無(wú)錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司2025-08-14

光刻膠對(duì)溫度很靈敏，少量溫度變化對(duì)先進(jìn)制程的光刻膠膜厚影響較大。熱處理模塊中的熱板需嚴(yán)格確保溫度加熱的均勻性，并對(duì)升溫過(guò)程的精確度提出高標(biāo)準(zhǔn)要求，保證光刻工藝質(zhì)量。?

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