在微電子與光電子集成中，薄膜的形成方法主要有兩大類，及沉積和外延生長。沉積技術分為物理沉積、化學沉積和混合方法沉積。蒸發沉積（熱蒸發、電子束蒸發）和濺射沉積是典型的物理方法；化學氣相沉積是典型的化學方法；等離子體增強化學氣相沉積是物理與化學方法相結合的混合方法。薄膜沉積過程，通常生成的是非晶膜和多晶膜，沉積部位和晶態結構都是隨機的，而沒有固定的晶態結構。外延生長實質上是材料科學的薄膜加工方法，其含義是：在一個單晶的襯底上，定向地生長出與基底晶態結構相同或相似的晶態薄層。其他薄膜成膜方法，如電化學沉積、脈沖激光沉積法、溶膠凝膠法、自組裝法等，也都普遍用于微納制作工藝中。微納加工技術的特點：多樣化。中山MEMS微納加工工廠

微流控芯片是在普通毛細管電泳的基本原理和技術的基礎上，利用微加工技術在硅、石英、玻璃或高分子聚合物基質材料上加工出各種微細結構，如管道、反應池、電極之類的功能單元，完成生物和化學等領域中所涉及的樣品制備、生化反應、處理（混合、過濾、稀釋）、分離檢測等一系列任務，具有快速、高效、低耗、分析過程自動化和應用范圍廣等特點的微型分析實驗裝置。目前已成為微全分析系統（micrototalanalysissystems,μ-TAS）和芯片實驗室（labonachip）的發展重點和前沿領域。為常見的聚合物微流控芯片形式。近年來，由于生化分析的復雜性和多樣性需求，微流控芯片技術的發展愈發趨于組合化和集成化，在一塊芯片基片上集成多種功能單元成為一種常見形式，普遍應用于醫學診斷、醫學分析、藥物篩選、環境監測和燃料電池技術等諸多領域。基于高通量快速分離的需要，多通道陣列并行操作是微流控芯片的發展的趨勢，芯片微通道數量已從較初的12通道、96通道，發展到現在的384通道。重慶鍍膜微納加工外協大部份的濕刻蝕液均是各向同性的，換言之，對刻蝕接觸點之任何方向腐蝕速度并無明顯差異。

通過在聚合物表面構造微納米尺度結構及其陣列，可以得到聚合物微納結構制件，不同種類的微納結構賦予聚合物制件許多特殊的功能。如具有微槽流道的微流控生物芯片；具有微納透鏡陣列的光學元件，如導光板、偏光板等；具有仿生微結構的疏水薄膜以及具有高深寬比V槽結構的微結構換熱器等。上述微結構制件在生物醫學分析、藥物開發、無痛給藥、微反應過程、LCD顯示器關鍵光學材料、高效換熱等場合發揮了重要的作用。隨著聚合物成型方法的不斷成熟與發展，聚合物微結構器件的種類和應用范圍也隨之豐富與擴大。

基于掩模板圖形傳遞的光刻工藝可制作宏觀尺寸的微細結構，受光學衍射的極限，*適用于微米以上尺度的微細結構制作，部分優化的光刻工藝可能具有亞微米的加工能力。例如，接觸式光刻的分辨率可能到達0.5μm，采用深紫外曝光光源可能實現0.1μm。但利用這種光刻技術實現宏觀面積的納米/亞微米圖形結構的制作是可欲而不可求的。近年來，國內外比較多學者相繼提出了超衍射極限光刻技術、周期減小光刻技術等，力求通過曝光光刻技術實現大面積的亞微米結構制作，但這類新型的光刻技術尚處于實驗室研究階段。微納加工按技術分類，主要分為平面工藝、探針工藝、模型工藝。

聚合物等溫微納米熱壓印技術同時適用于結晶型聚合物和非晶型聚合物，研究人員分別選用PP和PMMA作為兩類聚合物的象征，對較優加工工藝及其內在成型機理展開探索。結果表明，對PMMA等非晶型聚合物而言，模具溫度設定在Tg附近即可獲得成型效果優異的微納結構制品；在加工PP等結晶型聚合物時，模具溫度則應設置在Tm以下40~60℃的溫度區間內。利用聚合物等溫微納米熱壓印技術制得的微納結構制品結構穩定，微納結構一致性高且成型效率高。目前，聚合物等溫微納米壓印方法的相關中心技術已申請國家發明專利和PCT國際專利。相信在全球范圍內的微納制造技術研發大潮中，聚合物等溫微納米熱壓印技術的出現會為研究人員提供新的靈感和動力。微納制造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件。天津鍍膜微納加工廠商

微納加工技術能突顯一個國家工業發展水平。中山MEMS微納加工工廠

汽車電子、互聯網應用產品、移動通信、智慧家庭、5G、消費電子產品等領域成為中國電子元器件市場發展的源源不斷的動力，帶動了電子元器件的市場需求，也加快電子元器件更迭換代的速度，從下游需求層面來看，電子元器件市場的發展前景極為可觀。當前國內微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務行業發展迅速，我國 5G 產業發展已走在世界前列，但在整體產業鏈布局方面，我國企業主要處于產業鏈的中下游。在產業鏈上游，尤其是微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務和器件等重點環節，技術和產業發展水平遠遠落后于國外。我國也在這方面很看重，技術，意在擺脫我國元器件受國外****企業間的不確定因素影響。我國和電子元器件的專業人員不懈努力，終于獲得了回報！電子元器件幾乎覆蓋了我們生活的各個方面，既包括電力、機械、交通、化工等傳統工業，也涵蓋航天、激光、通信、機器人、新能源等新興產業。據統計，目前，我國電子元器件加工產業總產值已占電子信息行業的五分之一，是我國電子信息行業發展的根本。中山MEMS微納加工工廠