半導體掛鍍設備

1.基本原理與結構

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質，配備溫控、循環過濾系統，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設計適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動化傳輸：機械臂自動上下料，減少人工污染風險

控制系統：PLC/計算機實時調控電流密度、電鍍時間、pH值等參數

2. 關鍵技術優勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術（如ECP），減少邊緣效應，實現亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監測，降低孔洞、結節等缺陷

高產能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導線，替代傳統鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導電通道，實現芯片堆疊

先進封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實現芯片I/O端口的重新布局

總結

半導體掛鍍設備通過精密電化學控制與自動化技術，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關聯芯片的導電性、散熱及良率 鍍鉻設備配置鉛銻合金陽極與陽極袋，過濾陽極泥渣，防止雜質污染鍍液，維持硬鉻鍍層高硬度。加工電鍍設備價格

滾掛一體電鍍實驗設備的特點

是一種用于電鍍實驗的專業裝置，它融合了滾鍍和掛鍍兩種電鍍方式于一體。

該設備通常由鍍槽、滾桶、掛具、電源系統、攪拌裝置、溫控系統等部分組成。在進行電鍍實驗時，既可以將小型零件放入滾桶中進行滾鍍，使零件在滾動過程中均勻地鍍上金屬層；也可以通過掛具將較大或形狀特殊的零件懸掛在鍍槽中進行掛鍍，以滿足不同類型零件的電鍍需求。這種設備具有功能多樣、操作靈活、占地面積小等優點，能夠為電鍍工藝的研究和開發提供便利，幫助科研人員和技術人員更好地掌握電鍍技術，優化電鍍參數，提高電鍍質量。 新能源電鍍設備產業鍍銅設備的陽極磷銅板定期活化處理，維持表面活性，穩定銅離子濃度，保障鍍層沉積速率。

超聲波清洗設備在精密電鍍中的應用：

超聲波清洗機通過高頻振動提升前處理效果。設備采用28kHz與40kHz雙頻組合技術，既能去除大面積油污，又能深入盲孔和微縫隙清潔。精密模具廠在鍍前處理中引入超聲波清洗，使鍍層結合力從3N/cm提升至5N/cm，漏鍍率下降70%。設備配備循環過濾系統，將清洗液中固體顆粒控制在5μm以下，延長藥液使用壽命。在貴金屬電鍍中，超聲波輔助化學除油可減少50%的氫氧化鈉用量，降低廢水處理負荷。通過優化清洗時間和功率參數，該設備適用于手機外殼、航空緊固件等高精度工件的預處理。

龍門自動線的特點

高精度定位

伺服系統+光柵尺反饋，確保工件浸鍍位置誤差＜1mm適用于精密電子接插件、汽車精密部件等對鍍層均勻性要求高的場景（厚度偏差±3-5%）。

多工藝兼容性

可集成除油、酸洗、電鍍、鈍化、烘干等20+工序支持掛鍍、滾鍍（通過可切換掛具）混合生產

柔性化生產

通過編程快速切換工件類型（換型時間＜30分鐘）支持小批量多品種（如同時處理10種不同規格螺栓）

穩定性強

故障率＜0.5%（關鍵部件如電機、傳感器采用工業級防護）連續運行壽命＞10萬小時

典型應用

行業                                        應用案例                                          工藝要求                                            汽車制造                  發動機支架鍍鋅、輪轂鍍鉻                     耐鹽霧＞720小時，厚度10-15μm

電子行業                  手機接口鍍金、PCB接插件鍍鎳 鍍層         孔隙率＜5個/cm2                                          五金                   衛浴鍍銅鎳鉻三鍍層                        表面粗糙度Ra＜0.2μm 攪拌設備通過空氣鼓泡或機械槳葉驅動電解液流動，避免濃度分層，提升鍍層均勻性與沉積效率。

滾鍍機的工作原理

將小工件裝入帶孔的滾筒（聚氯乙烯或不銹鋼材質），滾筒浸入電解液后緩慢旋轉（5~15 轉 / 分鐘），通過滾筒壁的孔洞使電解液流通，同時工件在滾筒內翻滾，確保鍍層均勻附著。

優勢：

高效率：單次可處理數千件小工件，產能遠超掛鍍（適合單件或少量）。

低成本：減少人工掛卸成本，滾筒導電桿統一通電，能耗相對較低。

均勻性：工件在滾筒內動態接觸電解液，避免屏蔽效應（掛鍍中工件相互遮擋導致鍍層不均）。

與生產線其他環節的配合

前處理：需先通過除油、酸洗去除工件表面油污和氧化皮，否則影響鍍層結合力（滾鍍機不具備前處理功能，依賴生產線前段設備）。

后處理：滾鍍完成后，工件隨滾筒吊出，進入水洗槽、鈍化槽或封閉槽（如鍍鋅后的藍白鈍化），終干燥（生產線后段設備完成）。

自動化控制：滾鍍機的轉速、電鍍時間、電流電壓等參數由生產線 PLC 系統統一控制，與傳輸裝置（如行車）聯動，實現 “上料→前處理→滾鍍→后處理→下料” 全流程自動化。 安全防護設備包括防腐內襯、漏電保護裝置及應急沖洗設施，降低藥液泄漏與觸電風險。浙江醫療器材電鍍設備

滾鍍機滾筒采用聚氯乙烯材質打孔設計，確保電解液流通，配合變頻電機調節轉速，保障小件鍍層均勻。加工電鍍設備價格

如何選購適合的電鍍設備：

一、明確需求鍍種與工藝

確定需處理的材料（金屬、塑料等）及目標鍍層（鍍鋅、鍍鎳、鍍鉻、貴金屬等）。

選擇對應工藝：掛鍍（適合大件）、滾鍍（適合小件）、連續電鍍（線材/帶材）或脈沖電鍍（高精度需求）。

產能規劃：估算日均產量（如1000件/天）及未來擴展需求，避免設備超負荷或閑置。

產品特性：若涉及精密零件（如電子接插件）、復雜形狀件（如汽車輪轂），需設備具備高均勻性鍍層能力。

二、評估設備技術參數

電源系統

整流器穩定性（波紋系數＜5%）和調節精度（如0-500A可調），直接影響鍍層質量。

節能型高頻電源比傳統硅整流器省電20%-30%。

槽體設計材質耐腐蝕性：PP、PVC或鈦合金槽體，適應強酸/強堿環境。

槽液循環過濾系統：確保鍍液清潔度，減少雜質導致的鍍層缺陷。自動化程度手動設備（低成本，適合小批量）VS全自動線（機械臂上下料+PLC控制，適合大批量）。

智能監控功能：實時監測溫度、pH值、電流密度，自動報警并調節。 加工電鍍設備價格