半導體滾鍍設備

是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備，主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝，實現高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求

與傳統滾鍍不同，半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴散并增強附著力。

三、設備組成

1.電鍍槽：

材質：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環系統：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質

2.旋轉載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機械夾持，確保晶圓平穩旋轉

轉速控制：通過伺服電機調節轉速，優化鍍層均勻性

3.陽極系統：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調節：控制電場分布，減少邊緣效應

4.供液與噴淋系統：

多點噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調節鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統：

PLC/工控機：集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。

配方管理：存儲不同鍍層的工藝參數 在線監測設備搭載 AI 算法，實時分析鍍層缺陷（如麻點、漏鍍），自動調整電流參數提升良品率。實驗型電鍍設備供應商家

廢氣凈化設備的技術升級與環保效益：電鍍廢氣處理設備通過多級凈化技術實現達標排放。酸霧凈化塔采用逆流噴淋+纖維除霧工藝，對HCl、H?SO?等酸性廢氣的去除率達99%以上。工廠新增活性炭吸附+催化燃燒裝置，將VOCs濃度從200mg/m3降至15mg/m3以下。設備集成在線監測儀表，實時顯示廢氣流量、溫度和污染物濃度，超標時自動觸發應急處理程序。在鍍鉻車間，采用離子液吸收技術替代傳統堿液，吸收效率提升至98%，同時降低30%的藥劑消耗。通過廢氣處理設備升級，企業可滿足《電鍍污染物排放標準》（GB21900-2008）特別排放限值要求。上海超聲波電鍍設備前處理電鍍設備含除油、酸洗槽，除工件表面油污氧化皮，為鍍層結合奠定基礎。

電泳生產線與電鍍生產線的區別

對比項                                      電泳生產線                                                  電鍍生產線

原理                                      涂料粒子電泳沉積（有機涂層）             金屬離子電解沉積（金屬鍍層）

涂層材料                               水性樹脂涂料（有機物）                       金屬或合金（如鋅、鎳、鉻、金等）      主要功能                           防腐、裝飾、絕緣（非金屬涂層）             防腐、裝飾、導電、耐磨（金屬鍍層）    工件導電性                         金屬工件直接導電；塑料需導電處理           必須導電（金屬或導電化處理的非金屬）典型應用                                      汽車底漆、家電外殼                             五金電鍍、電子元件鍍貴金屬

總結

電泳生產線是通過電場作用實現高效、均勻涂裝的自動化設備，優勢在于環保、高防腐性和復雜工件適應性，廣泛應用于汽車、家電等對涂層質量要求高的領域。其工藝流程涵蓋前處理、電泳涂裝、后處理及自動化控制，是現代工業規模化生產的重要組成部分。

電泳生產線的特點

1.高效均勻

涂層厚度可控（通常 5~30μm），且無論工件形狀多復雜（如內腔、焊縫），均可通過電場均勻覆蓋，尤其適合結構復雜的工件（如汽車車身）。

2.環保節能

電泳漆以水為溶劑，VOC（揮發性有機物）排放低，符合環保要求；電能和涂料利用率高，浪費少。

3.高防腐性

陰極電泳涂層具有優異的耐腐蝕性，是汽車車身防腐的工藝（如汽車底漆耐鹽霧測試可達 1000 小時以上）。

4.自動化程度高

從工件上線到涂層固化全流程自動化，減少人工干預，提高生產效率和一致性。

5.適用范圍廣

適合批量生產，工件材質包括金屬（鋼鐵、鋁、鋅合金等）、塑料（需導電處理）等。 溫控設備集成加熱管與冷水機，準確調節鍍液溫度（如鍍硬鉻需 50-60℃），確保電化學反映在好的區間進行。

志成達設計研發的滾掛一體電鍍實驗設備鍍液的選擇：

1.鍍銅液方面

酸性鍍銅液導電性強、分散性佳，能快速鍍厚銅，常用于電子元件底層鍍銅；

堿性鍍銅液穩定性好，腐蝕性小，所得銅層結晶細、結合力強，適用于鋼鐵基體打底。

2.鍍鎳液

瓦特鎳鍍液成分簡單、易維護，鍍層光亮耐磨，在防護裝飾性電鍍中廣泛應用；

氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優，鍍層內應力低、延展性好，多用于對鍍層質量要求高的電子、航天領域。

3.鍍鋅液里

堿性鍍鋅液陰極極化作用強，鋅層耐腐蝕性好；

酸性鍍鋅液電流效率高、沉積快，外觀光亮，不過腐蝕性強。

4.鍍金液

有物鍍金液，鍍層均勻光亮、硬度高；

無氰鍍金液則更環保。

5.鍍銀液

物鍍銀液電鍍性能好，鍍層導電導熱優；

硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環保。選擇鍍液要綜合零件材質、形狀、使用環境及實驗目的等，兼顧成本與環保。

總結：

在選擇鍍液時，需要根據待鍍零件的材質、形狀、尺寸、使用環境以及實驗目的等因素進行綜合考慮，同時還需考慮鍍液的成本、環保性和操作難度等因素。 前處理的超聲波除油設備結合堿性洗液，高頻振動剝離頑固油污，提升復雜結構工件清潔效果。重慶貴金屬電鍍設備

安全防護設備包括防腐內襯、漏電保護裝置及應急沖洗設施，降低藥液泄漏與觸電風險。實驗型電鍍設備供應商家

環保與安全合規性

廢水廢氣處理設備是否集成循環過濾系統（如RO反滲透膜）？能否達到《電鍍污染物排放標準》（GB21900-2008）。酸霧收集裝置（如側吸風+噴淋塔）是否完善，避免車間環境污染。安全設計防漏電保護（雙重絕緣+接地報警）、緊急停機按鈕、防腐蝕外殼等。符合國家《機械電氣安全標準》（GB5226.1）。

成本與投資回報分析

初期投入

設備價格：小型手動線約5-15萬元，全自動線可達百萬元以上。

配套成本：廢水處理設施、車間改造、環評審批費用。

運營成本

能耗（電費占成本30%-50%）、耗材（陽極材料、濾芯）、人工費用。

維護成本：易損件（加熱管、泵）更換頻率及價格。

回報周期

高附加值產品（如鍍金飾品）可能3-6個月回本，普通鍍鋅件需1-2年。 實驗型電鍍設備供應商家