濕度穩(wěn)定性：濕度過高可能導致光學鏡片表面結露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變；濕度過低則容易產生靜電，吸附塵埃污染晶圓和設備。精確的濕度控制對確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關重要。3、chao低振動：光刻機在曝光時需要極高的穩(wěn)定性。任何來自地面（交通、施工、人員走動）、設備自身（空調、泵）或建筑物（風載荷）的振動，都會直接導致光學系統(tǒng)抖動，使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此，光刻機通常安裝在深達地下的單獨地基或高性能主動/被動隔震平臺上，甚至采用磁懸浮等技術進行主動減振。 光學儀器對溫濕度、潔凈度、抗微振等有嚴格的要求，主要源于光學儀器的高精密性和對生產環(huán)境的敏感性。電子元器件精密溫控技術

在半導體制造的精密領域，每一個細微的溫度變化，都可能對芯片的性能產生重大影響。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）作為專業(yè)的精密溫控設備供應商，其對環(huán)境溫度控制精度可達 ±0.002℃，潔凈度可達一級（優(yōu)于ISO class1），這一數據在行業(yè)內處于前列水平，為更高精度的芯片半導體制造提供了可靠的環(huán)境保障。 極測（南京）投入大量資源進行技術研發(fā)，致力于為半導體制造提供高精度、高穩(wěn)定性的溫控設備。以其成熟的技術和創(chuàng)新的解決方案，為半導體制造精度構筑起一道堅實的防線。福建精密溫控報價系統(tǒng)可實現蕞高ISO Class 1級的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個）。

高精密環(huán)控柜由我司自主研發(fā)，是一款精密環(huán)境控制產品，可實現ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標定制能力，能針對用戶的個性化需求（如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設備運行數據實時記錄查詢，且配備自動安全保護系統(tǒng)，確保長時間運行無憂。其構成部分包括設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等，主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。濕度控制采用 “外環(huán)境保證相對濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實現環(huán)境倉內部濕度穩(wěn)定。為達成溫濕度及潔凈度要求，采用大風量小溫差設計，通過空氣快速循環(huán)過濾帶走余熱，使溫度波動保持在極低數值（關鍵區(qū)域 ±0.002℃）；并通過多級控溫（先經表冷盤降溫，再由多級電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。

極測設備的智能化設計為干涉儀的穩(wěn)定運行增添強力保障：數據全流程可溯：實時記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關鍵環(huán)境參數變化曲線，數據自動存儲并支持表格導出。設備運行狀態(tài)、故障事件完整記錄，為科研數據的溯源分析、生產質量管理提供堅實、透明的依據。智能閉環(huán)監(jiān)控：內置自動安全保護系統(tǒng)，異常情況即時響應，故障自動處理機制確保設備 7x24 小時無憂運行。遠程協(xié)助功能極大縮短故障排除時間，蕞大限度保障干涉儀測量工作的連續(xù)性。
匠心靈活設計：按需定制無懼干擾靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結構，大型設備現場輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時間。堅固美觀：高質量鈑金箱體堅固耐用，外觀顏色可按需定制，完美融入現代化實驗室環(huán)境。靜謐運行：應用 EC 風機與高效隔音材料，運行噪音低于 45dB，營造安靜專注的工作氛圍，避免噪音對精密操作和干涉儀調試產生干擾。
一般來說，溫度要求在20~25℃之間，但某些精密的光學儀器可能要求更嚴格的溫度穩(wěn)定性要求，比如±0.005℃。

極測（南京）技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業(yè)領域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專長，同時匯聚了30多名擁有15年以上經驗的行業(yè)前列工程師，致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發(fā)等領域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案，現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業(yè)與國家重點實驗室，應用于眾多科研與生產場景，科學技術成果認定為國際先進水平。目前，高精密環(huán)境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數及使用需求，持續(xù)領跑超高精密環(huán)控技術革新。系統(tǒng)采用高精密控溫算法，能將設備工作區(qū)域的溫度波動控制在±0.002℃范圍內（靜態(tài)工況下可達±2mK）。2mK精密溫控供應商

極測精密環(huán)控柜采用自主研發(fā)的高精度制冷/加熱控制系統(tǒng)，能夠實現高溫度精度和穩(wěn)定性（±2mK）。電子元器件精密溫控技術

極測精密溫控箱罩配備了先進的數據實時記錄查詢功能。在三坐標測量儀運行過程中，精密溫控箱罩的溫度、濕度等關鍵環(huán)境數據自動生成曲線，操作人員可直觀地觀察到環(huán)境參數的變化趨勢。數據自動保存且可隨時以表格形式導出，同時設備的運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件也同步記錄。這不僅方便了生產過程中的質量追溯與分析，還能幫助技術人員及時發(fā)現潛在問題，優(yōu)化測量流程。一旦設備出現異常，自動安全保護系統(tǒng)迅速啟動，故障自動保護程序確保設備全天候穩(wěn)定運行，實時聲光報警提醒工作人員，并支持遠程協(xié)助故障處理，蕞大程度減少因設備故障導致的生產停滯，保障生產效率。電子元器件精密溫控技術