極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統。運行中的溫度、濕度等關鍵數據自動生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環境變化情況；數據自動保存且可隨時導出，運行狀態與故障狀態同步記錄，方便進行數據分析、質量追溯與故障排查。自動安全保護系統更是為設備的穩定運行提供了全天候保障，一旦出現異常，系統將立即啟動保護機制，減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環境控制技術，為晶圓操作空間樹立了新的行業標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發提供了堅實的保障。隨著半導體技術的不斷發展，對晶圓操作環境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產業發展中發揮更加重要的作用，助力我國半導體產業邁向新的高度。半導體生產過程中使用的許多材料對濕度也非常敏感。例如，光刻膠在高濕環境下容易吸濕，影響其固化效果。極測（南京）精密溫控平臺

極測（南京）技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業領域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專長，同時匯聚了30多名擁有15年以上經驗的行業前列工程師，致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發等領域提供定制化的高精密環境解決方案，現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業與國家重點實驗室，應用于眾多科研與生產場景，科學技術成果認定為國際先進水平。目前，高精密環境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環境參數及使用需求，持續領跑超高精密環控技術革新。吉林精密溫控場景我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環境配套系統。

三坐標測量儀通過探針接觸或非接觸式光學掃描等方式，對工件的尺寸、形狀和位置進行精確測量。在測量過程中，環境溫度的細微變化會引發測量儀自身結構以及被測工件的熱脹冷縮。例如，當溫度波動 1℃時，對于長度為 1 米的金屬工件，其長度變化可達 10 微米左右，這在高精度測量中是不容忽視的誤差來源。這種熱變形不僅會影響測量儀的測量精度，還可能導致測量結果的重復性變差，使生產過程中的質量檢測出現偏差，進而影響產品的蕞終質量和性能。

極測（南京）高精密水冷冷凍水機組的 “數字引擎”PT100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎控溫鏈路，控溫精度達 ±0.1℃~±0.01℃；高精密逐級控溫專利設計（如分級制冷回路）進一步細化控制層級，部分機型引入自適應模糊控制算法，在激光加工、醫療設備等復雜場景中，將精密水冷冷凍水機組的控溫精度提升至±0.001℃（毫 K 級）。
精密水冷冷凍水機組采用板式換熱器，其微通道結構與波紋板片設計使傳熱系數提升 20%~40%，同時具備體積緊湊、易維護等優勢；不銹鋼 / 銅材質增強耐腐蝕性，適配半導體、醫療等行業對水質與潔凈度的高要求；環保冷媒 R410A 的應用，更契合全球綠色制造趨勢。
靜謐運行：應用 EC 風機與高效隔音材料，運行噪音低于 45dB，避免噪音對精密操作產生干擾。

在半導體制造領域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測的關鍵環節，半導體量測設備（如電子顯微鏡、膜厚測量儀、OCD量測等）自身對運行環境的要求也極為苛刻。環境的細微波動，都會引入測量誤差。 除整體環境外，半導體量測設備通常配備高精度光學成像器件（廣義上的“照相機”），其中光源，電子控制單元，運動部件等都有可能產生局部發熱源，蕞終影響環境的穩定性，以及晶圓表面溫度穩定性。極測（南京）技術有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環境控制領域的深厚技術積累，專為高duan半導體量測設備設計精密環控系統，做好設備配套。系統由設備主柜體（設備維護結構模塊）、潔凈過濾系統、局部氣浴、控制系統、氣流循環系統、制冷(熱)系統等組成。通過整體環境溫度的精密調控，以及針對局部發熱點進行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等，為半導體檢測設備打造精密穩定，恒溫潔凈的運行環境。通過整體環境溫度的精密調控，以及針對局部發熱點進行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等。微電子精密溫控解決方案

極測精密溫控設備已成為半導體企業、典型通信設備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級實驗室的合作伙伴。極測（南京）精密溫控平臺

超高潔凈環境保障：系統可實現蕞高ISO Class 1級的潔凈環境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個），這一潔凈級別極大降低了因顆粒物導致的鍵合缺陷風險。
濕度與壓力協同控制：除了溫控精度與潔凈度，系統蕞高能將濕度穩定性維持在±0.3%RH，壓力波動控制在±3Pa以內。這種多參數協同控制能力，為鍵合工藝提供了全方wei、全時段的穩定環境保障。 極測（南京）精密溫控平臺