探針臺是半導體行業重要的檢測裝備之一，其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。半導體測試可以按生產流程可以分為三類：驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。除探針臺外，晶圓檢測環節還需要使用測試儀/機，測試儀/機用于檢測芯片功能和性能，探針臺實現被測芯片與測試機的連接，通過探針臺和測試機的配合使用，可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試，可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。探針臺chuck具備升降功能，便于樣品和探針的快速分離。上海探針臺技術改造

探針測試臺x-y工作臺滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。GaN 探針臺供應極端環境下給樣品加載電學信號的探針臺設備。

    探針臺怎么選合適的配置，怎么確定精度？通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：1、比較大需要測幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺機械精度要求多高？3、點測樣品的尺寸規格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡比較大倍率200倍）5、需要幾根探針同時去點測？6、會測試到的比較大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）7、漏電精度需要達到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：要求能測到的電流的量級）。

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，***則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。6.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。探針臺與顯示器一體化設計。

低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能，用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進的密封性，使該系統非常適合一系列需要更好的真空水平的應用，如石墨烯的研究，分子電子學等的，系統采用閉式循環制冷機和專有的熱管理，可以經濟快速的操作。內置的隔振小化振動符合行業標準。超穩定的微操縱滿足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統有以下特點：1、在真空探針臺下進行完整的霍爾效應測試的系統。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。3、變溫范圍10k-400k，采用閉循環制冷機制冷，不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件，可以做簡單的系統操作、數據采集和分析。5、支持多載流子分析數據導出。探針臺搭配網絡分析儀進行測試。桌面探針臺產品介紹

半導體設備市場中，探針臺是我國目前能實現高國產化率的設備。上海探針臺技術改造

很多人都不了解探針臺，因為很少接觸到。但是，它在的作用是非常大的，它的使用步驟我們還是需要了解的。下面，小編就帶大家了解一下它的使用步驟。希望能對大家有所幫助。1、將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。2、運用卡盤X軸、Y軸控制旋鈕挪動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調整明晰,帶測點在顯微鏡視場中間。4、待測點地位確認好后,再調整探針座的地位,將探針臺探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的地位旁邊,再運用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,漸漸的將探針移至被測點,此時舉措要小心且遲緩，以防舉措過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針行進少許，再運用Z軸旋鈕停止下針，剛開始則運用X軸旋鈕左右滑動，察看能否有少許劃痕，證明能否曾經接觸。5、確保針尖和被測點接觸良好后，則可以經過銜接的測試設備開端測試。上海探針臺技術改造

上海波銘科學儀器有限公司是一家從事拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器研發、生產、銷售及售后的貿易型企業。公司坐落在望園南路1288弄80號1904、1909室，成立于2013-06-03。公司通過創新型可持續發展為重心理念，以客戶滿意為重要標準。主要經營拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器等產品服務，現在公司擁有一支經驗豐富的研發設計團隊，對于產品研發和生產要求極為嚴格，完全按照行業標準研發和生產。愛特蒙特為用戶提供真誠、貼心的售前、售后服務，產品價格實惠。公司秉承為社會做貢獻、為用戶做服務的經營理念，致力向社會和用戶提供滿意的產品和服務。上海波銘科學儀器有限公司嚴格規范拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器產品管理流程，確保公司產品質量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務團隊，分工明細，服務貼心，為廣大用戶提供滿意的服務。