剝離液親水性不夠,水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留。技術實現要素:本發明的目的是提供一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。為了實現上述目的,本發明采用如下技術方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質量組分:酰胺:50-60%;醇醚:35-45%;環胺與鏈胺:3-7%;緩蝕劑:%%;潤濕劑:%%。的技術方案中,所述的酰胺為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種。的技術方案中,所述的醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的任意一種或多種。的技術方案中。

含有的胺化合物的質量分為:1%-2%。進一步技術方案中,所述的添加劑中含有醇醚化合物的質量分為:30%-50%;含有胺化合物的質量分為:35%-55%;含有緩蝕劑的質量分為:6%-12%;含有潤濕劑的質量分為:1%-7%。進一步技術方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的酰胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的酰胺化合物均為n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的一種或者多種。進一步技術方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的醇醚化合物以及步驟s2中添加劑所含的醇醚化合物均為二乙二醇丁醚(bdg)、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的一種或多種。進一步技術方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的胺化合物為環胺與鏈胺。進一步技術方案中,所述的環胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的一種或多種;所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的一種或多種。進一步技術方案中,所述的三唑類化合物,具體為苯并三氮唑(bta)、甲基苯并三氮唑(tta)中的任意一種。進一步技術方案中,所述的潤濕劑為含羥基化合物,具體為為聚乙二醇、甘油中的任意一種。剝離液有怎么進行分類的。

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剝離液是一種通用濕電子化學品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質,同時防止對襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產濕法工藝制造的關鍵性電子化工材料,下游應用領域,但整體應用需求較低,因此市場規模偏小。剝離液應用在太陽能電池中,對于剝離液的潔凈度要求較低,需達到G1等級,下游客戶主要要天合、韓華、通威等;應用到面板中,通常要達到G2、G3等級,且高世代線對于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方、中星光電;在半導體中的應用可分等級,在8英寸及以下的晶圓制造中,對于剝離液的要求達到G3、G4水平,大硅片、12英寸晶元等產品要達到G5水平。蘇州性價比高的剝離液。廣東哪家蝕刻液剝離液供應

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實施例1~6:按照表1配方將二甲基亞砜、一乙醇胺、四甲基氫氧化銨、硫脲類緩蝕劑、聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑、n-甲基吡咯烷酮和去離子水混合,得到用于疊層晶圓的光刻膠剝離液。表1:注:含量中不滿100wt%的部分由去離子水補足余量。以cna披露的光刻膠剝離液作為對照例,與實施例1~6所得用于疊層晶圓的光刻膠剝離液進行比較試驗,對面積均為300cm2的疊層晶圓上的光刻膠進行剝離并分別測定剝離周期、金屬鍍層的腐蝕率和過片量(剝離的面壁數量)。對比情況見表2:表2:剝離周期/s金屬腐蝕率/ppm過片量/片實施例1130~15015376實施例2130~15016583實施例3130~15017279實施例4130~15015675實施例5130~15016372實施例6130~15017681對照例180~20022664由表2可知,本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液通過加入硫脲類緩蝕劑和聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,使剝離效率有明顯的提升,對金屬腐蝕率降低20%以上,而且讓過片量提高10%以上。以上所述的*是本發明的一些實施方式。對于本領域的普通技術人員來說,在不脫離本發明創造構思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本發明的保護范圍。紹興哪家蝕刻液剝離液銷售公司

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