合理的箱體結構有助于提升精密環控設備溫濕度的均勻性和控制效果,例如雙層保溫結構、優化風道設計等,能增強精密環控設備的保溫性能和控制精度。精密環控設備的外殼和內部材質應具備良好的耐磨性,部分還需要優良的保溫性能,以延長精密環控設備的使用壽命。極測的精密環控柜采用合理的柜體結構設計,主柜體為內部精密組件提供穩固物理空間,同時采用可拆卸鋁合金框架,方便大型設備在不同科研場所進行現場組裝,其箱體采用的高質量鈑金材質堅固耐用。 極測精密溫控設備已成為半導體企業、典型通信設備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級實驗室的合作伙伴。寧夏拓展科技精密溫控

毫開爾文級控制:精密溫控設備采用閉環氣流循環系統,通過EC風機驅動氣流以精密算法規劃的路徑均勻覆蓋設備內部,實現關鍵區域溫度波動控制在±2mK(靜態),溫度均勻性<16mK/m
動態響應機制:自主研發的高精密控溫技術實現0.1%的控制輸出精度,精密溫控設備對外界環境變化實現毫秒級響應
潔凈度標準:讓塵埃無處遁形超越傳統的潔凈標準:精密溫控設備通過多層高效粒子過濾器與動態氣流管理,工作區潔凈度達ISOClass3標準及以上,遠超傳統實驗室的ISOClass5標準
微粒攔截:精密溫控設備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒,杜絕因微粒污染導致的集成電路短路或光學傳感器失效智能生態:看得見的穩定,可追溯的精zhun
環境“心電圖”:精密溫控設備智能監控系統自動生成帶時間戳的溫濕度曲線報告,支持一鍵導出,滿足ISO17025等國際標準對數據完整性的要求
靜音護航:精密溫控設備采用EC風機與高效隔音材質,運行噪音<45dB,營造舒適工作環境
靈活架構:按需定制的環境解決方案模塊化設計:精密溫控設備采用可拆卸鋁合金框架結構,支持大型設備現場組裝,突破空間限制
按需定制:從溫濕度穩定性、潔凈度等級到抗微振、防磁、隔音性能,提供全場景非標定制服務 廣東半導體精密溫控極測(南京)憑借其自主研發的精密環控系統,為鍵合設備提供了超穩定的運行環境,成為突破工藝的關鍵支撐。

高精密環控柜由我司自主研發,是一款精密環境控制產品,可實現ISOClass1-6級潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標定制能力,能針對用戶的個性化需求(如溫濕度穩定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等)提供解決方案。設備運行數據實時記錄查詢,且配備自動安全保護系統,確保長時間運行無憂。其構成部分包括設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統、局部氣浴等,主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環境。濕度控制采用 “外環境保證相對濕度、大環境穩定絕dui含濕量” 的方式,通過精確控溫實現環境倉內部濕度穩定。為達成溫濕度及潔凈度要求,采用大風量小溫差設計,通過空氣快速循環過濾帶走余熱,使溫度波動保持在極低數值(關鍵區域 ±0.002℃);并通過多級控溫(先經表冷盤降溫,再由多級電加熱逐步升溫),將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。
在半導體制造領域,每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測的關鍵環節,半導體量測設備(如電子顯微鏡、膜厚測量儀、OCD量測等)自身對運行環境的要求也極為苛刻。環境的細微波動,都會引入測量誤差。 除整體環境外,半導體量測設備通常配備高精度光學成像器件(廣義上的“照相機”),其中光源,電子控制單元,運動部件等都有可能產生局部發熱源,蕞終影響環境的穩定性,以及晶圓表面溫度穩定性。極測(南京)技術有限公司深刻理解這一需求,憑借在微環境控制領域的深厚技術積累,專為高duan半導體量測設備設計精密環控系統,做好設備配套。系統由設備主柜體(設備維護結構模塊)、潔凈過濾系統、局部氣浴、控制系統、氣流循環系統、制冷(熱)系統等組成。通過整體環境溫度的精密調控,以及針對局部發熱點進行局部氣浴,配套控制潔凈度及減振處理等,為半導體檢測設備打造精密穩定,恒溫潔凈的運行環境。極測(南京)致力于為芯片半導體、電子信息、光學儀器、精密制造、新能源等行業提供高精密環境解決方案。

半導體制造:光刻工藝的“守護神”在芯片光刻環節,溫度波動Jin0.1℃就足以導致光學元件熱變形,造成曝光位置漂移。極測精密溫控設備提供的±0.002℃恒溫環境,使光刻機光學系統保持穩定,直接提升芯片良品率。在蝕刻工藝中,溫濕度波動可能引發刻蝕過度或不足。精密溫控設備提供的穩定環境保障了刻蝕速率的均勻性,確保芯片電路完整性。航空航天:微米級精度的幕后功臣航空發動機渦輪葉片加工中,0.05℃的溫度波動可能導致機床熱變形,使葉片加工精度不達標。極測精密溫控設備維持的恒溫環境,保障了葉片曲面精度和表面質量。在航空航天材料測試環節,設備將濕度波動精確控制在±2%RH內,滿足極端嚴苛的測試要求。光學儀器:純凈與穩定的雙重保障在光學鏡片研磨中,溫度波動會導致研磨盤與鏡片材料熱膨脹系數差異,影響鏡片曲率精度。恒溫環境確保研磨精度穩定。同時,潔凈環境防止鏡片表面污染,避免后續鍍膜工序產生缺陷。新能源電池:水分與溫度的雙重管控在電極涂布工藝中,濕度變化會影響漿料水分含量,導致涂布不均勻。極測精密溫控設備提供的±0.5%RH濕度穩定性,確保電極涂布一致性。在電池組裝環節,恒溫環境避免了不同材料熱脹冷縮差異導致的密封不良問題。例如,光刻工藝中,微小的溫度波動會導致曝光位置的漂移,進而影響線路的精確度。廣東半導體精密溫控
極測(南京)專注于研發、生產和銷售高端定制化精密環控系統,目前已擁有結合全場景非標定制能力。寧夏拓展科技精密溫控
這款高精密環控柜是我司單獨研發的精密環境控制設備,可達成ISOClass1-6級潔凈度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級溫度波動控制精度。依托全場景非標定制能力,能滿足用戶在溫濕度穩定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個性化需求。設備具備運行數據實時記錄與查詢功能,并配備自動安全防護系統,確保長期穩定運行。其構成包括主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷(熱)系統、照明系統及局部氣浴等,專為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備,提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環境。該系統采用“外環境保障相對濕度、大環境穩定絕dui含濕量”的邏輯,通過精zhun控溫實現倉內濕度達標。為滿足嚴苛要求,采用大風量小溫差設計,快速循環過濾空氣并帶走余熱,使關鍵區域溫度波動低至±0.002℃;同時通過多級控溫(表冷盤降溫+多級電加熱升溫),將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。寧夏拓展科技精密溫控