主營產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
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晶圓鍵合賦能紅外成像主要組件升級。鍺硅異質(zhì)界面光學(xué)匹配層實現(xiàn)3-14μm寬波段增透,透過率突破理論極限達(dá)99%。真空密封腔體抑制熱噪聲,噪聲...
晶圓鍵合定義智能嗅覺新榜樣。64通道MOF傳感陣列識別1000種氣味,肺病呼氣篩查準(zhǔn)確率98%。石油化工應(yīng)用中預(yù)警硫化氫泄漏,響應(yīng)速度快...
電子束曝光推動基因測序進(jìn)入單分子時代,在氮化硅膜制造原子級精孔。量子隧穿電流檢測實現(xiàn)DNA堿基直接識別,測序精度99.999%。快速測序芯片...
電子束曝光中的新型抗蝕劑如金屬氧化物(氧化鉿)正面臨性能挑戰(zhàn)。其高刻蝕選擇比(硅:100:1)但靈敏度為10mC/cm2。研究通過鈰摻雜和預(yù)...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,致力于打造公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),同時形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。