光學顯微鏡在失效分析中有哪些應用？失效分析過程中，樣品形貌主要通過光學顯微鏡觀察和記錄，光學顯微鏡可以提供幾倍到上千倍的放大倍數，另外光學顯微鏡對半導體的某些多層結構具有透明性，比如二氧化硅鈍化層。光學顯微鏡要求樣品是固體，在高倍觀測時由于景深的限制，要求樣品表面要平坦。應用顯微鏡一般是先通過低倍顯微鏡觀察整體形貌和缺陷，然后用高倍顯微鏡進一步確認缺陷，比如裂紋，斷裂，沾污，變形等異常，常用的顯微鏡觀測方式有明場，暗場，干涉照明，偏振光，熒光顯微鏡等。光學顯微鏡明場照明的圖像是由反射光形成的，光源的入射光垂直射向樣品表面，從樣品表面反射后重新進入物鏡，大部分的反射光線會返回，因而照明強度大，適用于表面平整的樣品，明場觀測到的發暗的或者不清晰的區域可能是由于表面不平所致。現在的光學顯微鏡可把物體放大1600倍。Nikon Ci-POL偏光顯微鏡廠

物鏡是顯微鏡較重要的光學部件，利用光線使被檢物體一次成像，因而直接關系和影響成像的質量和各項光學技術參數，是衡量一臺顯微鏡質量的首要標準。國際物鏡的檢測標準是以蔡司物鏡為基準的。物鏡的結構復雜，制作精密，由于對像差的校正，金屬的物鏡筒內由相隔一定距離并被固定的透鏡組組合而成。物鏡有許多具體的要求，如合軸,齊焦。齊焦既是在鏡檢時，當用某一倍率的物鏡觀察圖像清晰后，在轉換另一倍率的物鏡時，其成像亦應基本清晰，而且像的中心偏離也應該在一定的范圍內，也就是合軸程度。齊焦性能的優劣和合軸程度的高低是顯微鏡質量的一個重要標志，它是與物鏡的本身質量和物鏡轉換器的精度有關。深圳OLYMPUS顯微鏡物鏡鏡頭費用在應用顯微鏡時一定要小心翼翼。

顯微鏡的光學保養：首先，保持光學元件的清潔對于保證好的光學性能來說十分重要，當顯微鏡不用的時候，應該用防塵罩將其蓋住。如果光學表面或者儀器有灰塵和污物，在擦清表面前應該先用吹氣球吹去灰塵或者用柔軟毛刷去污物。第二，顯微鏡的光學表面需要用無絨棉布，鏡頭紙或者是使用鏡頭清潔液沾濕的棉花簽來清潔。對顯微鏡鏡頭進行清潔的時候，應該用擦鏡紙或者棉花簽恰當的沾濕溶劑，注意不要使用過多的溶劑，否則滲透到物鏡內，會造成物鏡的清晰度下降以及物鏡的損壞。第三，顯微鏡中的目鏡與物鏡的表面鏡頭很容易沾到灰塵或者污物及油等，如果出現襯度，清晰度下降，霧狀的時候，則需要使用放大鏡對顯微鏡的目鏡，物鏡前面的鏡頭情況進行仔細的檢查。

數值孔徑簡寫NA，數值孔徑是顯微鏡物鏡和聚光鏡的主要技術參數，是判斷兩者（尤其對物鏡而言）性能高低(即消位置色差的能力,蔡司公司的數值孔是說明消位置色差和倍率色差的能力),的重要標志。其數值的大小，分別標科在物鏡和聚光鏡的外殼上。數值孔徑（NA）是物鏡前透鏡與被檢物體之間介質的折射率（η）和孔徑角（u）半數的正玄之乘積。用公式表示如下：NA=ηsinu/2 孔徑角又稱“鏡口角”，是物鏡光軸上的物體點與物鏡前透鏡的有效直徑所形成的角度。孔徑角越大，進入物鏡的光通亮就越大，它與物鏡的有效直徑成正比，與焦點的距離成反比。顯微鏡之所以能將被檢物體進行放大，是通過透鏡來實現的。單透鏡成像具有像差，嚴重影響成像質量。

金相顯微鏡維護保養方式：1、標準批準狀況下，建議的實驗室應具有三防標準：抗震（杜絕地震源）、防水（應用中央空調、空氣干燥器）、防污（路面鋪平木地板）；開關電源：380V±10%，50HZ；溫度：0°C-40°C。2、對焦時留意不必使物鏡遇到試件，以防刮傷物鏡。3、當載物臺密封墊圓洞管理中心的部位杜絕物鏡管理中心部位時不必轉換物鏡，以防刮傷物鏡。4、亮度調整切勿忽大忽小，也不必過亮，危害電燈泡的使用期，另外也不利于眼睛視力。5、全部（作用）轉換，姿勢要輕，要及時。6、關閉設備要將色度調到較少。7、外行工作人員不必調節照明燈具系統軟件（鎢絲位置燈），以防危害顯像品質。光學顯微鏡一類利用光學原理將微小物像進行高倍放大以便肉眼觀察的儀器。廣州三豐金相測量顯微鏡廠

光學部分是較為關鍵的，它由目鏡和物鏡組成。Nikon Ci-POL偏光顯微鏡廠

消色差聚光鏡：這種顯微聚光鏡又名“消色差消球差聚光鏡”和“齊明聚光鏡”它由一系列透鏡組成，它對色差球差的校正程度很高，能得到理想的圖像，是明場鏡檢中質量較高的一種聚光鏡，其NA值達1.4 。因此，在高級研究顯微鏡常配有此種聚光鏡。它不適用于4 X以下的低倍物鏡，否則照明光源不能充滿整個視場。搖出式聚光鏡：在使用低倍物鏡時（如4X），由于視場大，光源所形成的光錐不能充滿真整個視場，造成視場邊緣部分黑暗，只中間部分被照亮。要使視場充滿照明，就需將聚光鏡的上透鏡從光路中搖出。其它聚光鏡：聚光鏡除上述明場使用的類型外，還有作特殊用途的聚光鏡。如暗視野聚光鏡，相襯聚光鏡，偏光聚光鏡，微分干涉聚光鏡等，以上聚光鏡分別適用于相應的觀察方式。Nikon Ci-POL偏光顯微鏡廠

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