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吉林高精度均溫加熱盤

來源: 發布時間:2025-11-14

國瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級溫控精度支撐光刻工藝,采用鋁合金基體與陶瓷覆層復合結構,表面粗糙度 Ra 小于 0.1μm,減少光刻膠涂布缺陷。加熱面劃分 6 個**溫控區域,通過仿真優化的加熱元件布局,使溫度均勻性達 ±0.5℃,避免烘烤過程中因溫度差異導致的光刻膠膜厚不均。溫度調節范圍覆蓋 60℃至 150℃,升溫速率 10℃/ 分鐘,搭配無接觸紅外測溫系統,實時監測晶圓表面溫度并動態調節。設備兼容 6 英寸至 12 英寸光刻機配套需求,與 ASML、尼康等設備的制程參數匹配,為光刻膠的軟烘、堅膜等關鍵步驟提供穩定溫控環境。適用半導體、醫療、科研等多個領域,是您理想的加熱解決方案。吉林高精度均溫加熱盤

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面向先進封裝 Chiplet 技術需求,國瑞熱控**加熱盤以高精度溫控支撐芯片互聯工藝。采用鋁合金與陶瓷復合基材,加熱面平面度誤差小于 0.02mm,確保多芯片堆疊時受熱均勻。內部采用微米級加熱絲布線,實現 1mm×1mm 精細溫控分區,溫度調節范圍覆蓋室溫至 300℃,控溫精度 ±0.3℃,適配混合鍵合、倒裝焊等工藝環節。配備壓力與溫度協同控制系統,在鍵合過程中同步調節溫度與壓力參數,減少界面缺陷。與長電科技、通富微電等企業適配,支持 2.5D/3D 封裝架構,為 AI 服務器等高算力場景提供高密度集成解決方案。黃浦區陶瓷加熱盤生產廠家表面特殊處理耐腐蝕易清潔,適用于化學實驗室食品加工。

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國瑞熱控封裝測試**加熱盤聚焦半導體后道工藝需求,采用輕量化鋁合金材質,通過精密加工確保加熱面平整度誤差小于 0.05mm,適配不同尺寸封裝器件的測試需求。加熱元件采用片狀分布設計,熱響應速度快,可在 5 分鐘內將測試溫度穩定在 - 40℃至 150℃之間,滿足高低溫循環測試、老化測試等場景要求。表面采用防粘涂層處理,減少測試過程中污染物附著,且易于清潔維護。配備可編程溫控系統,支持自定義測試溫度曲線,可存儲 100 組以上測試參數,方便不同型號器件的測試切換。與長電科技、通富微電等封裝測試企業合作,適配其自動化測試生產線,為半導體器件可靠性驗證提供精細溫度環境,助力提升產品良率。

國瑞熱控依托 10 余年半導體加熱盤研發經驗,提供全流程定制化研發服務,滿足客戶特殊工藝需求。服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節,可根據客戶提供的工藝參數(溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等),定制特殊材質(如高純石墨、氮化硅陶瓷)、特殊結構(如多腔體集成、異形加熱面)的加熱盤。配備專業研發團隊(含材料學、熱力學、機械設計工程師),采用 ANSYS 溫度場仿真軟件優化設計方案,原型樣品交付周期**短 10 個工作日,且提供 3 次**方案迭代。已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤,如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤,實現加熱與勻氣功能一體化,滿足其特殊制程的空間限制需求。專業團隊技術支持,從選型到安裝全程指導,解決您的后顧之憂。

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國瑞熱控高真空半導體加熱盤,專為半導體精密制造的真空環境設計,實現無污染加熱解決方案。產品采用特殊密封結構與高純材質制造,所有部件均經過真空除氣處理,在 10??Pa 高真空環境下無揮發性物質釋放,避免污染晶圓表面。加熱元件采用嵌入式設計,與基材緊密結合,熱量傳遞損耗降低 30%,熱效率***提升。通過內部溫度場模擬優化,加熱面均溫性達 ±1℃,適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景。設備可耐受反復升溫降溫循環,在 - 50℃至 500℃溫度區間內結構穩定,為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障。研發團隊持續探索,新材料新工藝,效能不斷提升。徐匯區探針測試加熱盤定制

多重安全保護設計,漏電過載超溫防護,安全可靠。吉林高精度均溫加熱盤

面向柔性半導體基板(如聚酰亞胺基板)加工需求,國瑞熱控**加熱盤以柔性貼合設計適配彎曲基板。采用薄型不銹鋼加熱片(厚度 0.2mm)與硅膠導熱層復合結構,可隨柔性基板彎曲(彎曲半徑**小 5mm)而無結構損壞,加熱面溫度均勻性達 ±1.5℃,溫度調節范圍 50℃-250℃,適配柔性基板鍍膜、光刻膠烘烤等工藝。配備真空吸附槽道,可牢固固定柔性基板,避免加熱過程中褶皺導致的工藝缺陷。與維信諾、柔宇科技等柔性顯示廠商合作,支持柔性 OLED 驅動芯片的制程加工,為柔性電子設備的輕量化、可彎曲特性提供制程保障。吉林高精度均溫加熱盤

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標,有組織有體系的公司,堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍圖,在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發展奠定的良好的行業基礎,也希望未來公司能成為*****,努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息,斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌,共創佳績,一直以來,公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針,員工精誠努力,協同奮取,以品質、服務來贏得市場,我們一直在路上!

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