全自動磷化線工作流程

1.前處理：晶圓清洗、去氧化層、活化表面。

2.裝載：將晶圓固定于旋轉載具，浸入鍍液。

3.電鍍：

施加電流，金屬離子在晶圓表面還原沉積。

旋轉載具確保鍍液流動均勻，消除厚度差異。

4.后處理：鍍層退火、清洗、干燥。

技術特點

1.高均勻性：

旋轉+噴淋設計減少“邊緣增厚”現象，鍍層均勻性達±5%以內。

2.精密控制：電流密度精度：±1 mA/cm2；溫度波動：±0.5℃。

3.潔凈度保障：設備內建HEPA過濾系統，滿足Class 1000以下潔凈環境。

4.高效生產：支持多片晶圓同時處理（如6片/批次），UPH（每小時產量）可達50~100片。

應用場景

1.先進封裝：2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金屬化（鍍銀、鍍鎳）。

3.傳感器與MEMS：微結構表面鍍金，提升電氣性能與可靠性。 懸掛傳輸設備以鏈條或龍門架為載體，實現工件在各槽體間自動轉移，減少人工干預并提高生產節奏。上海環保型電鍍設備

電鍍設備如何分類？

根據工藝類型和應用場景的不同，可分為以下幾大類：

一、傳統濕法電鍍設備

1. 前處理設備

清洗設備

酸洗/堿洗槽

電解脫脂設備

2.電鍍槽

鍍槽主體：耐酸堿材質的槽體

加熱/冷卻系統：控制電鍍液溫度

攪拌裝置：機械攪拌、空氣攪拌或磁力攪拌

3.電源與控制系統

整流器：提供直流電源，控制電流密度和電壓

自動化控制：PLC或觸摸屏系統

4. 后處理設備

水洗槽：

烘干設備

拋光設備

5. 環保與輔助設備

廢水處理系統：中和池、沉淀池、膜過濾設備

廢氣處理設備：酸霧吸收塔、活性炭吸附裝置

二、其他電鍍設備

1. 連續電鍍設備

滾鍍機：用于小件批量電鍍（如螺絲、紐扣）

掛鍍線：自動懸掛輸送系統，適合大件（如汽車零件）連續電鍍

2. 選擇性電鍍設備

筆式電鍍工具

3. 化學鍍設備

無電解鍍槽：無需外接電源，通過化學反應沉積金屬（如化學鍍鎳、鍍銅）

三、設備選型與應用場景

電鍍類型                                              典型設備                                                    應用領域                      裝飾性電鍍 （鍍鉻、鍍金）     掛鍍線、拋光機、真空鍍膜機                      珠寶、衛浴五金、汽車裝飾件        功能性電鍍（鍍鎳、鍍鋅）      滾鍍機、脈沖電源、廢水處理系統      機械零件防腐、電子元件導電層            高精度電鍍                               水平電鍍線、化學鍍設備               印刷電路板微孔金屬化                           耐磨/耐高溫鍍層                            PVD/CVD設備、離子鍍系統           刀具涂層、航空發動機葉片 江蘇高速電鍍設備后處理電鍍設備包含鈍化槽與干燥箱，前者增強鍍層耐腐蝕性，后者快速去除水分防止白斑。

