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半導體制造對工藝潔凈度和精度要求極高，任何微小的污染或損傷都可能導致器件失效。RPS遠程等離子源通過其低損傷特性，在清洗和刻蝕步驟中發(fā)揮重要作用。例如，在先進節(jié)點芯片的制造中，RPS遠程等離子源可用于去除光刻膠殘留或蝕刻副產物，而不會對脆弱的晶體管結構造成影響...

接觸角測量儀是一種基于表面物理化學原理，用于量化表征固體表面潤濕性能的精密檢測設備。其原理圍繞 “接觸角” 這一關鍵指標展開 —— 當液體滴落在固體表面并達到熱力學平衡時，液體表面張力、固體表面自由能與液 - 固界面張力三者相互作用，形成液體與固體表面的夾角，...

涂料行業(yè)是接觸角測量儀的重要應用領域之一，晟鼎精密接觸角測量儀通過測量涂料在基材表面的接觸角，評估涂層的潤濕性、附著力、耐水性等關鍵性能，指導涂料配方優(yōu)化與施工工藝調整，提升涂料產品質量與市場競爭力。在涂層潤濕性評估中，涂料在基材表面的接觸角直接影響涂層的鋪展...

RPS遠程等離子源應用領域已深度擴展至2.5D/3D先進封裝技術中。在硅通孔（TSV）工藝中，深硅刻蝕后會在孔內留下氟碳聚合物側壁鈍化層，必須在導電材料填充前將其完全去除，否則會導致電阻升高或互聯(lián)開路。RPS遠程等離子源利用其產生的氟捕獲劑或還原性自由基，能選...

接觸角測量儀的光學系統(tǒng)構成與測量精度保障：圖像傳感器采用 130 萬 - 500 萬像素的 CMOS 工業(yè)相機，幀率≥30fps，可實時采集接觸角圖像，且具備圖像降噪功能，減少環(huán)境光干擾導致的圖像噪聲。此外，光學系統(tǒng)還包含偏振矯正模塊，可消除樣品表面反光對圖像...

遠程等離子體源RPS腔體結構，包括進氣口，點火口，回流腔連通電離腔頂端與進氣腔靠近進氣口一側頂部，氣體由進氣口進入經過進氣腔到達電離腔，點火發(fā)生電離反應生成氬離子然后通入工藝氣體，通過出氣口排出至反應室內，部分電離氣體經回流腔流至進氣腔內，提高腔體內部電離程度...

晟鼎精密接觸角測量儀的配套軟件具備完善的數(shù)據(jù)處理與報告生成功能，可實現(xiàn)接觸角數(shù)據(jù)的精細分析、統(tǒng)計與歸檔，為材料研發(fā)與質量控制提供標準化的數(shù)據(jù)輸出，滿足企業(yè)對檢測流程規(guī)范化的需求。數(shù)據(jù)處理功能包括：接觸角計算（支持自動與手動計算，自動計算基于邊緣檢測算法，手動計...

RPS遠程等離子源在納米壓印工藝中的關鍵作用在納米壓印模板清洗中，RPS遠程等離子源通過H2/N2遠程等離子體去除殘留抗蝕劑，將模板使用壽命延長至1000次以上。在壓印膠處理中，采用O2/Ar遠程等離子體改善表面能，將圖案轉移保真度提升至99.9%。實測數(shù)據(jù)顯...

晟鼎精密接觸角測量儀的表面自由能計算功能，基于表面物理化學中的界面張力理論，通過測量兩種或兩種以上已知表面張力的液體在固體表面的接觸角，結合特定數(shù)學模型計算固體表面的表面自由能及各分量（色散分量、極性分量、Lewis 酸堿分量），實現(xiàn)對固體表面性能的深度量化分...

一般的表面處理后，如何有效的通過接觸角測量儀進行潤濕性測量？接觸角和表面張力在潤濕和涂層的測量方式：材料表面的性質對于處理和使用與體積特性同等重要。在粘合，印刷或涂覆時，清潔度，表面自由能和粗糙度是決定性的因素。在污垢和水存在下的潤濕性和粘附性也與許多材料和應...

