打造高“溫度精度”，避免熱致誤差溫度是影響測量精度的首要因素。極測精密環控柜采用自主研發的高精度制冷/加熱控制系統，能夠實現高溫度精度和穩定性。蕞高將內部環境溫度波動控制在極小的范圍內（±2mK），確保每一次測量數據的重復性與可靠性。超凈空間，避免微粒污染除了溫控精度，潔凈度同樣至關重要。懸浮微粒一旦沉積在晶圓或設備光學鏡頭上，將造成缺陷或信號干擾。極測環控柜內部可維持蕞高ISO1級的超高潔凈環境，有效隔絕灰塵、顆粒物等污染物，為半導體量測設備提供干凈的環境，保護昂貴的光學組件和敏感樣品。智能集成，一站式環境配套我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環境配套系統。支持根據您設備的特定型號和工藝要求進行非標定制，匹配不同半導體量測設備的精密需求。設備智能管理系統提供7x24小時實時數據監控與記錄，所有環境參數一目了然，數據可追溯，為質量分析和故障排查提供堅實依據。專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法，使實驗室內溫度濕度處于穩定狀態。山西科研實驗精密溫控

合理的箱體結構有助于提升精密環控設備溫濕度的均勻性和控制效果，例如雙層保溫結構、優化風道設計等，能增強精密環控設備的保溫性能和控制精度。精密環控設備的外殼和內部材質應具備良好的耐磨性，部分還需要優良的保溫性能，以延長精密環控設備的使用壽命。極測的精密環控柜采用合理的柜體結構設計，主柜體為內部精密組件提供穩固物理空間，同時采用可拆卸鋁合金框架，方便大型設備在不同科研場所進行現場組裝，其箱體采用的高質量鈑金材質堅固耐用。  極測（南京）精密溫控系統在精密測量領域，細動誤差是一個關鍵問題，它主要由難以察覺的機械振動或外部干擾引起。

半導體制造中鍵合設備對環境要求極高，需在恒溫、恒濕、高潔凈的環境中運行，同時嚴格控制振動與靜電。這些要求旨在確保鍵合界面的材料活性穩定、設備機械精度達標，避免因溫濕度波動導致的鍵合偏差、顆粒污染引發的界面缺陷或靜電損壞芯片，從而保障微米級至亞微米級鍵合精度及產品良率與可靠性。 精密潔凈間的主柜體為內部精密組件構筑起穩固的運作空間；依托高精密控溫技術，以0.1%的精密控制輸出精度。此外，精密潔凈間設備配備的氣流循環系統，通過風機驅動氣流定向循環，結合高效潔凈過濾器，不僅能確保設備內部溫度均勻分布，更能達到百級以上的超高潔凈標準，工作區域潔凈度蕞高優于ISO class3，為半導體光刻機、鍵合設備等對環境要求嚴苛的精密儀器，打造了近乎完美的研發生產環境。

控制精度是衡量精密環控設備的關鍵指標，通常以溫度和濕度的偏差值表示，如 ±0.1℃和 ±1% RH，偏差值越小，精密環控設備的控制能力越強。極測（南京）技術有限公司的精密環控設備運用自主研發的高精密控溫技術，能達到 0.1% 的控制輸出精度。同時，精密環控設備內部的溫濕度均勻性也很重要，能確保各個位置的物品處于相同環境條件；而且在長時間運行中，精密環控設備的溫濕度控制需保持穩定，波動范圍越小越好，像極測的設備內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK（靜態），溫度水平均勻性小于 16mK/m。  適用于醫療設備生產中的冷卻需求，如激光醫療設備、低溫生物樣本儲存等，同時低噪設計可滿足醫院環境要求。

極測（南京）關鍵技術市如何適配半導體嚴苛需求的？毫 K 級控溫的技術密碼專li級 PID + 逐級控溫：通過 “超高精度工藝冷卻水系統及其恒溫控制方法” 專li，結合自主研發溫度采集模塊與多級制冷回路設計，實現對蝕刻機腔體溫度的±0.001℃級控制，例如在 EUV 光刻機中，可確保光刻膠曝光時的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強化傳熱：微通道結構與不銹鋼材質提升換熱效率 30% 以上，同時避免銅離子污染（半導體行業忌用材質），滿足晶圓制造對水質純凈度的要求。抗干擾與快速響應能力雙壓縮機冗余設計：在晶圓廠 24 小時連續生產中，單壓縮機故障時備用模塊可在快速自動切入，避免因停機導致的工藝中斷；變頻技術動態調溫：通過壓縮機變頻調節制冷量，在芯片測試環節面對多工位負載切換時，溫度恢復時間很大縮短。潔凈室內的溫度波動可能會導致晶圓材料的物理性質發生變化，影響生產精度。0.02精密溫控技術

半導體生產過程中使用的許多材料對濕度也非常敏感。例如，光刻膠在高濕環境下容易吸濕，影響其固化效果。山西科研實驗精密溫控

南京拓展科技旗下企業，極測（南京）技術有限公司憑借深厚的技術積淀，精心打造的精密溫控箱罩設備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實現潔凈度十級以上的能力，成為三坐標測量儀的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環境參數及使用需求，比如溫濕度穩定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個性化需求。現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板前列企業與國家重點實驗室，應用于眾多科研與生產場景。 在精密制造與檢測領域，三坐標測量儀作為獲取高精度尺寸數據的關鍵設備，其測量精度直接關系到產品質量與生產效率。而要確保三坐標測量儀穩定、精密地運行，精密溫控箱罩起著不可或缺的作用。山西科研實驗精密溫控