半導體滾鍍設備

是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備，主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝，實現高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求

與傳統滾鍍不同，半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴散并增強附著力。

三、設備組成

1.電鍍槽：

材質：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環系統：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質

2.旋轉載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機械夾持，確保晶圓平穩旋轉

轉速控制：通過伺服電機調節轉速，優化鍍層均勻性

3.陽極系統：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調節：控制電場分布，減少邊緣效應

4.供液與噴淋系統：

多點噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調節鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統：

PLC/工控機：集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。

配方管理：存儲不同鍍層的工藝參數 陽極裝置分可溶性（如鋅板、銅板）與不溶性（如鉛板），維持電解液金屬離子濃度，保障電鍍反應持續穩定。國產電鍍設備發展

電鍍設備如何分類？

根據工藝類型和應用場景的不同，可分為以下幾大類：

一、傳統濕法電鍍設備

1. 前處理設備

清洗設備

酸洗/堿洗槽

電解脫脂設備

2.電鍍槽

鍍槽主體：耐酸堿材質的槽體

加熱/冷卻系統：控制電鍍液溫度

攪拌裝置：機械攪拌、空氣攪拌或磁力攪拌

3.電源與控制系統

整流器：提供直流電源，控制電流密度和電壓

自動化控制：PLC或觸摸屏系統

4. 后處理設備

水洗槽：

烘干設備

拋光設備

5. 環保與輔助設備

廢水處理系統：中和池、沉淀池、膜過濾設備

廢氣處理設備：酸霧吸收塔、活性炭吸附裝置

二、其他電鍍設備

1. 連續電鍍設備

滾鍍機：用于小件批量電鍍（如螺絲、紐扣）

掛鍍線：自動懸掛輸送系統，適合大件（如汽車零件）連續電鍍

2. 選擇性電鍍設備

筆式電鍍工具

3. 化學鍍設備

無電解鍍槽：無需外接電源，通過化學反應沉積金屬（如化學鍍鎳、鍍銅）

三、設備選型與應用場景

電鍍類型                                              典型設備                                                    應用領域                      裝飾性電鍍 （鍍鉻、鍍金）     掛鍍線、拋光機、真空鍍膜機                      珠寶、衛浴五金、汽車裝飾件        功能性電鍍（鍍鎳、鍍鋅）      滾鍍機、脈沖電源、廢水處理系統      機械零件防腐、電子元件導電層            高精度電鍍                               水平電鍍線、化學鍍設備               印刷電路板微孔金屬化                           耐磨/耐高溫鍍層                            PVD/CVD設備、離子鍍系統           刀具涂層、航空發動機葉片 手動電鍍設備運輸價廢氣處理設備配套槽邊吸氣罩與洗滌塔，中和電鍍過程中揮發的酸堿廢氣，符合環保排放要求。

電鍍周邊設備有哪些？

1.鍍槽：是電鍍加工的設備，用于盛放電鍍液，為電鍍提供反應場所。根據電鍍工藝和工件的不同，鍍槽的材質、形狀和尺寸也各不相同，常見的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材質制成的鍍槽。

2.整流器：其作用是將交流電轉換為直流電，為電鍍過程提供穩定的電流。電鍍過程需要精確控制電流的大小和穩定性，以確保電鍍層的質量和性能。

3.過濾機：用于過濾電鍍液中的雜質、顆粒和懸浮物，保持電鍍液的清潔度。過濾機通常采用濾芯式或濾袋式過濾，可根據電鍍液的性質和過濾精度要求選擇不同的過濾材料。

4.加熱和冷卻裝置：加熱裝置通常采用電加熱或蒸汽加熱的方式，而冷卻裝置則多采用冷水機或冷卻塔進行冷卻。

5.攪拌設備：包括機械攪拌和空氣攪拌等方式。

6.掛具：用于懸掛和固定待電鍍的工件，使工件能夠在電鍍槽中與電鍍液充分接觸，并保證電流均勻地通過工件。7.行車：主要用于在電鍍車間內吊運工件、原材料和成品等重物。

8.廢氣處理設備：電鍍過程中會產生各種有害氣體，如酸霧、堿霧和重金屬廢氣等。廢氣處理設備通常采用噴淋塔、活性炭吸附裝置、催化燃燒裝置等，對廢氣進行凈化處理，達標后排放。