表面自由能計算功能作為晟鼎精密接觸角測量儀的擴展功能，在材料研發(fā)、工藝優(yōu)化、質量控制等環(huán)節(jié)具有重要應用價值。在材料成分分析中，通過表面自由能的分量占比，可判斷材料表面的化學組成，例如極性分量占比高說明材料表面含羥基（-OH）、羧基（-COOH）等極性基團，色散...

顯示面板制造（如OLED或LCD）涉及多層薄膜沉積，腔室污染會直接影響像素均勻性和亮度。RPS遠程等離子源通過非接觸式清洗，有效去除有機和無機殘留物，確保沉積工藝的重復性。其高均勻性特性特別適用于大尺寸基板處理，避免了邊緣與中心的清潔差異。同時，RPS遠程等離...

傳統(tǒng)等離子清洗技術（如直接等離子體）常因高能粒子轟擊導致工件損傷，尤其不適用于精密器件。相比之下，RPS遠程等離子源通過分離生成區(qū)與反應區(qū)，只 輸送長壽命的自由基到處理區(qū)域，從而實現(xiàn)了真正的“軟”清洗。這種技術不僅減少了離子轟擊風險，還提高了工藝的可控性。例如...

接觸角測量儀通過光學投影的原理，對氣、液、固三相界面輪廓進行保真采集精密分析。接觸角測量儀測試方法包括座滴法、增液/縮液法、傾斜法、懸滴法、纖維裹附法、氣泡捕獲法、批量擬合法、插板法等。“座滴法”是指液滴坐落在固體表面的測試方法，又分為靜態(tài)接觸角與動態(tài)接觸角兩...

RPS遠程等離子源是一款基于電感耦合等離子體技術的自成一體的原子發(fā)生器，它的功能是用于半導體設備工藝腔體原子級別的清潔，使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場和磁場作用下，原材料氣體會被解離，從而釋放出自由基，活性離子進入工藝室與工藝室上沉積的污染材...

接觸角的概念：所謂接觸角就是固一液界面與氣一液界面之切線在三相點處的夾角。接觸角的大小決定了潤濕程度，接觸角本身取決于界面張力的相對大小。固體表面能被液體潤濕，接觸角越小．潤濕性越大，鋪展性也愈大，當接觸角為零時，叫完全潤濕；固體表面不被液體潤濕，說明接觸角越...

sessile drop 法（座滴法）是晟鼎精密接觸角測量儀常用的測量方法，關鍵是將一定體積的液體（通常 1-5μL）滴落在固體樣品表面，形成穩(wěn)定的液滴后，通過圖像分析計算接觸角，適用于大多數(shù)固體材料（如板材、薄膜、涂層表面）的潤濕性能檢測，是材料研發(fā)與質量控...

三維NAND閃存堆疊層數(shù)的不斷增加，對刻蝕后高深寬比結構的清洗帶來了巨大挑戰(zhàn)。其深孔或深溝槽底部的刻蝕殘留物（如聚合物）若不能徹底清理 ，將嚴重影響后續(xù)多晶硅或鎢填充的質量，導致電荷陷阱和器件性能劣化。在此RPS遠程等離子源應用領域展現(xiàn)出其獨特優(yōu)勢。由于等離子...

在PECVD、LPCVD等薄膜沉積設備中，腔室內壁積累的非晶硅、氮化硅等沉積物會降低熱傳導效率，導致工藝漂移。RPS遠程等離子源通過定制化的氣體配方（如NF3/O2混合氣體），在200-400℃溫度范圍內實現(xiàn)高效腔室清洗。其中氟基自由基與硅基沉積物反應生成揮發(fā)...

RPS遠程等離子源（Remote Plasma Source）是一種先進的等離子體生成技術，其主要 在于將等離子體的生成區(qū)與反應區(qū)進行物理分離。這種設計通過電磁場激發(fā)工作氣體（如氧氣、氮氣或氬氣）產生高密度的等離子體，隨后利用氣流將活性自由基輸送到反應腔室中。...

