深圳市神州天柱科技有限公司2025-04-05

無論是大氣(常壓)等離子清洗機，還是真空(低壓)等離子清洗機，在對材料進行表面改性的時候都會通入工藝氣體，如無水無油的干凈壓縮空氣，有一定純度要求的氮氣、氧氣、氬氣等等離子清洗機中通入的普通工藝氣體要想轉化為等離子體，每個粒子大約需要：：（1~30eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，其中的粒子具有較高的活性和能量密度。 　　但要注意的是，電離的氣體不一定是就是等離子體，雖然等離子體和普通氣體存在一些共同特點，如它們均滿足氣體狀態方程，但它們卻有截然不同的性質， 　　PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz(1%)，輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等)，對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

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