半導體掛鍍設備

1.基本原理與結構

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質，配備溫控、循環過濾系統，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設計適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動化傳輸：機械臂自動上下料，減少人工污染風險

控制系統：PLC/計算機實時調控電流密度、電鍍時間、pH值等參數

2. 關鍵技術優勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術（如ECP），減少邊緣效應，實現亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監測，降低孔洞、結節等缺陷

高產能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導線，替代傳統鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導電通道，實現芯片堆疊

先進封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實現芯片I/O端口的重新布局

總結

半導體掛鍍設備通過精密電化學控制與自動化技術，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關聯芯片的導電性、散熱及良率 設備維護系統集成故障診斷模塊，通過傳感器數據預判過濾機堵塞、加熱管老化等問題，減少停機時間。廣東深圳機械電鍍設備

電泳生產線是一種基于電泳涂裝技術（Electrophoretic Deposition, EPD）的自動化生產線，主要用于在工件表面均勻涂覆一層涂料（通常為水性漆），形成具有防腐、裝飾或功能性的涂層。

其原理:

利用電場作用，使帶電的涂料粒子定向遷移并沉積在工件表面，是現代工業中常用的高效涂裝工藝之一。

電泳生產線的主要應用領域

1.汽車工業

汽車車身、底盤部件、發動機零件、車輪等的底漆涂裝，是汽車防腐的關鍵工藝（如整車電泳涂裝線）。

2.家電與電子

冰箱、洗衣機、空調等金屬外殼，以及電子元件、電機部件的防腐涂裝。

3.五金與建材

門窗型材（鋁合金電泳）、衛浴五金、工具、醫療器械等的表面處理。

4.航空航天與船舶鋁合金部件的防腐涂裝，海洋設備的耐鹽霧涂層。 廣東深圳機械電鍍設備滾鍍后的離心甩干設備內置防滑襯墊，高速旋轉時固定工件，避免碰撞損傷并加速脫水。

全自動龍門電鍍生產線控制箱

是電鍍自動化生產系統的控制單元，主要用于協調龍門機械手、電鍍槽、電源系統、液位/溫度傳感器等設備的運行，確保電鍍工藝精細執行。

特性說明:主要電器采用西門子及三菱PLC、歐姆龍、富士電器等品牌，每一臺行車可自動、半自動轉換，開放式自由程序選擇，智能控制管理，在電腦和人機界面觸摸屏對數據實時處理及進行有效監控，設計科學合理、緊湊、自動化程度高；用于ABS塑料、汽車、五金、電子、衛浴、燈飾家電等行業

環保與安全合規性

廢水廢氣處理設備是否集成循環過濾系統（如RO反滲透膜）？能否達到《電鍍污染物排放標準》（GB21900-2008）。酸霧收集裝置（如側吸風+噴淋塔）是否完善，避免車間環境污染。安全設計防漏電保護（雙重絕緣+接地報警）、緊急停機按鈕、防腐蝕外殼等。符合國家《機械電氣安全標準》（GB5226.1）。

成本與投資回報分析

初期投入

設備價格：小型手動線約5-15萬元，全自動線可達百萬元以上。

配套成本：廢水處理設施、車間改造、環評審批費用。

運營成本

能耗（電費占成本30%-50%）、耗材（陽極材料、濾芯）、人工費用。

維護成本：易損件（加熱管、泵）更換頻率及價格。

回報周期

高附加值產品（如鍍金飾品）可能3-6個月回本，普通鍍鋅件需1-2年。 掛鍍導電裝置采用磷銅合金掛具，表面鍍硬鉻增強導電性，減少接觸電阻導致的鍍層不均問題。

廢氣凈化設備的技術升級與環保效益：電鍍廢氣處理設備通過多級凈化技術實現達標排放。酸霧凈化塔采用逆流噴淋+纖維除霧工藝，對HCl、H?SO?等酸性廢氣的去除率達99%以上。工廠新增活性炭吸附+催化燃燒裝置，將VOCs濃度從200mg/m3降至15mg/m3以下。設備集成在線監測儀表，實時顯示廢氣流量、溫度和污染物濃度，超標時自動觸發應急處理程序。在鍍鉻車間，采用離子液吸收技術替代傳統堿液，吸收效率提升至98%，同時降低30%的藥劑消耗。通過廢氣處理設備升級，企業可滿足《電鍍污染物排放標準》（GB21900-2008）特別排放限值要求。工件籃設備用于籃鍍工藝，網孔大小根據工件尺寸定制，兼顧電解液流通性與防止小件掉落。廣東深圳機械電鍍設備

汽車輪轂電鍍設備配置多軸旋轉掛具，360 度無死角電鍍，滿足復雜曲面的均勻鍍層要求。廣東深圳機械電鍍設備

全自動磷化線

一種用于金屬表面處理的自動化生產線，通過化學磷化工藝在金屬表面形成一層磷酸鹽轉化膜，以提升金屬的耐腐蝕性、涂裝附著力和潤滑性能

一、基本概念

1.磷化（Phosphating）是一種化學表面處理技術，利用磷酸鹽溶液與金屬（如鋼鐵、鋅、鋁等）發生反應，生成一層致密的磷酸鹽晶體膜（如磷酸鐵、磷酸鋅）

功能：防銹、增強涂層附著力、減少摩擦、延長金屬壽命

2.全自動磷化線通過自動化設備實現磷化工藝全流程無人化操作，覆蓋預處理、磷化、后處理等環節。

二、組成

1.預處理單元

脫脂槽：去除金屬表面油污

酸洗槽：氧化皮和銹跡

水洗槽：沖洗殘留化學藥劑

2.磷化處理單元

磷化槽：主反應區，金屬浸泡或噴淋磷化液，生成轉化膜

溫度與濃度控制：通過傳感器和自動加藥系統維持工藝參數穩定

3.后處理單元

封閉/鈍化槽：增強磷化膜耐腐蝕性

烘干系統：熱風或紅外烘干，避免水痕殘留

4.自動化系統

輸送裝置：傳送帶、機械臂或懸掛鏈，精細控制工件移動

PLC控制：集成溫控、液位監測、流程時序管理

數據監控：實時記錄工藝參數，支持遠程操作與故障診斷

三、工作流程

上料 → 脫脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表調（調整表面活性）→ 磷化 → 水洗 → 鈍化 → 烘干 → 下料。

廣東深圳機械電鍍設備