遠程等離子源，是一種基于變壓器電感耦合等離子體技術的duli式自由基發(fā)生器（RPS），可以有效的解離輸入氣體。產生清洗或蝕刻所需的自由基(氟、氧原子等)，這些自由基通過腔室壓差傳輸，遠程等離子體內的電場保持在較低的水平，避免電荷可能損壞敏感的晶圓結構，利用自由...

晟鼎精密的水滴角的測試方法主要是有幾種：寬高法，圓法，橢圓法，微分圓法，微分橢圓法。測值更為直接準確的是晟鼎精密自主研發(fā)的微分圓法，微分橢圓法.水滴角測試方法的原理主要是將液滴滴到固體表面，通過顯微鏡頭與相機獲得液滴的外形圖像.再運用數(shù)字圖像處理和一些算法將圖...

在OLED和LCD顯示面板的制造中，玻璃基板或聚酰亞胺薄膜基板的尺寸越來越大，對清洗和刻蝕工藝的均勻性提出了極高要求。RPS遠程等離子源應用領域在這一場景下優(yōu)勢明顯。由于其等離子體均勻性不受基板尺寸限制，活性自由基能夠均勻地分布在整個大尺寸面板表面，實現(xiàn)無死角...

離子注入是半導體制造中實現(xiàn)摻雜的工藝，而離子注入后需通過退火處理摻雜離子，恢復半導體晶格結構，晟鼎精密 RTP 快速退火爐在此過程中發(fā)揮著關鍵作用。離子注入會導致半導體晶格產生損傷（如空位、位錯等缺陷），且摻雜離子多處于間隙位，不具備電活性，需通過退火使晶格缺...

接觸角測量儀主要用于測量液體對固體的接觸角，即液體對固體的浸潤性，該儀器能測量各種液體對各種材料的接觸角。該儀器對石油、印染、醫(yī)藥、噴涂、選礦等行業(yè)的科研生產有非常重要的作用；通過測量接觸角計算表面張力、利用接觸角來判斷材料親疏水性，以便確認物體表面的處理效果...

遠程等離子體源（Remote Plasma Source，RPS）作為一種先進的表面處理技術，正逐漸在多個工業(yè)領域展現(xiàn)其獨特的價值。這種裝置通過在真空環(huán)境中產生等離子體，并將其傳輸?shù)侥繕吮砻孢M行處理，從而實現(xiàn)了對材料表面的均勻、高效改性。RPS不僅避免了傳統(tǒng)等...

RPS遠程等離子源在高效清洗的同時，還具有明顯 的節(jié)能和環(huán)保特性。其設計優(yōu)化了氣體利用率和功率消耗，通常比傳統(tǒng)等離子體系統(tǒng)能耗降低20%以上。此外，通過使用環(huán)保氣體（如氧氣或合成空氣），RPS遠程等離子源將污染物轉化為無害的揮發(fā)性化合物，減少了有害廢物的產生。...

傳統(tǒng)等離子清洗技術（如直接等離子體）常因高能粒子轟擊導致工件損傷，尤其不適用于精密器件。相比之下，RPS遠程等離子源通過分離生成區(qū)與反應區(qū)，只 輸送長壽命的自由基到處理區(qū)域，從而實現(xiàn)了真正的“軟”清洗。這種技術不僅減少了離子轟擊風險，還提高了工藝的可控性。例如...

晟鼎精密接觸角測量儀的表面自由能計算功能，基于表面物理化學中的界面張力理論，通過測量兩種或兩種以上已知表面張力的液體在固體表面的接觸角，結合特定數(shù)學模型計算固體表面的表面自由能及各分量（色散分量、極性分量、Lewis 酸堿分量），實現(xiàn)對固體表面性能的深度量化分...

遠程等離子體源RPS腔體結構，包括進氣口，點火口，回流腔連通電離腔頂端與進氣腔靠近進氣口一側頂部，氣體由進氣口進入經過進氣腔到達電離腔，點火發(fā)生電離反應生成氬離子然后通入工藝氣體，通過出氣口排出至反應室內，部分電離氣體經回流腔流至進氣腔內，提高腔體內部電離程度...