被動元器件與電鍍設備的應用案例：

案例1：MLCC端電極電鍍

           流程：陶瓷燒結→端面研磨→濺射鎳層→電鍍銅/錫層→激光切割分粒。

          設備：濺射鍍膜機+滾鍍線，確保端電極導電性與焊接性。

案例2：薄膜電阻調阻后電鍍

          流程：氧化鋁基板→濺射鎳鉻電阻膜→激光調阻→電鍍鎳/錫保護層。

           作用：電鍍層防止調阻后的敏感膜層氧化，并提升端面焊接性能。

案例3：功率電感引腳鍍錫

           流程：磁芯繞線→引腳焊接→電鍍純錫→熱風整平。

          目標：降低接觸電阻，適應大電流場景。

陽極氧化線的特點

1.膜層與基體一體化：氧化膜為金屬自身氧化物，結合力遠超電鍍或噴涂的外來涂層，不易脫落。

2.功能可定制化：

防腐：致密膜層隔絕腐蝕介質，鋁陽極氧化膜耐鹽霧可達 500 小時以上。

耐磨：硬質陽極氧化膜（厚度 50~200μm）硬度接近陶瓷，適用于活塞、齒輪等機械部件。

裝飾：通過染色或電解著色實現多樣化外觀（如手機殼、建筑鋁型材）。

絕緣 / 散熱：高電阻率膜層用于電器絕緣，多孔結構可提升散熱效率（如 LED 燈具）。

3.環保特性：傳統鉻酸工藝含重金屬，需配套廢水處理；現代主流為硫酸陽極氧化 + 無鉻封孔，環保性提升。4.材料適應性：主要針對鋁、鎂、鈦等輕金屬，鋼鐵等材料因氧化膜疏松少用。 掛鍍導電裝置采用磷銅合金掛具，表面鍍硬鉻增強導電性，減少接觸電阻導致的鍍層不均問題。

全自動磷化線

一種用于金屬表面處理的自動化生產線，通過化學磷化工藝在金屬表面形成一層磷酸鹽轉化膜，以提升金屬的耐腐蝕性、涂裝附著力和潤滑性能

一、基本概念

1.磷化（Phosphating）是一種化學表面處理技術，利用磷酸鹽溶液與金屬（如鋼鐵、鋅、鋁等）發生反應，生成一層致密的磷酸鹽晶體膜（如磷酸鐵、磷酸鋅）

功能：防銹、增強涂層附著力、減少摩擦、延長金屬壽命

2.全自動磷化線通過自動化設備實現磷化工藝全流程無人化操作，覆蓋預處理、磷化、后處理等環節。

二、組成

1.預處理單元

脫脂槽：去除金屬表面油污

酸洗槽：氧化皮和銹跡

水洗槽：沖洗殘留化學藥劑

2.磷化處理單元

磷化槽：主反應區，金屬浸泡或噴淋磷化液，生成轉化膜

溫度與濃度控制：通過傳感器和自動加藥系統維持工藝參數穩定

3.后處理單元

封閉/鈍化槽：增強磷化膜耐腐蝕性

烘干系統：熱風或紅外烘干，避免水痕殘留

4.自動化系統

輸送裝置：傳送帶、機械臂或懸掛鏈，精細控制工件移動

PLC控制：集成溫控、液位監測、流程時序管理

數據監控：實時記錄工藝參數，支持遠程操作與故障診斷

三、工作流程

上料 → 脫脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表調（調整表面活性）→ 磷化 → 水洗 → 鈍化 → 烘干 → 下料。

無氰電鍍設備配套活化劑與絡合劑，替代傳統含氰工藝，在保障鍍層質量的同時提升安全性。上海環保型電鍍設備

廢氣處理設備配套槽邊吸氣罩與洗滌塔，中和電鍍過程中揮發的酸堿廢氣，符合環保排放要求。上海環保型電鍍設備

電鍍設備的組成

1.電解電源系統

提供穩定直流電，通常采用高頻開關電源或硅整流器，電壓范圍0-24V，電流可調至數千安培，滿足不同鍍種需求。

2.電解槽體結構

耐腐蝕材質槽體（如PP/CPVC/PVDF），尺寸設計依據生產需求，典型容積0.5-10m3，配置防滲漏雙層結構。

3.電極系統

陽極組件：可溶性金屬（如鎳板）或不溶性陽極（鈦籃+金屬球），配置陽極袋防止雜質擴散

陰極掛具：定制化設計，確保工件均勻受鍍，接觸電阻＜0.1Ω

4.工藝控制系統

溫控精度±1℃，流量控制誤差＜5%

在線pH監測（±0.1精度）

安培小時計控制鍍層厚度

設備分類與技術參數

類型                    適用場景                  產能(㎡/h)              厚度均勻性                 典型配置

掛鍍線                精密零部件                   0.5-2                     ±5%                    多工位龍門架，PLC控制        滾鍍系統            小件批量處理                  3-8                      ±15%                    六角滾筒，變頻驅動          連續電鍍線           帶材/線材                     10-30                     ±8%                    張力控制+多槽串聯          選擇性電鍍             局部強化                   0.1-0.5                   ±3%                   數控噴射裝置，微區控制 上海環保型電鍍設備