分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：單頻激光干涉儀：在20世紀60年代中期出現，**初用于檢定基準線紋尺，后用于在計量室中精密測長。它對環境要求較高，周圍大氣需處于穩定狀態，以避免空氣湍流對測量結果的影響。雙頻激光干涉儀：出現于1970年，適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。三、應用光束分割：通過分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測量光束。張家港定制雙頻激光干涉儀五星服務

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分，分別經過不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣，從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟：激光發射：激光器發出單色光束。光束分割：通過分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播：參考光束和測量光束分別經過不同的路徑，可能會經過被測物體或介質。光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。吳江區直銷雙頻激光干涉儀選擇用穩頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以擴展；

激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業產品已服務國內外科研院所及工業企業 [2]。

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。實時測量：可以實現實時監測和數據采集，適合動態測量。

若干涉條紋發生移動，一定是場點對應的光程差發生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發生變化，或是光路中某段介質的折射率n發生了變化，或是薄膜的厚度e發生了變化。S為點光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動鏡，它和精密螺絲相連，轉動鼓輪可以使其向前后方向移動，最小讀數為10mm，可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調節其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強度相等的兩束（反射光和透射光）。雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具，適用于各種科學研究和工業應用。太倉附近雙頻激光干涉儀選擇

光纖干涉儀：利用光纖中的光波干涉現象，廣泛應用于傳感器、通信等領域。張家港定制雙頻激光干涉儀五星服務

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現高精度線性位移測量，適用于車間生產環境下的數控機床校準、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優勢包括緊湊設計、自動環境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。張家港定制雙頻激光干涉儀五星服務

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