研究所將晶圓鍵合技術與微納加工工藝相結合，探索在先進半導體器件中的創新應用。在微納傳感器的制備研究中，團隊通過晶圓鍵合技術實現不同功能層的精確疊加，構建復雜的三維器件結構。利用微納加工平臺的精密光刻與刻蝕設備，可在鍵合后的晶圓上進行精細圖案加工，確保器件結構的精度要求。實驗數據顯示，鍵合工藝的引入能簡化多層結構的制備流程，同時提升層間連接的可靠性。這些研究不僅豐富了微納器件的制備手段，也為晶圓鍵合技術開辟了新的應用方向，相關成果已在學術交流中進行分享。晶圓鍵合實現多通道仿生嗅覺系統的高密度功能單元集成。貴州硅熔融晶圓鍵合加工工廠

晶圓鍵合突破振動能量采集極限。鋯鈦酸鉛-硅懸臂梁陣列捕獲人體步行動能，轉換效率35%。心臟起搏器應用中實現終生免更換電源，臨床測試10年功率衰減<3%?？绾４髽虮O測系統自供電節點覆蓋50公里，預警結構形變誤差±0.1mm。電磁-壓電混合結構適應0.1-200Hz寬頻振動，為工業物聯網提供無源感知方案。晶圓鍵合催化光電神經形態計算。二硫化鉬-氧化鉿異質突觸模擬人腦脈沖學習，識別MNIST數據集準確率99.3%。能效比GPU提升萬倍，安防攝像頭實現毫秒級危險行為預警。存算一體架構支持自動駕駛實時決策，碰撞規避成功率99.97%。光脈沖調控權重特性消除馮諾依曼瓶頸，為類腦計算提供物理載體。廣州共晶晶圓鍵合實驗室科研團隊嘗試將晶圓鍵合技術融入半導體器件封裝的中試流程體系。

晶圓鍵合定義智能嗅覺新榜樣。64通道MOF傳感陣列識別1000種氣味，肺病呼氣篩查準確率98%。石油化工應用中預警硫化氫泄漏，響應速度快于傳統探測器60秒。深度學習算法實現食品等級判定，超市損耗率降低32%。自清潔結構消除氣味殘留，為智能家居提供主要感知模塊。晶圓鍵合實現核電池安全功能。鋯合金-金剛石屏蔽體輻射泄漏量<1μSv/h，達到天然本底水平。北極科考站應用中實現-60℃連續供電，鋰電池替換周期延長至15年。深海探測器"奮斗者"號搭載運行10909米，保障8K視頻實時傳輸。模塊化堆疊使功率密度達500W/L，為月球基地提供主要能源。

該研究所將晶圓鍵合技術與半導體材料回收再利用的需求相結合，探索其在晶圓減薄與剝離工藝中的應用。在實驗中，通過鍵合技術將待處理晶圓與臨時襯底結合，為后續的減薄過程提供支撐，處理完成后再通過特定工藝實現兩者的分離。這種方法能有效減少晶圓在減薄過程中的破損率，提高材料的利用率。目前，在 2-6 英寸晶圓的處理中，該技術已展現出較好的適用性，材料回收利用率較傳統方法有一定提升。這些研究為半導體產業的綠色制造提供了技術支持，也拓展了晶圓鍵合技術的應用領域。

該所針對不同厚度晶圓，研究鍵合過程中壓力分布的均勻性調控方法。

在晶圓鍵合技術的實際應用中，該研究所聚焦材料適配性問題展開系統研究。針對第三代半導體與傳統硅材料的鍵合需求，科研人員通過對比不同表面活化方法，分析鍵合界面的元素擴散情況。依托微納加工平臺的精密設備，團隊能夠精確控制鍵合過程中的溫度梯度，減少因熱膨脹系數差異導致的界面缺陷。目前，在 2 英寸與 6 英寸晶圓的異質鍵合實驗中，已初步掌握界面應力的調控規律，鍵合強度的穩定性較前期有明顯提升。這些研究不僅為中試生產提供技術參考，也為拓展晶圓鍵合的應用場景積累了數據。晶圓鍵合推動高效水處理微等離子體發生器的電極結構創新。廣州共晶晶圓鍵合實驗室

晶圓鍵合推動磁存儲器實現高密度低功耗集成。貴州硅熔融晶圓鍵合加工工廠

針對晶圓鍵合過程中的表面預處理環節，科研團隊進行了系統研究，分析不同清潔方法對鍵合效果的影響。通過對比等離子體清洗、化學腐蝕等方式，觀察晶圓表面的粗糙度與污染物殘留情況，發現適當的表面活化處理能明顯提升鍵合界面的結合強度。在實驗中，利用原子力顯微鏡可精確測量處理后的表面形貌，為優化預處理參數提供量化依據。研究還發現，表面預處理的均勻性對大面積晶圓鍵合尤為重要，團隊據此改進了預處理設備的參數分布，使 6 英寸晶圓表面的活化程度更趨一致。這些細節上的優化，為提升晶圓鍵合的整體質量奠定了基礎。貴州硅熔融晶圓鍵合加工工廠