陽極氧化線的典型應用場景

1.鋁加工與建筑領域：

建筑鋁型材（門窗、幕墻）的陽極氧化 + 染色，提升耐候性和美觀度。

鋁制家具、裝飾件（如拉手、面板）的表面處理。

2.電子與消費品：3C 產品外殼（手機、筆記本電腦）的陽極氧化著色，實現金屬質感與輕量化（如蘋果 iPhone 的陽極氧化工藝）。鋁電解電容器的陽極箔氧化（形成絕緣膜）。

3.機械與航空航天：鋁合金零件的硬質陽極氧化（如航空發動機葉片、液壓部件），增強耐磨和耐溫性（耐溫可達 150℃以上）。鈦合金醫用植入物的陽極氧化，提升生物相容性。

4.汽車工業：鋁合金輪轂、發動機零件的陽極氧化，兼顧防腐與散熱。汽車內飾件（如換擋旋鈕、裝飾條）的裝飾性氧化處理。

與其他表面處理生產線的對比

對比項                               陽極氧化線                                 電鍍線                               電泳線                     涂層性質               金屬氧化物（與基體一體）              外來金屬 / 合金鍍層              有機樹脂涂層（非金屬）     結合力                  化學鍵結合（強）                          機械 / 冶金結合                  物理吸附 + 化學鍵結合   主要材料                鋁、鎂、鈦等輕金屬                 鋼鐵、銅、塑料（導電化后）      金屬、塑料（導電化后） 功能性                  側重防腐、耐磨、絕緣、裝飾               防腐、導電、貴金屬裝飾         防腐、絕緣、均勻覆蓋 連續鍍設備針對鋼帶、銅線等帶狀材料，通過自動化傳輸實現高速電鍍，常見于電子線路板鍍錫。

龍門自動線的特點

高精度定位

伺服系統+光柵尺反饋，確保工件浸鍍位置誤差＜1mm適用于精密電子接插件、汽車精密部件等對鍍層均勻性要求高的場景（厚度偏差±3-5%）。

多工藝兼容性

可集成除油、酸洗、電鍍、鈍化、烘干等20+工序支持掛鍍、滾鍍（通過可切換掛具）混合生產

柔性化生產

通過編程快速切換工件類型（換型時間＜30分鐘）支持小批量多品種（如同時處理10種不同規格螺栓）

穩定性強

故障率＜0.5%（關鍵部件如電機、傳感器采用工業級防護）連續運行壽命＞10萬小時

典型應用

行業                                        應用案例                                          工藝要求                                            汽車制造                  發動機支架鍍鋅、輪轂鍍鉻                     耐鹽霧＞720小時，厚度10-15μm

電子行業                  手機接口鍍金、PCB接插件鍍鎳 鍍層         孔隙率＜5個/cm2                                          五金                   衛浴鍍銅鎳鉻三鍍層                        表面粗糙度Ra＜0.2μm 電鍍槽體的防腐內襯采用聚四氟乙烯（PTFE），耐受強酸堿與高溫，延長設備使用壽命 30% 以上。掛鍍電鍍設備發展

刷鍍設備通過手持導電筆局部涂覆電解液，適用于機械零件磨損修復或特殊形狀工件的局部電鍍。國產電鍍設備發展

電泳生產線的特點

1.高效均勻

涂層厚度可控（通常 5~30μm），且無論工件形狀多復雜（如內腔、焊縫），均可通過電場均勻覆蓋，尤其適合結構復雜的工件（如汽車車身）。

2.環保節能

電泳漆以水為溶劑，VOC（揮發性有機物）排放低，符合環保要求；電能和涂料利用率高，浪費少。

3.高防腐性

陰極電泳涂層具有優異的耐腐蝕性，是汽車車身防腐的工藝（如汽車底漆耐鹽霧測試可達 1000 小時以上）。

4.自動化程度高

從工件上線到涂層固化全流程自動化，減少人工干預，提高生產效率和一致性。

5.適用范圍廣

適合批量生產，工件材質包括金屬（鋼鐵、鋁、鋅合金等）、塑料（需導電處理）等。 國產電鍍設備發展