探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包含集成電路、分立器材、光電器材、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)配備之一,其廣泛應(yīng)用于雜亂、高速器材的ing密電氣測(cè)量,旨在保證質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)刻和器材制作工藝的本錢。探計(jì)臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)驗(yàn)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針觸模并逐人測(cè)驗(yàn)。在半導(dǎo)體器材與集成電路制作工藝中,從單晶硅棒的制取到ZU終器材制作的完結(jié)需經(jīng)過雜亂的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。探針臺(tái)的正確配置選型。南昌探針臺(tái)配件
無論是芯片設(shè)計(jì)的可靠性驗(yàn)證測(cè)試,或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測(cè)試和CP測(cè)試,探針臺(tái)在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺(tái)設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細(xì)定位、微米級(jí)運(yùn)動(dòng)以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺(tái)市場(chǎng)仍主要被美、日、韓等國所占據(jù)。近年來在國家對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下,國產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快,中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來國產(chǎn)替代的機(jī)會(huì)。在國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中,探針臺(tái)是我國目前能實(shí)現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。大功率測(cè)試探針臺(tái)產(chǎn)品介紹探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。
桌面探針系統(tǒng)
眾所周知探針臺(tái)用于半導(dǎo)體測(cè)試,特別是6英寸或者12英寸的晶圓探針臺(tái)。因?yàn)槭艹叽缦拗疲瑢?dǎo)致大尺寸等規(guī)格不符的待測(cè)物無法進(jìn)行測(cè)試,從而使得眾多產(chǎn)品無法得到驗(yàn)證。
對(duì)于除了半導(dǎo)體、晶圓、芯片需要測(cè)試以外,如同大尺寸電路板、高頻高速電路、射頻微波器件、高速連接器等所需測(cè)試的產(chǎn)品也是需要進(jìn)行阻抗、S參數(shù)的測(cè)試。特別是現(xiàn)在高頻高速已經(jīng)進(jìn)入了56G、112G,單波NRZ通道已經(jīng)到了56GHz的電信號(hào)的時(shí)代。所以高頻、高速等系列電路板各個(gè)通道以及載體都需要進(jìn)行產(chǎn)品的性能測(cè)試。
因此研發(fā)推出了桌面探針系統(tǒng)及各規(guī)格探針配合67GHz網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行高頻高速的測(cè)試。
探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試。可以在將晶圓鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。2022年探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到16億美元。
探針臺(tái)如何工作?探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。按照操作方式來劃分成:手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。PCB探針臺(tái)規(guī)格尺寸
探針臺(tái)采用高剛性顯微鏡龍門設(shè)計(jì)。南昌探針臺(tái)配件
探針臺(tái)的分類探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的,這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái)。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要**少的培訓(xùn),易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn),非常適合研發(fā)人員使用。全自動(dòng)探針臺(tái)相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識(shí)別(自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。可以24小時(shí)連續(xù)工作,通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。南昌探針臺(tái)配件
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